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2008 Fiscal Year Final Research Report

Studies on the Hybrid Simulation System of Molecular Dynamics and Monte Carlo Methods for Electrodeposition

Research Project

  • PDF
Project/Area Number 18560059
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Engineering fundamentals
Research InstitutionKyoto University

Principal Investigator

KANEKO Yutaka  Kyoto University, 大学院・情報学研究科, 助教 (00169583)

Project Period (FY) 2006 – 2008
Keywordsめっき / 分子動力学法 / モンテカルロ法 / 添加剤
Research Abstract

分子スケールでのめっきの新しいシミュレーション法として分子動力学法とモンテカルロ法を統合した方法を開発し、表面処理分野に必要なめっきのシミュレーションシステムを構築した。このシステムを用いて、溶液中の添加剤の作用を解析し、添加剤の平滑作用と孔埋め込みへの影響について多くの知見を得た。さらに、めっきによるLSI配線作成の動的モンテカルロ計算のプログラムを開発し、欠陥を含まない配線作成に最適な添加剤の条件の探索を可能とした。

  • Research Products

    (10 results)

All 2009 2008 2007

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (7 results)

  • [Journal Article] Molecular Simulation Approach to the Effects of Additives in Electrodeposition Process2009

    • Author(s)
      S. Nishimura, Y. Kaneko, Y. Hiwatari, K. Ohara and F. Asa
    • Journal Title

      ECS Transaction-Honolulu HI Vol.16

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Monte Carlo and Molecular Dynamics Studies of the Effects of Additives in Electrodeposition2009

    • Author(s)
      Y. Kaneko, Y. Hiwatari, K. Ohara and F. Asa
    • Journal Title

      Journal of Korean Physical Society Vol.54, No.3

      Pages: 1207-1211

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Kinetic Monte Carlo Simulation of Via Filling : Role of Chloride Ions2008

    • Author(s)
      Y. Kaneko, Y. Hiwatari, K. Ohara and F. Asa
    • Journal Title

      ECS Transaction-Phoenix AZ Vol.13 No.12

      Pages: 1-9

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Molecular Simulation Approach to the Effects of Additives in Electrodeposition Process2008

    • Author(s)
      S. Nishimura, Y. Kaneko, Y. Hiwatari, K. Ohara and F. Asa
    • Organizer
      Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science (Joint international meeting ; 214th Meeting of ECS and 2008 Fall Meeting of The Electrochemical Society of Japan)
    • Place of Presentation
      Honolulu, HI, USA
    • Year and Date
      2008-10-15
  • [Presentation] Monte Carlo and Molecular Dynamics Studies of the Effects of Additives in Electrodeposition2008

    • Author(s)
      Y. Kaneko, Y. Hiwatari, K. Ohara and F. Asa
    • Organizer
      17th World Interfinish Congress and Exposition
    • Place of Presentation
      Pusan, Korea
    • Year and Date
      2008-06-18
  • [Presentation] 電気的析出における抑制効果を持つ添加剤の効果 : 分子動力学法とモンテカルロ法の統合シミュレーション2008

    • Author(s)
      金子豊, 西村修一, 樋渡保秋, 小原勝彦, 浅富士夫
    • Organizer
      電気化学会第75回大会
    • Place of Presentation
      山梨大学
    • Year and Date
      2008-03-31
  • [Presentation] 電気銅めっきによる孔埋め込における塩化物イオンの効果-分子シミュレーションによるアプローチ-2008

    • Author(s)
      金子豊, 樋渡保秋, 小原勝彦, 浅富士夫
    • Organizer
      表面技術協会第117回講演大会
    • Place of Presentation
      日本大学津田沼
    • Year and Date
      2008-03-13
  • [Presentation] 電気めっきによる皮膜生成に対する添加剤の効果;分子動力学法とモンテカルロ法の統合手法2007

    • Author(s)
      西村修一, 金子豊, 樋渡保秋, 小原勝彦, 浅富士夫
    • Organizer
      第21回分子シミュレーション討論会
    • Place of Presentation
      金沢歌劇座、金沢市
    • Year and Date
      2007-11-28
  • [Presentation] めっきによるLSI 配線作成における添加剤の効果と埋め込み性-動的モンテカルロシミュレーション-2007

    • Author(s)
      金子豊, 樋渡保秋, 小原勝彦, 浅富士夫
    • Organizer
      第21回分子シミュレーション討論会
    • Place of Presentation
      金沢歌劇座、金沢市
    • Year and Date
      2007-11-26
  • [Presentation] ビアフィリングにおける添加剤の相互作用と埋め込み性-動的モンテカルロシミュレーション-2007

    • Author(s)
      金子豊, 樋渡保秋, 小原勝彦, 浅富士夫
    • Organizer
      表面技術協会第116回講演大会
    • Place of Presentation
      長崎大学
    • Year and Date
      2007-09-19

URL: 

Published: 2010-06-10   Modified: 2016-04-21  

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