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2008 Fiscal Year Final Research Report

Development of Meso/Micro/Nano Manipulators Employing AZARASHI (Seal) Mechanism

Research Project

  • PDF
Project/Area Number 16078214
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas

Allocation TypeSingle-year Grants
Review Section Science and Engineering
Research InstitutionToyota Technological Institute

Principal Investigator

FURUTANI Katsushi  Toyota Technological Institute, 工学部, 教授 (00238685)

Project Period (FY) 2004 – 2008
Keywords圧電アクチュエータ / 位置決め / 移動機構 / パルス密度変調 / ヒステリシス / 摩擦 / 振動 / 真空
Research Abstract

マイクロマシン技術の実用化にあたっては従来の寸法の機械とのギャップを埋める必要性がある.本研究では,アザラシ型機構を用いて物体を操作・観察するシステムを開発した.ビジュアルフィードバックにより操作対象物を位置決めした.要素技術として,真空中で移動するアザラシ型機構,電流パルスを用いた圧電アクチュエータの変位制御法,ナノメータ精度の位置決め機構,力覚デバイスのためのブレーキ機構についても検討した.

  • Research Products

    (21 results)

All 2009 2008 2007 2006 2005 2004

All Journal Article (7 results) (of which Peer Reviewed: 6 results) Presentation (9 results) Book (3 results) Patent(Industrial Property Rights) (2 results)

  • [Journal Article] 電流パルス駆動によるアザラシ型位置決め機構の高分解能化2008

    • Author(s)
      古谷克司,太田徳幸,古田淳
    • Journal Title

      精密工学会誌 74,4

      Pages: 411-415

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 非鉛圧電アクチュエータの技術動向と応用2007

    • Author(s)
      古谷克司
    • Journal Title

      日本AEM学会誌 15,4

      Pages: 391-398

  • [Journal Article] 圧電効果を用いたセンサ2006

    • Author(s)
      古谷克司
    • Journal Title

      計測と制御 45,4

      Pages: 296-301

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Driving method of piezoelectric actuator by using current pulse2006

    • Author(s)
      K. Furutani, K. Iida
    • Journal Title

      Meas. Sci. Technol. 17,9

      Pages: 2387-2394

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] はじめての精密工学 : 圧電アクチュエータ-精密位置決めへの応用2006

    • Author(s)
      古谷克司
    • Journal Title

      精密工学会誌 72,4

      Pages: 449-452

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 3自由度アザラシ型位置決め機構の移動特性の改善2006

    • Author(s)
      古谷克司,河越克己
    • Journal Title

      電気学会論文誌,E編 126,4

      Pages: 131-136

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 圧電アクチュエータを用いた一方向ブレーキ機構2006

    • Author(s)
      古谷克司,波多野誠,金山尚樹
    • Journal Title

      精密工学会誌 72,3

      Pages: 377-381

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 圧電アクチュエータとその応用デバイス(予稿)2009

    • Author(s)
      古谷克司
    • Organizer
      2009年度精密春季
    • Place of Presentation
      東京都文京区
    • Year and Date
      20090000
  • [Presentation] 電流パルスを用いた圧電アクチュエータ駆動における変位に対する外力の影響のシミュレーション(予稿)2008

    • Author(s)
      古谷克司ほか
    • Organizer
      第17回MAGDA
    • Place of Presentation
      茨城県日立市
    • Year and Date
      20080000
  • [Presentation] Evaluation of Driving Performance of Piezoelectric Actuator with Current Pulse, Proc.2008

    • Author(s)
      K. Furutani et al.
    • Organizer
      10th Int. Workshop Adv. Motion Cont.
    • Place of Presentation
      Trento, Italy
    • Year and Date
      20080000
  • [Presentation] Performance of AZARASHI (Seal) Positioning Mechanism with Friction Control by Inertial Force, Proc.2008

    • Author(s)
      K. Furutani et al.
    • Organizer
      11th Int. Conf. New Actuators
    • Place of Presentation
      Bremen, Germany
    • Year and Date
      20080000
  • [Presentation] Improvement of Positioning Resolution and Velocity of AZARASHI (SEAL) Mechanism, Proc. 10th Int. Conf.2008

    • Author(s)
      K. Furutani et al.
    • Organizer
      New Actuators
    • Place of Presentation
      Bremen, Germany
    • Year and Date
      20080000
  • [Presentation] Performance of Driving Method of Piezoelectric Actuator by Using Current Pulse, Proc.2006

    • Author(s)
      K. Furutani et al.
    • Organizer
      9th IEEE Int. Workshop Adv. Motion Cont.
    • Place of Presentation
      Istanbul, Turkey
    • Year and Date
      20060000
  • [Presentation] Application of AZARASHI (Seal) Mechanism to Fine Motion Stage of Atomic Force Microscope, Proc.2005

    • Author(s)
      K. Furutani et al.
    • Organizer
      3rd Int. Conf. Leading Edge Manuf. in 21st Century
    • Place of Presentation
      Nagoya, Japan
    • Year and Date
      20050000
  • [Presentation] One-way Brake Mechanism Using Piezoelectric Actuator, Proc.2005

    • Author(s)
      K. Furutani et al.
    • Organizer
      IEEE Int. Conf. Mechatron. Autom.
    • Place of Presentation
      Niagara Falls, ON, Canada
    • Year and Date
      20050000
  • [Presentation] Machining Characteristics with Nanometer-cutting Machine Equipped Parallel Mechanism, Proc.2004

    • Author(s)
      K. Furutani et al.
    • Organizer
      19th Ann. Meet. Am. Soc. Precis. Eng.
    • Place of Presentation
      Orlando, FL, USA
    • Year and Date
      20040000
  • [Book] 実用精密位置決め技術事典2008

    • Author(s)
      古谷克司
    • Total Pages
      182-183,206-212,682-687,687-692
    • Publisher
      産業技術サービスセンター
  • [Book] 無鉛圧電セラミックス・デバイス2008

    • Author(s)
      谷順二,高橋弘文,永田肇,柿本健一,和田智志,野口祐二,道川貞弘,古谷克司
    • Total Pages
      154-196
    • Publisher
      養賢堂
  • [Book] 最新機械機器要素技術2008

    • Author(s)
      古谷克司
    • Total Pages
      179-182
    • Publisher
      エヌジーティー
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 移動機構2008

    • Inventor(s)
      古谷克司,松野晋
    • Industrial Property Rights Holder
      古谷克司,松野晋
    • Industrial Property Number
      特許,第4162351号
    • Acquisition Date
      2008-08-01
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 圧電素子駆動装置および駆動方法2004

    • Inventor(s)
      古谷克司,宗片睦夫
    • Industrial Property Rights Holder
      古谷克司,宗片睦夫
    • Industrial Property Number
      特願,2004-349474
    • Filing Date
      2004-12-02

URL: 

Published: 2010-06-10   Modified: 2016-04-21  

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