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2018 Fiscal Year Annual Research Report

Ambient SIMS Technique for Liquid-Solid Interface Analysis

Research Project

Project/Area Number 17H01058
Research InstitutionKyoto University

Principal Investigator

松尾 二郎  京都大学, 工学研究科, 准教授 (40263123)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 瀬木 利夫  京都大学, 工学研究科, 講師 (00402975)
青木 学聡  京都大学, 学術情報メディアセンター, 准教授 (90402974)
Project Period (FY) 2017-04-01 – 2021-03-31
Keywordsイオン / SIMS / 大気圧分析 / 質量分析 / 固液 / 高速重イオン
Outline of Annual Research Achievements

大気圧下で液体が存在する表面を評価することが可能である高速重イオンを用いる2次イオン質量分析法(MeV-SIMS法)を使い、固体と液体との界面状態の探査的研究を行う。細胞、触媒、電池など様々な分野で固液界面は極めて重要な役割を担っているが、真空を基礎とする表面分析技術では限界があり、固液界面はいまだに十分解明されていない。これまでの分析手法では困難であった固液界面のダイナミクスの解明などを試み、固体と液相との界面で起こる特異な現象の解明を行える革新的な評価技術を実現する。
様々な手法を使って形成した固液界面の2次イオンスペクトルを測定した。一つは昨年度から引き続き行っている水滴をキャストして液相(液滴)を固体表面に形成したものである。液相の膜厚はサブmmと極めて厚く、液滴が存在するときには液相表面からの飛び出してきた2次イオンであることが保証されている。もう一つの方法は、気相から液体分子を吸着させて液相を形成する手法である。吸着量が少ない時には極めて薄い液体層が表面に形成できる。水分子を使い吸着層のSIMS測定を大気圧下で行ったところ、液滴からの2次イオンスペクトルと極めて類似したスペクトルが得られた。このことは極めて薄い液体層でも厚い液体層と同様の構造を持っていることを示している。レーザーを用いた結果でも多量体が多く検出されており、水分子の液相中に多くの水クラスターが形成されており、それが観察されたと考えられる。2次イオンスペクトルを詳細二階席嗣、水表面特有の構造を調べていく。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

固液界面の評価手法はそれほど多くなく、主にフォトンやX線を使った手法が開発されてきた。また、近年AFMを使う手法が開発され固液界面の観察が行わるようになってきた。しかし、2次イオン質量分析法で固液界面を評価した例はこれまでに全く前例がないが、高感度の質量分析法の分子同定能力を活かして、固液界面に存在する複雑な有機分子を検出することが可能になると考えられる。実用的な固液界面は複雑な分子構造を持つ有機液体であることが多いので、SIMS法の持つ優れた分子同定能力は強力な武器となる。
既にもっとも簡単な液体である水を使って固液界面を形成し、2次イオン測定を行った。今後は、更に複雑な分子を使い固液界面評価法としての有用性を示すとともに、他の手法との比較検討を進めることにより、本手法の特徴を明らかにする。

Strategy for Future Research Activity

固液界面の評価で最も難しい課題の一つに液相の膜厚コントロールがある。液相表面では吸着と蒸発が動的平衡状態にあるため、吸着が優勢になると膜厚が厚くなり、蒸発が優勢になると膜厚が減少する。例えば水分子の場合には、湿度が高いと吸着が優勢になり膜厚が増加する。一方基板温度とチャンバー温度(大気の温度)の差も重要なパラメータであり、この温度差により吸着と蒸発のどちらが優勢になるかが決まる。
このため、湿度制御と同時に温度制御も重要なパラメータであり、これらを高精度に制御するためのシステム構築を行っていく。

  • Research Products

    (28 results)

All 2019 2018 Other

All Int'l Joint Research (3 results) Journal Article (3 results) (of which Int'l Joint Research: 2 results,  Peer Reviewed: 2 results) Presentation (21 results) (of which Int'l Joint Research: 12 results,  Invited: 3 results) Book (1 results)

  • [Int'l Joint Research] Kaiserlautern大学(ドイツ)

    • Country Name
      GERMANY
    • Counterpart Institution
      Kaiserlautern大学
  • [Int'l Joint Research] Namur大学(ベルギー)

    • Country Name
      BELGIUM
    • Counterpart Institution
      Namur大学
  • [Int'l Joint Research] Chiang Mai大学/Kaiserlautern大学(タイ)

    • Country Name
      THAILAND
    • Counterpart Institution
      Chiang Mai大学/Kaiserlautern大学
  • [Journal Article] SIMS技術の飛躍的発展を支える新技術:新奇なイオンビーム開発から先端質量分析法まで2018

    • Author(s)
      松尾 二郎, 瀬木 利夫, 青木 学聡
    • Journal Title

      表面と真空

      Volume: 61(7) Pages: 426-434

    • DOI

      10.1380/vss.61.426

  • [Journal Article] Cationization and fragmentation of molecular ions sputtered from polyethylene glycol under gas cluster bombardment: An analysis by MS and MS/MS2018

    • Author(s)
      Pruchayawoot Thopan, Hubert Gnaser, Rika Oki, Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
    • Journal Title

      INTERNATIONAL JOURNAL OF MASS SPECTROMETRY

      Volume: 430 Pages: 149-157

    • DOI

      10.1016/j.ijms.2018.05.012

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] In situ cationization of molecular ions sputtered from organic specimens under cluster bombardment2018

    • Author(s)
      Hubert Gnaser, Wolfgang Bock, Jiro Matsuo
    • Journal Title

      JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B

      Volume: 36(3) Pages: 03F106-

    • DOI

      10.1116/1.5009781

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Presentation] Liquid Adsorption and Desorption measured with Ambient ?SIMS2019

    • Author(s)
      J. Matsuo, T. Seki, T. Aoki
    • Organizer
      Symposium on Surface and Nano Science 2019
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 巨大ガスクラスタービームによる表面クリーニングと加工2019

    • Author(s)
      瀬木 利夫
    • Organizer
      シリコンテクノロジー分科会第216回研究集会
    • Invited
  • [Presentation] 伝統的イオン衝突シミュレーションプログラムの改善手法の検討2019

    • Author(s)
      青木 学聡
    • Organizer
      The 66th JSAP Spring Meeting, 2019
  • [Presentation] ミストの付加によるポリマーのイメージング分解能の向上2019

    • Author(s)
      松田 大輝, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
    • Organizer
      The 66th JSAP Spring Meeting, 2019
  • [Presentation] 高分子のSIMS分析に向けたエレクトロスプレーイオン源の開発2019

    • Author(s)
      山田 周平, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
    • Organizer
      The 66th JSAP Spring Meeting, 2019
  • [Presentation] 反応性ガスクラスターインジェクションを用いた斜め2方向エッチングによる3D構造の作成(II)2019

    • Author(s)
      瀬木 利夫, 山本 洋揮, 古澤 孝弘, 荘所 正, 小池国彦, 青木 学聡, 松尾 二郎
    • Organizer
      The 66th JSAP Spring Meeting, 2019
  • [Presentation] Improvement in the Detection Sensitivity of Secondary Ions by Na Absorption with the Mist Deposition Method on a PEG Surface2018

    • Author(s)
      T. Matsuda, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
    • Organizer
      The Scientific International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] High-Speed SIMS Imaging Using a High Brightness Cluster Ion Source2018

    • Author(s)
      S. Yamada, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
    • Organizer
      The Scientific International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Secondary Molecular Ion Emission of Polymers with Various Molecular Weights under Large Cluster Ion Bombardment: Enhancement with the Cationization Technique2018

    • Author(s)
      J. Matsuo, L. Houssiau, H. Gnaser, T. Satoh, M. Fujii, T. Seki, T. Aoki
    • Organizer
      The Scientific International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Adsorption of Liquids Measured with MeV-SIMS in Ambient2018

    • Author(s)
      J. Matsuo, T. Seki, T. Aoki
    • Organizer
      16th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Low-energy Electron and Particle Microscopies in Liquid, Gaseous, and Frozen Conditions2018

    • Author(s)
      D. Muller, K. Molhave, S. Chikara, J. Matsuo, M. Willinger, A. Belianinov, H. Plank
    • Organizer
      Microscopy & MicroAnalysis 2018 Meeting
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] SIMS Analysis of Liquid Materials in Low Vacuum with Large Cluster Ion Beam2018

    • Author(s)
      T. Seki, K. Suzuki, T. Aoki, J. Matsuo
    • Organizer
      25th International Conference on Application of Accelerators in Research and Industry
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Chemical Analysis under Ambient Conditions using MeV-Energy Heavy Ion2018

    • Author(s)
      T. Seki
    • Organizer
      25th International Conference on Application of Accelerators in Research and Industry
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Cluster Ion Beams: History and Technology2018

    • Author(s)
      Yamada, J. Matsuo
    • Organizer
      22nd International Conference on Ion Implantation Technology
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 液体材料の大気圧MeV-SIMS測定2018

    • Author(s)
      瀬木 利夫, 石井 健太, 青木 学聡, 松尾 二郎
    • Organizer
      The 79th JSAP Autumn Meeting, 2018
  • [Presentation] 画像分析技術のイメージングSIMS分析への応用2018

    • Author(s)
      青木 学聡, 瀬木 利夫, 松尾 二郎
    • Organizer
      The 79th JSAP Autumn Meeting, 2018
  • [Presentation] ミスト法を用いたセシウム付加によるPEG表面の次イオン検出感度の向上2018

    • Author(s)
      松田 大輝, 松尾 二郎, 瀬木 利夫, 青木 学聡
    • Organizer
      The 79th JSAP Autumn Meeting, 2018
  • [Presentation] Fabrication of multilayer lever structure by double-angled etching with reactive gas cluster injection2018

    • Author(s)
      T. Seki, H. Yamamoto, T. Kozawa, T. Shojo, K. Koike, T. Aoki, J. Matsuo
    • Organizer
      40th International Symposium on Dry Process
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 大気圧SIMS法による固液界面の観察2018

    • Author(s)
      松尾 二郎
    • Organizer
      2018年日本表面真空学会学術講演会
    • Invited
  • [Presentation] Ambient Secondary Ion Mass Analysis of Fatty Acids with MeV-energy Heavy Ion2018

    • Author(s)
      T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
    • Organizer
      The 19th Workshop on Surface and Interface Analysis by Ion Beam
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Improvement in Detection Sensitivity of Secondary Ions by Na Absorption with Mist Deposition Method on a PEG Surface2018

    • Author(s)
      T. Matsuda, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
    • Organizer
      The 28th Annual Meeting of MRS-J
    • Int'l Joint Research
  • [Book] 最新 実用真空技術総覧2019

    • Author(s)
      笠井 秀明 外157名
    • Total Pages
      1096
    • Publisher
      (株)エヌ・ティー・エス
    • ISBN
      978-4-86043-559-2 C3043

URL: 

Published: 2019-12-27  

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