2009 Fiscal Year Self-evaluation Report
Understanding and Control of Electronic Properties of Nanometerthick Dielectric Films
| Project/Area Number |
19106005
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Electronic materials/Electric materials
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
TORIUMI Akira The University of Tokyo, 大学院・工学系研究科, 教授 (50323530)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2011
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| Keywords | 電気・電子材料 / 誘電体物性 / 超薄膜 / 表面・界面物性 |
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| Research Abstract |
本研究の目的は、ナノメートル厚絶縁膜の電子構造、誘電性、及びその絶縁膜との界面の性質に関して、材料の物性理解に基づいた系統的な制御指針を構築することである。比誘電率(静的、動的)だけでなく絶縁膜の電子構造、さらに絶縁膜との異種材料界面に研究の焦点をあて、絶縁膜内部電界における電荷再分布、構造変化に伴う原子の動きなど直接目に見えない量を抽出し、その動きの起源を明確にする。
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