2000 Fiscal Year Annual Research Report
ダイヤモンドワイヤ工具を用いた次世代型超高性能シリコンスライサーの開発
| Project/Area Number |
11555046
|
|---|
| Research Institution | Kanazawa Institute of Technology |
|---|
Principal Investigator |
石川 憲一 金沢工業大学, 工学部, 教授 (00064452)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
鍛治倉 惇 不二越機械工業(株)・研究開発部・研究係
西本 吉伸 不二越機械工業(株), 研究開発部, 研究開発部長
諏訪部 仁 金沢工業大学, 工学部, 助教授 (40202139)
|
|---|
| Keywords | マルチワイヤソー / ダイヤモンド砥粒 / 切断 / ワイヤ工具 / スライシング / 研削 |
|---|
| Research Abstract |
平成12年度の研究計画は,ダイヤモンドワイヤ工具を用いるマルチワイヤソーに関して,ワイヤ工具作製装置の開発や加工装置の開発を行った.本年度の研究により次に述べる事柄が明らかとなった.
◎ワイヤ工具の開発
1.細線電着ワイヤ工具の開発
申請者らは,既に30〜40μmのダイヤモンド砥粒を電着したワイヤ工具径φ0.195mmのワイヤ工具の試作に成功している.このワイヤ工具を安定して実験で利用できるように,従来のワイヤ作製装置(メッキ装置)を基に,新たに細線ワイヤ工具用メッキ装置を作製し直した.その結果,ピットの少ないメッキが行えるようになった.
◎加工装置の開発
1.工作物回転型実験装置の高速切断化
昨年度までに工作物を自転させながらワイヤ工具を低速走行させると高精度な切断面を得やすいが,工作物の中心部の加工がしにくいことが明らかとなっている.そこで,今年度はダイヤモンドワイヤ工具を高速で往復走行させながらに工作物を自転させて切断するための高性能切断装置の設計製作を行った.現在までに90%程度完成し,現在試運転しながら最終調整中である.
2.細線ワイヤ駆動用のワイヤソーの開発
往復走行型ワイヤソーの場合にワイヤ走行の反転時に摩擦や転がり抵抗により張力変動を生じ,細線ワイヤは断線を生じやすいことが明らかとなっている.そこで,今年度は細線ワイヤを高速可能ならしめるために張力調整部でワイヤ走行の反転時に発生する張力変動を機械的に緩和させる機構を考案し,ワイヤ走行実験のためのモデル機を作製した.その結果,φ58μmのワイヤを200m/min走行可能とした.このデータを基に,細線ワイヤ工具用ワイヤソーの設計製作を行い,現在最終調整中である.
|
