2005 Fiscal Year Annual Research Report
レーザーコンプトン散乱による短パルス軟X線顕微鏡の実現
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16340079
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| Research Institution | Waseda University |
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Principal Investigator |
鷲尾 方一 早稲田大学, 理工学術院, 教授 (70158608)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
広瀬 立成 早稲田大学, 理工学術院, 教授 (70087162)
黒田 隆之助 早稲田大学, 理工学術院, 教授 (70350428)
濱 義昌 早稲田大学, 理工学術院, 教授 (40063680)
柏木 茂 大阪大学, 産業科学研究所, 助手 (60329133)
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| Keywords | 高品質電子ビーム / 逆コンプトン散乱 / 軟X線発生 / 顕微鏡 |
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| Research Abstract |
本研究では早稲田大学・理工学総合研究センターが保有する5MeVのレーザーフォトカソードRF電子銃からの高品質電子ビームと高度に制御されたNd:YLFレーザーからの高輝度IR光を衝突させ、逆コンプトン散乱によるエネルギー370eVの単色・高輝度軟X線の発生実験の高度化を行った。今年度はこの軟X線の輝度増強のためまず、レーザー光の増幅実験を行った。この増幅のためには従来から設置されているNd:YLFレーザー装置から取り出されたIR光を後置のフラッシュランプ励起の増幅器を複数回通過させることで実施し、結果として20mJ/パルスという非常に高い出力のIR光を得ることに成功した。一方電子ビームについても昨年度試験的に行ったプロファイル整形をシステムに組み込み、安定的に数mmmradという極めて質の良いビームを得ることに成功した。これらにより今後の軟X線発生の輝度増強への目処が立った。一方、X線のキャラクタリゼーションのためのレジストの高感度化実験については、UV光のプレ照射方という新しい方式を導入し、昨年来検討していた技術を確立し、従来のレジスト感度を安定して1桁以上向上させることに成功した。またX線の集光光学系としてのフレネルゾーンプレートの最適設計も実施し、来年度より実際の集光実験を行う準備が整った。なおこのゾーンプレートを導入するための多軸ゴニオ装置もすでに設計製作を完了し、動作確認を行った。またさらにX線CCDカメラの導入についても詳細な検討を加え、来年度予定するカソードの高量子効率化を通じて、X線像取得への目処をつけることができた。
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