1999 Fiscal Year Annual Research Report
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11650016
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| Research Institution | Kobe University |
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Principal Investigator |
藤居 義和 神戸大学, 工学部, 助教授 (80238534)
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| Keywords | 微小角入射X線散乱 / 結晶成長 / 表面ステップ / 超高真空 / 表面粗さ / 実時間測定 |
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| Research Abstract |
(1)PbSe(111)表面、BaF2(111)表面、多結晶純鉄表面、TiNコーティング鋼表面について、微小角入射X線散乱の実験を「超高真空表面X線回折装置」を使って行い、微小角入射X線の散乱強度のデータを蓄積した。特に、微小角で入射し散乱したX線の二次元強度分布を測定し、「X線エネルギー二次元検出システム」に必要な仕様の策定を行った。
(2)SPring8放射光実験施設においても、多結晶純鉄表面、TiNコーティング鋼表面について、微小角入射X線散乱の実験を行い、微小角入射X線の散乱強度のデータを蓄積した。特に、微小角で入射し表面にすれすれに散乱したX線のうち表面結晶によって回折したX線の強度分布の入射角依存を測定することに成功し、表面からの深さ方向の結晶組成分布の解析の可能性を示した。
(3)「X線エネルギー二次元検出システム」を設計し、また「超高真空表面X線回折装置」の改造を行い、新しく「X線エネルギー二次元検出システム」を導入した。現在、このシステムの立ち上げ実験を行っている。
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[Publications] Y.Fujii: "Small Angle Glancing X-ray Scattering for Surface Characterization of Ion-Implanted Industrial Materials"Ion Implantation Technology-98. 1. 1121-1124 (1999)
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[Publications] 藤居義和: "超高真空表面X線回折装置による結晶成長表面のその場観察"神戸大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー年報. 4. 75-80 (1999)
