2000 Fiscal Year Annual Research Report
斜出射測定型-微小領域X線分析装置の試作とエアロゾル等の単1粒子分析
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12554030
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
辻 幸一 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (30241566)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
高橋 秀之 日本電子(株), 電子光学機器技術本部・応用研究センター, 主任研究員(研究職)
浅見 勝彦 東北大学, 金属材料研究所, 助教授 (20005929)
我妻 和明 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (30158597)
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| Keywords | 斜出射X線測定 / EPMA / マイクロアナリシス / 表面分析 / 微粒子分析 / エアロゾル |
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| Research Abstract |
12年度の科研費により日本電子製の電子顕微鏡(SEM,JSM-5500)を購入した。これは最も単純なSEMであるので、これに現有のエネルギー分散型X線検出器EDXを取り付けることとした。斜出射X線測定を行うためには出射角度と変える必要がある。これまでの予備実験では電子源とEDXを固定したままで試料ホルダーを傾斜させることで出射角を変えていた。しかし、試料ホルダーを傾斜させる際に電子ビームが試料を照射する位置が移動するため、微小領域の分析に応用できなかった。そこで、今回の試作品ではEDX自身を上下に動かす方式を考えた。つまり、EDXをフレシキブル管でESM本体に接続し、かつ、上下に動かすためにZ-ステージにEDXを取り付けた。Z-ステージはステッピングモーターで駆動でき、X線エネルギー分析と角度制御をパソコンで制御できるようにシステムを構築した。その後、検出限界、連続X線バックグラウンド、分析深さなど基本的な分析特性を評価し、総説を含む数編の論文として報告した。本年度後半は、この斜出射EPMA装置を用いて薄膜分析、表面分析、微粒子分析などに応用した。その結果、斜出射EPMA法は局所-表面分析に有効であることが明らかとなった。これらの結果は論文として報告するとともに、ブラジル(Sao Pedro,19-24,Nov.2000)で開催されたラテンアメリカX線分析セミナーにおいて招待基調講演において発表した。
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[Publications] 辻幸一: "斜出射X線測定型の電子線プローブマイクロアナリシス"X線分析の進歩(アグネ技術センター編). 32集(印刷中). 20 (2001)
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[Publications] 辻幸一: "斜出射X線測定による微小領域の表面分析と微粒子分析"まてりあ(日本金属学会 編). 39. 586-593 (2000)
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[Publications] K.Tsuji: "Grazing-Exit X-Ray Spectrometry for Surface and Thin-Film Analysis"Anal.Sci.. 17. 145-148 (2001)
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[Publications] K.Tsuji: "Surface Studies by Grazing-Exit Electron Probe Microanalysis (GE-EPMA)"X-Ray Spectrom.. 30(印刷中). 5 (2001)
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[Publications] K.Tsuji: "Comparison of Grazing-Exit Particle-induced X-ray Emission with other Related Methods"Spectrochim.Acta B. 55. 1009-1016 (2000)
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[Publications] K.Tsuji: "Detection Limit of Grazing-Exit Electron Probe Microanalysis (GE-EPMA) for Particles Analysis"Microchim.Acta. 132. 357-360 (2000)
