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2008 Fiscal Year Final Research Report

Development of a novel etching technique using the atmospheric pressure Plasma for fabrication of solar cells

Research Project

  • PDF
Project/Area Number 18740355
Research Category

Grant-in-Aid for Young Scientists (B)

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Plasma science
Research InstitutionUniversity of Miyazaki

Principal Investigator

TATSUYA Sakoda  University of Miyazaki, 工学部・電気電子工学科, 准教授 (90310028)

Project Period (FY) 2006 – 2008
Keywords高効率太陽光発電材料・素子 / 材料加工・処理 / マイクロ・ナノデバイス
Research Abstract

本研究は、大気圧プラズマを用いた新しい太陽電池の高校率化プロセスの開発として、太陽電池用単結晶シリコン基板表面の低反射率化、及び太陽電池回路内の接触抵抗の向上を目的とした電極溝の作製を実施した。その結果、大気圧下で生成した誘電体バリア放電源による表面処理で、125mm角サイズでほぼ均一な低反射率化処理を実現した。また、沿面放電プラズマを用いた太陽電池表面の電極溝の作製に関する研究では、処理時間3sで溝幅100?m以下の微細な電極溝をマスクレスで作製可能できることを明らかにした。

  • Research Products

    (14 results)

All 2009 2008 2007

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 5 results) Presentation (9 results)

  • [Journal Article] Plasma Grooving System Using Surface Discharge Plasma2009

    • Author(s)
      T. Hamada, M. Otsubo and T. Sakoda
    • Journal Title

      Plasma Chemistry and Plasma Processing Vol.29

      Pages: 197-204

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Optimization of Convex Electrode Geometry for Surface Discharge Used for Fabrication of the Electrode Groove on Solar Cells2008

    • Author(s)
      T. Hamada, S. Arakawa, T. Sakoda, M. Otsubo, K. Matsui, K. Nagasawa
    • Journal Title

      Surface & Coatings Technology Vol.202,No.22-23

      Pages: 5405-5409

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 高気圧沿面放電による太陽電池用電極溝の作製2008

    • Author(s)
      濱田俊之、荒川純一、大坪昌久、迫田達也
    • Journal Title

      電気学会論文誌材料・基礎・共通部門誌 Vol.128,No.12

      Pages: 733-709

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Evaluation of Electrode Grooves Formed Using Surface Discharge Plasma2007

    • Author(s)
      T. Hamada, T. Sakoda, M. Otsubo, M. Matsui and K. Nagasawa
    • Journal Title

      Proc. of 18th Int. Symp. on Plasma Chemistry No.28-P74

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Effects of Back Electrode for Etching of Silicon Nitride Film on Solar Cells Using Surface Discharge2007

    • Author(s)
      S. Arakawa, T. Hamada, T. Sakoda, M. Otsubo
    • Journal Title

      Proc. of Japan-Korea Joint Symp. on Electrical Discharge and High Voltage Eng No.16B-p5

      Pages: 91-94

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 沿面放電プラズマによるエッチングにおいて背後電極長がエッチングに与える影響2008

    • Author(s)
      濱田俊之、荒川純一、近藤龍治、六田朋美、迫田達也
    • Organizer
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
    • Year and Date
      20080000
  • [Presentation] Plasma Grooving System Using Surface Discharge Plasma, 4th Vacuum and Surf2008

    • Author(s)
      T. Hamada, T. Rokuta, R. Kondo, M. Otsubo and T. Sakoda
    • Organizer
      Sciences Conf. of Asia and Australia, Abstract book of VASSCAA-4,
    • Year and Date
      20080000
  • [Presentation] 沿面放電によるエッチングと発光観測2008

    • Author(s)
      六田朋美、那須郁美、濱田俊之、迫田達也
    • Organizer
      2008年放電学会年次大会CD-ROM
    • Year and Date
      20080000
  • [Presentation] 沿面放電発光スペクトルの計測によるAr : CF4最適混合比の検討2008

    • Author(s)
      六田朋美、那須郁美、濱田俊之、迫田達也
    • Organizer
      平成20年度応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集
    • Year and Date
      20080000
  • [Presentation] 高気圧沿面放電による窒化シリコン膜のエッチング2007

    • Author(s)
      荒川純一、濱田俊之、六田朋美、近藤龍二、迫田達也
    • Organizer
      第60回電気関係学会九州支部連合大会講演論文集
    • Year and Date
      20070000
  • [Presentation] 高気圧沿面放電プラズマの太陽電池製造プロセスへの適用2007

    • Author(s)
      六田朋美、近藤龍二、荒川純一、濱田俊之、迫田達也
    • Organizer
      応用物理学会九州支部シンポジウム講演資料集
    • Year and Date
      20070000
  • [Presentation] 大気圧・高気圧沿面放電プラズマを用いた太陽電池用電極溝の作製技術2007

    • Author(s)
      迫田達也、濱田俊之、荒川純一
    • Organizer
      応用物理学会第23回九州・山口プラズマ研究会資料集
    • Year and Date
      20070000
  • [Presentation] Fabrication of Electrode Grooves on Solar Cells Using Surface Discharge2007

    • Author(s)
      T. Hamada, S. Arakawa, T. Sakoda, M. Otsubo
    • Organizer
      17th Int.Photovoltaic Science and Eng. Conf., Technical Dijest of the Int.
    • Year and Date
      20070000
  • [Presentation] 沿面放電により作製した太陽電池電極溝表面の成分分析2007

    • Author(s)
      六田朋美、近藤龍二、荒川純一、濱田俊之、迫田達也
    • Organizer
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部支部大会研究発表論文集
    • Year and Date
      20070000

URL: 

Published: 2010-06-10   Modified: 2016-04-21  

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