2000 Fiscal Year Annual Research Report
反射高速電子回折と組み合わせた全反射角軟X線分光法の開発
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11559002
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
高見 知秀 東北大学, 科学計測研究所, 助手 (40272455)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
井野 正三 宇都宮大学, 工学部, 教授 (70005867)
高岡 毅 東北大学, 科学計測研究所, 助手 (90261479)
楠 勲 東北大学, 科学計測研究所, 教授 (30025390)
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| Keywords | 反射高速電子回折 / 軟X線分光 / 全反射角 / 表面分析法 |
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| Research Abstract |
研究分担者の井野は、反射高速電子回折(RHEED)パターンを観測中に試料から全反射角方向に放出されている特性X線をエネルギー分析することで、わずか1原子層程度の金属薄膜からの信号を検出できることを発見し、この測定法を反射高速電子回折-全反射角X線分光法(RHEED-TRAXS)と名付けた。このRHEED-TRAXSは、固体表面の構造をRHEEDで観測できると同時に表面の元素の特定が出来るだけでなく、さらに電子線入射角度やX線取り出し角を変化させることで表面の元素の深さ分布を解析する事まで出来る画期的な表面測定法である。本研究は、軟X線領域でのTRAXSすなわち全反射角軟X線分光法(TRASXS)を開発し、RHEED-TRASXS法が表面化学測定において有効な手法であることを示し、本測定法の実用化を示唆する事を目的とする。
本年度は、分光した軟X線を直接検出するCCDカメラを購入し、これを真空槽内に設置した改良型軟X線分光装置を当研究所内工場で作製した。これにより、前年度よりも検出感度を向上させることに成功した。しかし、本分析法では表面敏感になればなるほど制動放射による白色X線がスペクトルのバックグラウンドに乗ることがわかった。この問題を解決することにより、本装置の実用化への芽がでることになる。
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Research Products
(6 results)
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[Publications] I.Kusunoki et al.: "Nitridation of a diamond film using 300-700eV N_2^+ ion beams"Diamond and Related Materials. 9. 698-702 (2000)
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[Publications] T.Takami et al.: "Homoepitaxial diamond (001) thin film studied by reflection high-energy electron diffraction, contact atomic force microscopy, and scanning tunneling microscopy"Journal of Vacuum Science and Technology B. 18. 1198-1202 (2000)
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[Publications] T.Takami et al.: "Reaction of Si (111) Surface with Acetone"Thin Solid Films. 376. 89-98 (2000)
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[Publications] T.Takami et al.: "RHEED and STM study of a homoepitaxial diamond (001) thin film produced by microwave plasma CVD"New Diamond and frontier Carbon Technology. 10. 329-337 (2000)
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[Publications] T.Takami et al.: "Reporton the Studies of the Surfaces of Chemical-Vapor-Deposited Thin Diamond Films Conducted by Reflection High-Energy Electron Diffraction, Atomic Force Microscopy, and Scanning Tunneling Microscopy"東北大学科学計測研究所報告. 48. 19-32 (2000)
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[Publications] T.Takami et al.: "Development of a Back Scattering Reflection High Energy Electron Diffraction (BSRHEED) instrument"東北大学科学計測研究所報告. 48. 33-38 (2000)
