ファインセラミックス内部微細欠陥高速検出・評価設備の開発

1997 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 09555122
• Research Institution: Nagaoka University of Technology
• Principal Investigator: 秋山 伸幸 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (90251850)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 原 靖彦 (株)日立製作所, 生産技術研究所, 主任研究員(研究職) ; 吉村 剛治 日立金属(株), 生産システム研究所, 主任研究員(研究職) ; 石崎 幸三 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (10176183)
• Keywords: セラミックスクラック / クラック検査 / セラミックス内部欠陥 / レーザ拡散 / 外観自動検査 / マイクロクラック検査

Research Abstract

ファインセラミックスは多方面で使用されているが、製造工程中に内部および表面に致命傷となる微細な欠陥(クラック,結晶粒界不純物,ボイドなど)が生じることがある。本研究では、レーザを絞って微小スポットとし、セラミックス表面に照射することにより、上記の欠陥を検出する装置を製作する。これにより微細欠陥のインプロセス高速検出を実現する。
これまでに、He-Neレーザ走査型セラミックス内部微細欠陥検出実験装置を完成させ、現在調整中である。
成果は次の通りである。
(1)試料からの反射光を検出する際に、光路の途中に偏光ビームスプリッタを使用することにより、レンズからの反射光が低下し、微細欠陥の検出信号コントラストが向上することを見い出した。
(2)試料からの反射光を回転多面鏡で反射させて光電子増倍管で検出し、この信号をパソコンに入力することに成功した。
(3)試料をXY方向に動かし、欠陥位置をパソコンに入力することに成功した。
今後本装置を完成させて、種々のサンプルを用いた検出実験を行う予定である。