2007 Fiscal Year Annual Research Report
プローブ型データ記録装置への応用を目指す超高性能MEMS静電インチワームモータ
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18810010
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
SARAJLIC Edin The University of Tokyo, 生産技術研究所, 特定プロジェクト研究員 (50431820)
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| Keywords | マイクロマシン / マイクロアクチュエータ / 微小位置決め / データ記録装置 / シリコン |
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| Research Abstract |
このプロジェクトの目的は、データ記憶装置のための高性能な静電ステッピング・モータを開発することである。これらの装置には、「データ保存のための探針位置決め」と「ハードディスクドライブのトラッキング機構」も含まれる。
私たちはマイクロ静電機械を用いて12bitのデジタル、アナログ変換機(12-bit MEMDAC)を製作しテストした。[J1,C1]。そして直線[C4]もしくは回転[C5]運動をする、静電3相ステッピング・モータを試作した。これらのモータにより、データ保存容量と記憶装置の性能向上が期待できる。従来のモータと比較して、このマイクロモータには以下の利点がある。(1)Open-loopで操作が可能、(2)電圧のインプットノイズに影響されない、(3)出力変位が再現可能な点である。
マイクロモータを現実的に作製できるかどうかは、その微細加工が可能かどうかに強く依存している。そのために私たちは新しい作製手法を開発し、実行した[J2,J3,C2,C3,C4]。これらの開発した方法と、垂直溝による分離[C4]、HAREM [J3,C2]により、マイクロモータの駆動部と固定部の作動部品同士を、適切に絶縁ができるようになった。洗練されたこの電気的絶縁法は、全く新しい種類のマイクロシステムを可能にすると同時に、設計を容易にし、現存するモータの性能をさらに向上させることができる。
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