2000 Fiscal Year Annual Research Report
高輝度電子源アレイと真空マイクロエレクトロニクスへの展開研究の調整
| Project/Area Number |
12135101
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (B)
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
高井 幹夫 大阪大学, 極限科学研究センター, 教授 (90142306)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
安達 洋 室蘭工業大学, 工学部, 教授 (80005446)
山本 恵彦 筑波大学, 物理工学系, 教授 (60251039)
石川 順三 京都大学, 工学研究科, 教授 (80026278)
梶原 和夫 ソニー, テクニカルサポートセンター, 主幹研究員
三村 秀典 東北大学, 電気通信研究所, 助教授 (90144055)
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| Keywords | 電界放出電子源 / 電子源の高輝度化 / 電子源の安定化 / 電子源アレイ / FED / ディスプレイ / 陰極材料 / 真空マイクロエレクトロニクス |
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| Research Abstract |
本研究では、電界放出電子源の低電圧化、高輝度化、安定化と長寿命化、放出電子の低エネルギー分散化、そして素子への展開を、陰極新材料の開発、電子源の構造制御と電子源の高機能化の立場から相互に密接な連携を保って研究するために、その調整を行っている。
特定領域研究開始後、2回の総括版会議と1回の公開シンポジウムを開催し、特定領域研究(B)の各研究計画班の連携と調整を行った。
1.「総括版第1回会議(於 大阪大学)」平成12年10月6日
特定領域を始めるに当たって、高輝度電子源アレイに関する研究の基本方針の確認と特定領域研究を進める各研究班の連携方策に関する打ち合わせを行った。
2.「総括版第2回会議(於 東北大学)」平成12年11月17日、18日
各計画研究班の連携を計るため、これまでの電子源研究成果の発表・検討を行い、個々の研究を有機的に連携するための方針を調整した。また、民間からの評価委員によるFED等のディスプレイデバイスへの応用の立場から、問題点提示を受けた。これによる基礎研究の研究方向の設定を行った。
3.「平成12年度公開シンポジウム(於 東北大学)」平成13年2月23日、24日
計画研究班および民間を含めた研究者による「高輝度電子源アレイと真空マイクロエレクトロニクスへの展開」に関する公開シンポジウムを日本学術振興会第158委員会と共催で開催、これまでの成果の評価と産官学の連携を計り、特定領域研究の内容についての討論を行った。
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[Publications] H.Mimura: "GaAs Lateral Field Emitters for Generation of Modulation Beam using Gunn Effect"J.Vac.Sci.Technl.. (in press). (2001)
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[Publications] 三村: "半導体エミッタからの電子放射特性"電子情報通信学会論文誌. J83-C. 673-680 (2000)
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[Publications] A.Seidl: "Accuracy Problems in Simulation of Field Emitter Devices Using Finite Elements"J.Computational Physics. 166. 159-164 (2001)
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[Publications] C.Ochiai: "Fabrication Process of Field Emitter Arrays Using Focused Ion and Electron Beam Induced Reaction"J.Vac.Sci.Technl.. B19(in press). (2001)
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[Publications] Y.Gotoh: "Relationship Between Work Function and Current Fluctuation of Field Emitters : Use of S-K Chart for Evaluation of Work Function"J.Vac.Sci.Technl.. B19(in press).
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[Publications] S.Yagyu: "Molecular Beam Studies on Inelastic Collision Processes of Methane Molecules at a Pt (111) Surface"Appl.Surf.Sci.. (in press). (2001)
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[Publications] T.Tomii: "Speed Distribution of C2H6 Molecular Beam Scattered Through Chattering Collision on a LiF (001) Surface"J.Vac.Sci.Technl.. (in press). (2001)
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[Publications] H.Nakane: "Influence of Gases on FEA Observed by an Emission Microscope"Appl.Surf.Sci.. (in press). (2001)
