2003 Fiscal Year Annual Research Report

三次元座標測定における測定の不確かさの評価方法の研究

Research Project

Project/Area Number	13450099
Research Institution	The University of Tokyo
Principal Investigator	高増潔東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (70154896)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	古谷涼秋東京電機大学, 工学部, 教授 (50219119)
Keywords	測定の不確かさ / 三次元測定機 / バーチャル測定機 / 精度評価
Research Abstract	三次元座標測定機の不確かさの評価方法を総合的に検討し,多くの部分の理論化を行うことができた.特に,測定戦術と測定対象の形状偏差に起因する測定の不確かさに対して,その評価方法をシミュレーションおよび統計的な実験によって明らかした. 1.シミュレーションによる形状偏差の影響円形状に対して,特定な自己相関関数を持つ形状偏差を与えた.この円形状を種々の測定戦略によって測定するシミュレーションを行った.この結果,測定戦略(測定場所,測定点数)に依存した,測定結果(円形状の中心座標と直径)の不確かさをシミュレーションで求めることができた. 2.形状偏差の影響の理論解析最小二乗法に対して,自己相関により誤差行列の分散共分散を計算することで,理論的に形状偏差の影響を評価することができる.この手法をシミュレーション結果と比較して,理論的な解析の有効性を確認した. さらに,理論的な解析により,最適な測定戦略(測定コストを含めた,測定点数,測定場所)を求める方法を導出した. 3.三次元座標測定機の実際の測定実験三次元測定機により,実際の円穴を測定し,上記のシミュレーションと理論解析の結果との比較を行った.この結果,実際の測定に対して,測定戦略と測定の不確かさの関係が,シミュレーションおよび理論解析と一致し,シミュレーションおよび理論解析が有効であることが確認できた. 以上の実験とシミュレーションより,提案する手法の実現性が証明された.

Research Products
(10 results)

All Other

All Publications (10 results)

[Publications] 佐藤理, 下嶋賢, 古谷涼秋, 高増潔: "パラレルメカニズムのアーティファクト校正(第1報)-緩い束縛条件を用いた運動学パラメータの校正-"精密工学会誌. 70・1. (2004)
[Publications] 高増潔, 下嶋賢, 古谷涼秋, 佐藤理: "座標測定機のアーティファクト校正(第2報)-冗長座標測定機の自己校正-"精密工学会誌. 70・5. (2004)
[Publications] 佐藤理, Gheorghe Olea, 平木雅彦, 高増潔: "パラレルメカニズムを用いた三次元測定機の校正-複数のリンクセットを用いた校正-"精密工学会誌. 70・2. (2004)
[Publications] I.Misumi, S.Gonda, T.Kurosawa, Y.Tanimura, N.Ochiai, J.Kitta, F.Kubota, M.Yamada, Y.Fujiwara, Y.Nakayama, K.Takamasu: "Submicrometre-pitch intercomparison between optical diffraction, scanning electron microscope and atomic force microscope"Meas.Sci.Technol.. 14・12. (2003)
[Publications] M.Abbe, K.Takamasu, S.Ozono: "Reliability on calibration of CMM"easurement. 33・4. 359-368 (2003)
[Publications] 江並和宏, 臼杵深, 平木雅彦, 高橋哲, 高増潔, 大園成夫: "リングビームを用いた三次元変位測定法(第1報)-理論解析と基礎実験-"精密工学会誌. 69・12. 1764-1768 (2003)
[Publications] 高増潔, 野坂健一郎, 阿部誠, 古谷涼秋, 大園成夫: "形体計測における不確かさの見積もり(第2報)-円形体の計測における形状偏差の寄与-"精密工学会誌. 69・5. 693-697 (2003)
[Publications] 下嶋賢, 古谷涼秋, 大園成夫, 高増潔, 平木雅彦, 荒木健司: "3次元測定機の不確かさ推定に関する研究(第1報)-多関節型3次元測定機の機構パラメータの算出と不確かさ推定-"精密工学会誌. 69・6. 841-845 (2003)
[Publications] 郭志徹, 高増潔, 山本明弘, 和田智之, 洲之内啓, 加瀬究, 田代英夫: "波長走査干渉計における信号処理"精密工学会誌. 69・6. 831-835 (2003)
[Publications] 高増潔, 下嶋賢, 古谷涼秋, 佐藤理: "座標測定機のアーティファクト校正(第1報)-運動学パラメータの校正-"精密工学会誌. 69・6. 851-855 (2003)

2003 Fiscal Year Annual Research Report

三次元座標測定における測定の不確かさの評価方法の研究

Principal Investigator

高増 潔 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (70154896)

Research Products

[Publications] 佐藤理, 下嶋賢, 古谷涼秋, 高増潔: "パラレルメカニズムのアーティファクト校正(第1報)-緩い束縛条件を用いた運動学パラメータの校正-"精密工学会誌. 70・1. (2004)

[Publications] 高増潔, 下嶋賢, 古谷涼秋, 佐藤理: "座標測定機のアーティファクト校正(第2報)-冗長座標測定機の自己校正-"精密工学会誌. 70・5. (2004)

[Publications] 佐藤理, Gheorghe Olea, 平木雅彦, 高増潔: "パラレルメカニズムを用いた三次元測定機の校正-複数のリンクセットを用いた校正-"精密工学会誌. 70・2. (2004)

[Publications] I.Misumi, S.Gonda, T.Kurosawa, Y.Tanimura, N.Ochiai, J.Kitta, F.Kubota, M.Yamada, Y.Fujiwara, Y.Nakayama, K.Takamasu: "Submicrometre-pitch intercomparison between optical diffraction, scanning electron microscope and atomic force microscope"Meas.Sci.Technol.. 14・12. (2003)

[Publications] M.Abbe, K.Takamasu, S.Ozono: "Reliability on calibration of CMM"easurement. 33・4. 359-368 (2003)

[Publications] 江並和宏, 臼杵深, 平木雅彦, 高橋哲, 高増潔, 大園成夫: "リングビームを用いた三次元変位測定法(第1報)-理論解析と基礎実験-"精密工学会誌. 69・12. 1764-1768 (2003)

[Publications] 高増潔, 野坂健一郎, 阿部誠, 古谷涼秋, 大園成夫: "形体計測における不確かさの見積もり(第2報)-円形体の計測における形状偏差の寄与-"精密工学会誌. 69・5. 693-697 (2003)

[Publications] 下嶋賢, 古谷涼秋, 大園成夫, 高増潔, 平木雅彦, 荒木健司: "3次元測定機の不確かさ推定に関する研究(第1報)-多関節型3次元測定機の機構パラメータの算出と不確かさ推定-"精密工学会誌. 69・6. 841-845 (2003)

[Publications] 郭志徹, 高増潔, 山本明弘, 和田智之, 洲之内啓, 加瀬究, 田代英夫: "波長走査干渉計における信号処理"精密工学会誌. 69・6. 831-835 (2003)

[Publications] 高増潔, 下嶋賢, 古谷涼秋, 佐藤理: "座標測定機のアーティファクト校正(第1報)-運動学パラメータの校正-"精密工学会誌. 69・6. 851-855 (2003)

高増潔東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (70154896)