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2006 Fiscal Year Annual Research Report

ナノ金型のための超高精度で極低価格なマイクロリソグラフ技術の開発

Research Project

Project/Area Number 17360061
Research InstitutionNagaoka University of Technology

Principal Investigator

田辺 郁男  長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (30155189)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 水谷 淳之介  富山商船高等専門学校, 電子制御工学科, 助教授 (70166015)
Keywords金型 / ナノオーダー / マイクロリソグラフ / レーザー / レーザー発色 / 酸化膜厚 / 微細金型 / ニューラルネットワーク
Research Abstract

本研究では,以下の4つの研究を行った.
(1)「YVO_4レーザー加工機を用いたステンレス鋼とチタンへの発色加工とその管理」では,ステンレス鋼とチタンの2種類を供試材とし,YVO_4レーザ加工機の繰り返し照射によって酸化皮膜を生成・成長させ,発色の種類(範囲やその限界)を確認する.つぎに,先の現象をもとにその発色現象を原理的に把握し,最後に,レーザーの加工条件と発色の関係のニューラルネットを構築し,その逆解法による発色制御手法を開発,評価する.
(2)(1)において発色条件を見つけにくかったステンレス鋼を供試材とし,まず,正確な酸化皮膜の膜厚を推定するため,理論的に膜厚と干渉色との関係を調べ,さらに,発色しにくい色(鋭敏色)の考察を行った.発色制御にはニューラルネットワークを使用せず,単純な加工条件をデータベース化することにより発色加工を行った.つぎに,所望の膜厚を安定して得るため,実験環境の外乱が加工精度に及ぼす影響について考察し,発色加工の安定化を図った.最後に,酸化皮膜の耐摩耗性,耐候性を検討することにより,工業的な有効性について評価を行った.
(3)従来のレーザ加工では発色しにくかった鋭敏色を発色制御する新手法を開発し,その評価を行った.さらに,従来よりも厚い酸化皮膜を生成・成長させることによって,従来出すことができなかった発色も試行した.最後に,第2章で行ったステンレス鋼表面発色部の耐候性の検討結果を受け,今回は耐候性の改善を試行・評価した.
(4)この発色技術をナノオーダーの金型製作技術に転用し,その効果を評価する.具体的には,まず,ベース材からの酸化膜上面の高さの測定技術を確立し,それを使用して酸化膜上面高さと発色の関係を明らかにする.つぎに,マスキングと微動テーブルを用いた新しい装置を使用して水平方向の酸化物創生限界を明らかにする.最後に,総合評価としてプロトタイプ金型を製作し,それを用いてシリコン製品を成型し,本手法の工業的な有効性を評価を試みた.

  • Research Products

    (3 results)

All 2007 2006

All Journal Article (3 results)

  • [Journal Article] チタンへのレーザ発色加工とその光触媒効果2007

    • Author(s)
      品田正人, 田辺郁男, 須貝裕之, 井山徹郎
    • Journal Title

      日本機械学会論文集(C編) 73巻・726号

      Pages: 583-588

  • [Journal Article] YVO_4レーザを用いたステンレス鋼の発色加工(発色に関する環境因子,鋭敏色,寿命の考察)2006

    • Author(s)
      品田正人, 田辺郁男, 高橋 智, 板垣 薫
    • Journal Title

      日本機械学会論文集(C編) 72巻・713号

      Pages: 235-240

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [Journal Article] YVO_4レーザを用いたステンレス鋼の発色加工(鋭敏色の発色管理と寿命の改善)2006

    • Author(s)
      品田正人, 田辺郁男, 島崎拓也, 板垣 薫
    • Journal Title

      日本機械学会論文集(C編) 72巻・722号

      Pages: 3406-3411

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より

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Published: 2008-05-08   Modified: 2016-04-21  

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