1997 Fiscal Year Annual Research Report

近接場光によるナノ寸法の光化学気相堆積法の確立

Research Project

Project/Area Number	09555096
Research Institution	Tokyo Institute of Technology
Principal Investigator	大津元一東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (70114858)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	横森清株式会社リコー, 研究開発本部RD企画室, 室長興梠元伸東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 助手 (10251662) 筒井一生東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 助教授 (60188589)
Keywords	近接場 / ファイバ / プローブ / 気相化学堆積
Research Abstract	近接場光を用いて光化学気相堆積を行うことを提案し、その際、光ファイバプ-ブ先端に生成物が付着するのを防ぐため、前期核形成法を採用した。ジメチル亜鉛分子から亜鉛原子の前期核を形成するのに必要とされる柴外光パワー密度は10〜1000W/cm^2であることを見積もった。実験装置として、この柴外光を得るためのアルゴンレーザからの第二高調波発生装置、真空装置、ガス流量制御系、プローブ走査系を開発した。これらを用い、まずファイバ端面に出射する光によって亜鉛の化学気相成長ができることを確認した。さらに、ファイバを先鋭化してプローブを作成し、その先端にしみ出す光によっても亜鉛の化学気相成長を確認した。これらの結果をもとに、実験装置の性能向上のための設計指針を得るための基礎データを取得した。すなわち、必要な光パワー密度を得るためのファイバプローブの開口径、光出射効率の推定、それを実現するために、2段階テ-パプローブが適していること、などを確認した。また、より効率高い気相成長のためにジエチル亜鉛分子を使い、柴外吸収率を増大すること、さらに気相成長後の亜鉛の堆積パターンを観測するために、上記のファイバプローブを原子間力顕微鏡プローブとして併用し、成長後、真空装置内でトポロジー観察すること、などを提案し、特に原子間力顕微鏡動作を兼ねたプローブ走査系としてStickSlip動作する安定な駆動装置を開発した。この結果、100nm以下の先幅の亜鉛堆積を実現する見通しを得た。

Research Products
(7 results)

All Other

All Publications (7 results)

[Publications] T.Saiki, N.Saito, and M.Ohtsu: "Near-field optical study of semiconductor photonic devices" Materials Science & Engineering. vo1.B48,no.1. 162-168 (19987)
[Publications] A.V.Zvyagin, J.D.White, M.Kourogi, M.Kozuma, and M.Ohtsu: "Solution to the bistability problem in shear force distance regulation encountered in scanning force and near-field optical microscope" Appl.Phys.Lett.Vo1.71,no.17. 2541-2543 (1997)
[Publications] T.Yatsui, M.Kourogi, and M.Ohtsu: "Highly efficient excitation of optical near-field on an apertured fiber probe with an apertured fiber probe with an asymmetric structure" Appl.Phys.Lett.vo1.71,no.13. 1756-1758 (1997)
[Publications] S.Mononobe, R.UmaMaheswari, and M.Ohtsu: "Fabrication of a pencil-shaped fiber probe with a nanometric protrusion from a metal film for near-field optical microscopy" Opt.Express. vo1.1,no.8. 1-5 (1997)
[Publications] H.Ito, K.Sakaki, W.Jhe, and M.Ohtsu: "Evanescent-light induced atom-guidance using a hollow optical fiber with light coupled sideways" Opt.Commun.vo1.141. 43-47 (1997)
[Publications] 大津元一: "入門レーザー" 裳華房, 200 (1997)
[Publications] 大津元一, 河田聡: "近接場ナイフォトニクスハンドブック" オプトロニクス社, 270 (1997)

1997 Fiscal Year Annual Research Report

近接場光によるナノ寸法の光化学気相堆積法の確立

Principal Investigator

大津 元一 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (70114858)

Research Products

[Publications] T.Saiki, N.Saito, and M.Ohtsu: "Near-field optical study of semiconductor photonic devices" Materials Science & Engineering. vo1.B48,no.1. 162-168 (19987)

[Publications] A.V.Zvyagin, J.D.White, M.Kourogi, M.Kozuma, and M.Ohtsu: "Solution to the bistability problem in shear force distance regulation encountered in scanning force and near-field optical microscope" Appl.Phys.Lett.Vo1.71,no.17. 2541-2543 (1997)

[Publications] T.Yatsui, M.Kourogi, and M.Ohtsu: "Highly efficient excitation of optical near-field on an apertured fiber probe with an apertured fiber probe with an asymmetric structure" Appl.Phys.Lett.vo1.71,no.13. 1756-1758 (1997)

[Publications] S.Mononobe, R.UmaMaheswari, and M.Ohtsu: "Fabrication of a pencil-shaped fiber probe with a nanometric protrusion from a metal film for near-field optical microscopy" Opt.Express. vo1.1,no.8. 1-5 (1997)

[Publications] H.Ito, K.Sakaki, W.Jhe, and M.Ohtsu: "Evanescent-light induced atom-guidance using a hollow optical fiber with light coupled sideways" Opt.Commun.vo1.141. 43-47 (1997)

[Publications] 大津元一: "入門レーザー" 裳華房, 200 (1997)

[Publications] 大津元一, 河田 聡: "近接場ナイフォトニクスハンドブック" オプトロニクス社, 270 (1997)

大津元一東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (70114858)

[Publications] 大津元一, 河田聡: "近接場ナイフォトニクスハンドブック" オプトロニクス社, 270 (1997)