1997 Fiscal Year Annual Research Report
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09554004
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| Research Institution | Kisarazu National College of Technology |
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Principal Investigator |
石井 孝一 木更津工業高等専門学校, 電気工学科, 助手 (80249755)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
東海林 彰 通商産業省, 工業技術院・電子技術総合研究所, 主任研究官
大石 雅寿 国立天文台, 野辺山宇宙電波観測所, 助手 (00183757)
小平 眞次 木更津工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (50042627)
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| Keywords | テラヘルツ / 窒化ニオブ / 酸化マグネシウム / SIS / サブミリ波 / 薄膜アンテナ / 基板回路 / 整合回路 |
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| Research Abstract |
窒化ニオブ系SIS接合を用いてテラヘルツミキサの試作を行うために接合素子および薄膜アンテナ等の研究を行った。
今年度得られた主な研究実績としては、
1.メンブレム上に単結晶窒化ニオブSIS接合を作成するための最適条件を得るために、プロセスの条件を求めることは、メンブレムの材料検討の遅れとスパッタ装置が新しいものになったため、以前の装置と条件の違いがあり、まだ最適条件は出ていない。
2.薄膜アンテナのスケールモデルによる特性測定は、マイクロストリップ スロットアンテナのスケールモデルを製作し、1GHz〜12GHzおいてインピーダンスの測定を行い実数部が小さい抵抗値を示し、虚数部がゼロになる時のスロットの縦横比が明らかになった。また、ミキサに使用するシリコンレンズの影響をシリコンウェハによるスケールモデルにより測定し、レンズの厚みとアンテナのインピーダンス変化が明らかになった。これにより、テラヘルツミキサに応用できるものと思われる。
3.ミキサ用微小SIS接合に関しては、スパッタ装置が新しくなった影響により高電流密度化はまだ不十分であるが、リ-クの低減は改善されつつある。
微小接合に関しては、微小接合部分に配線を確実にするため研磨機を導入し、研磨条件の最適化が終わり、微小接合を作成することに成功した。
4.サブミリ波帯で使用する窒化ニオブを用いたボロメータについて検討し、製作プロセスについても検討を行った。今年度は、製作プロセスに必要な、リアクティブ イオンビーム エッチングの条件を求め、微細部を描く電子線露光装置の露光プログラムを作成した。
等であった。
今年度は、IFを含む基板型回路の評価はSIS接合素子とアンテナの製作の遅れから行うことが出来なかったが、ほぼ来年度へ向けての見通しを得たものと思われる。
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Research Products
(4 results)
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[Publications] M.Guelin: "Detection of A New Linar Carbon Chain Radial:C7H" A&AP.L1. 317 (1997)
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[Publications] S.Shiki: "Si0 Maser Sources towerd the SgrB2 Molecular Cloud" Ap.J.206. 478 (1997)
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[Publications] S.Kohjiro: "Numerical Characterzation of Impedance Transformers Consisting of Vertically Stacked Superconducting Transmission Lines" IEEE Transactions on Applied Superconductivity. Vol.7. 2343-2346 (1997)
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[Publications] S.Koujiro: "Numerical Study for Higher-Order Modes in Flux-Flow Oscillators with rf-Termnators" Applied Superconductivity 1997,Institute of Physics Conference Series IOP Publishing Ltd,. No.158. 615-618 (1997)
