2001 Fiscal Year Annual Research Report
窒化ニオブを用いたテラヘルツミキサ用ボロメータ素子の試作
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11554007
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| Research Institution | KISARAZU NATIONAL COLLEGE OF TECHNOLOGY |
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Principal Investigator |
石井 孝一 木更津工業高等専門学校, 電気電子工学科, 助手 (80249755)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
神代 暁 独立行政法人, 産業技術総合研究所・エレクトロニクス研究部門, 主任研究員
小平 眞次 木更津工業高等専門学校, 電気電子工学科, 教授 (50042627)
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| Keywords | テラヘルツミキサ / 窒化ニオブ / ボロメータ / FFO / 格子冷却 / 拡散冷却 / マイクロスロットアンテナ / 超伝導伝送線路 |
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| Research Abstract |
最終年度のまとめとして、ミキサとしての性能評価を行うため、ボロメータ素子だけでなくミキサマウントを考慮したマイクロストリップ・スロット・アンテナと、ローカルオシレータの評価と性能向上を行った。
1.ホットエレクトロンボロメータ(HEB)
電子ビーム露光装置により完全な描画ができるようになり、電極間距離やRFフィルタのパターン等を考慮したマスクが作製できミキサとしての性能評価ができる環境になった。しかし、HEBの膜質(NbN)の向上を図ったが、最適条件をだすことができず素子の性能向上が図れなかった。
2.マイクロストリップ・スロット・アンテナ(MSA)
昨年度までに、ハイパーフェミスフェアレンズを取り付けた、シングルスロットアンテナのスケールモデルを作製し、指向性とインピーダンスの測定を行ってきた。今年度は、シングルスロットアンテナとツインスロットアンテナの指向性を、電磁界解析ソフト(HFSS)を使用して、シミュレーションにより求めスケールモデル実測値との比較を行った。これにより、ハイパーフェミスフェアレンズ付きのミキサマウントを設計した。
3.フラックス・フロー・オシレータ(FFO)
窒化ニオブを用いてFFOの斌作を行なった。NbN/AlN/NbNのSIS構造で作製し、臨界電流密度(Jc)を10kA/cm^2以上を実現した。また、0.78THzで1.2μWのピーク電力を検出した。
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Research Products
(1 results)
