2008 Fiscal Year Final Research Report

Study on Novel Fabrication Method for Organic Thin Films using Supercritcal Fluid

Research Project

Project/Area Number	19560320
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Single-year Grants
Section	一般
Research Field	Electronic materials/Electric materials
Research Institution	Kogakuin University
Principal Investigator	SAKAMOTO Tetsuo Kogakuin University, 工学部, 准教授 (20313067)
Project Period (FY)	2007 – 2008
Keywords	電気 / 電子材料
Research Abstract	有機薄膜を作製する新しい方法として、超臨界流体を用いた析出法と急減圧法を検討した。析出法では微結晶ならびに薄膜状の析出物が得られた。一方、急減圧法では微結晶しか得られなかったが、マスクを用いたパターニングが可能であることを示した。従来の方法と比べ、膜質は劣るものの、一貫したドライプロセスで有機薄膜が作製できる点が特徴である