ナノイオンビームによる最先端工業材料の三次元分析法の研究

1997 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 09450308
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: 尾張 真則 東京大学, 環境安全研究センター, 助教授 (70160950)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 坂本 哲夫 東京大学, 生産技術研究所, 日本学術振興会 特別
• Keywords: 二次イオン質量分析 / 収束イオンビーム / 飛行時間型 / 三次元分析 / 微小部分析

Research Abstract

1.収束イオンビームの短パルス化
飛行時間型二次イオン質量分析に必要となる短パルスイオン銃を、現有のガリウム収束イオン銃の制御電源を改造することにより製作している。現在までに、必要とされる質量分解能と実現すべきパルス幅の関係を決定し、これを満たすためのビームブランキング制御回路の設計と部品の選定・調達を完了している。実際の回路製作は3月下旬には終了する見込みで、その後速やかにイオン銃制御電源に組み込み、性能評価を経て使用を開始する予定である。
2.収束イオンビーム励起飛行時間型二次イオン質量分析システムの製作と評価
現有の収束イオンビーム装置に二次イオン引き込み加速管、リフレクトロン、検出器、時間-ディジタル変換測定ユニットを組み込み、収束イオンビーム励起飛行時間型二次イオン質量分析システムを製作している。現在までに各部品の調達は完了し、真空配管を含めた組み上げ作業を行っている。また、それぞれの部分の制御に必要な電源についても設計と部品の調達を完了しており、電源の製作を進めている。さらに、システム全体の制御を司るソフトウェアの開発を行っており、3月下旬には個別機能の評価を開始できる見込みである。収束イオンビームパルスとの協調動作を含めたシステム全体としての総合的動作の確認と評価は4月以降となると予想されるが、個別機能の評価が十分になされれば、特段の問題が生じることはないと思われる。

Research Products

• [Publications] M.Owari, T.Sakamoto, Z.Cheng, M.Takahashi and Y.Nihei: ""Ion and Electron Dual Focused Beam Apperatus for Three-Dimensional Microanalysis"in"ECASIA 97 7 the European Conference on Application of Surface and Interface Analysis"" John Wiley & Sons Ltd.Chichester,England, 4 (1997)