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2008 Fiscal Year Annual Research Report

磁歪材料薄膜の磁歪感受率制御に関する研究

Research Project

Project/Area Number 19560709
Research InstitutionTokai University

Principal Investigator

松村 義人  Tokai University, 工学部, 教授 (60239085)

Keywords磁歪感受率 / 超磁歪材料 / プラズマ特性 / イオン / 運動量 / 過剰エネルギー / 鉄-IIIA族 / 過飽和固溶体
Research Abstract

本年度は、超磁歪材料であるTb-Fe薄膜およびSm-Fe薄膜作製に際し、プラズマ特性から求めた基板に入射するスパッタガスイオンの運動量をパラメータとして膜に発生する内部応力を評価する方法を開発した。その結果イオンの運動量と膜の内部応力の間に良い直線関係が得られることを明らかにした。この評価方法では従来の粒子のエネルギーを用いた評価方法と異なり、スパッタガス種に依存せず統一的に評価できる。この手法を用いると、異なるスパッタガス種で成膜した場合でも、粒子の運動量を制御することにより、磁歪感受率等の磁歪特性が同じ膜の作製が可能となる。最近の薄膜技術においては、半導体素子の特性、磁性膜の特性、光学薄膜の特性、硬質膜の寿命などは、いずれも膜の内部応力に強く依存することが知られている。本研究室で開発した手法は多くの分野で従来困難だとされてきた、磁歪感受率のような薄膜の磁歪特性の設計を可能とするものである。
鉄-IIIA族元素の磁歪薄膜の研究において、イオンプレーティング法のようなプラズマプロセスを用いた場合、イオン衝撃によって導入された大きな過剰エネルギーを投入することができる。その際、形成された薄膜中に固溶限を超えた溶質原子が鉄中に固溶した過飽和固溶体が作製可能なことを明らかにした。これらの膜は鉄膜とは異なる磁歪感受率のような磁歪特性を示す。以上のように本研究においては、従来の手法では作製不可能な新しい合金が創製できると考えられろ。

  • Research Products

    (41 results)

All 2009 2008

All Journal Article (17 results) (of which Peer Reviewed: 10 results) Presentation (24 results)

  • [Journal Article] 超磁歪材料のSm-Fe/Sm-Fe-C-N層状構造が磁歪特性に及ぼす影響2008

    • Author(s)
      ジャマディル・アズワッド, 他
    • Journal Title

      日本金属学会誌 72巻

      Pages: 777-779

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] イオンプレーティング法によるFe-Mg合金薄膜の作製2008

    • Author(s)
      篠辺 潔, 他
    • Journal Title

      日本金属学会誌 72巻

      Pages: 719-721

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 超磁歪材料薄膜の磁歪特性に及ぼすイオン衝撃の影響2008

    • Author(s)
      蒔田 晃司, 他
    • Journal Title

      日本金属学会誌 72巻

      Pages: 714-718

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] ポリウレタンゴム基板を用いたFe3.2Tb合金薄膜の磁場誘起運動歪2008

    • Author(s)
      末永 竜一, 他
    • Journal Title

      日本金属学会誌 72巻

      Pages: 510-514

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Fe2.4Sm合金薄膜の磁場誘起運動に及ぼすA1基板厚さ依存性2008

    • Author(s)
      中野良, 他
    • Journal Title

      日本金属学会誌 72巻

      Pages: 371-375

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Magnetostrictive Characteristics of Fe-Ga Thin Films Formed by Ion Plating Using Dual Vapor Deposition2008

    • Author(s)
      S. Nakamura, 他
    • Journal Title

      Proc. 11th Int. Conf. on New Actuators (ACTUATOR2008)

      Pages: 733-735

  • [Journal Article] Effect of Ion Bombardment on Magnetostrictive Properties of Giant Magnetostrictive Thin Films2008

    • Author(s)
      K. Makita, 他
    • Journal Title

      Proc. 11th Int. Conf. on New Actuators (ACTUATOR2008)

      Pages: 730-731

  • [Journal Article] Magnetostrictive Characteristics Comparison of Sm-Fe-C and Sm-Fe-N Thin Films Formed by Reactive Sputtering Process2008

    • Author(s)
      K. Shinobe, 他
    • Journal Title

      Proc. 11th Int. Conf. on New Actuators (ACTUATOR2008)

      Pages: 705-707

  • [Journal Article] Sm-Fe/Sm-Fe-N Multilayer Thin Films Prepared by D. C. Magnetron Sputtering Process2008

    • Author(s)
      J. A. Pazaer
    • Journal Title

      Proc. 11th Int. Conf. on New Actuators (ACTUATOR2008)

      Pages: 702-703

  • [Journal Article] Characterization of Fe-Al Magnetostrictive Alloy2008

    • Author(s)
      Koji Makita
    • Journal Title

      Proc. 11th Int. Conf. on New Actuators (ACTUATOR2008)

      Pages: 736-737

  • [Journal Article] Design of Mover Composite thin film Constructed with Different Types of GMM2008

    • Author(s)
      D. Kubo
    • Journal Title

      Proc. 11th Int. Conf. on New Actuators (ACTUATOR2008)

      Pages: 746-749

  • [Journal Article] Influences of Process Condition of Magnetron Sputtering on Magnetostriction and its Susceptibility of Alloy Film Deposited on various Substrates2008

    • Author(s)
      S. Saso
    • Journal Title

      Proc. 11th Int. Conf. on New Actuators (ACTUATOR2008)

      Pages: 738-741

  • [Journal Article] Oblique Deposition of Giant magnetostrictive Thin Film Formed by Ion-plating Process2008

    • Author(s)
      Kiyoshi SHINOBE, 他
    • Journal Title

      Proceedings of the School of Engineering of Tokai University, Series E XXXIII巻

      Pages: 29-34

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Magnetostrictive characteristies of Fe-Al films formed at non equilibrium condition2008

    • Author(s)
      Sho Nakamura, 他
    • Journal Title

      Proceedings of the School of Engineering of Tokai University, Series E XXXIII巻

      Pages: 25-28

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Magnetostrictive Characteristics of Sm-Fe / Sm-Fe-N Multi-layers Thin Films2008

    • Author(s)
      Jamadil Azwad PAZAER, 他
    • Journal Title

      Proceedings of the School of Engineering of Tokai University, Series E XXXIII巻

      Pages: 21-24

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Magnetostrictive properties of Sm-Fe-N and Sm-Fe-C thin film prepared by reactive sputtering process2008

    • Author(s)
      Tempei TANAKAMARU, 他
    • Journal Title

      Proceedings of the School of Engineering of Tokai University, Series E XXXIII巻

      Pages: 17-20

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Ar ion Beam Irradiation Effects on Magnetostorictive Characteristics of Giant Magnetostrictive Thin Films2008

    • Author(s)
      Koji Makita, 他
    • Journal Title

      Proceedings of the School of Engineering of Tokai University, Series E XXXIII巻

      Pages: 17-20

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] イオンプレーティング法によるFe系過飽和合金薄膜の作製2009

    • Author(s)
      中村 翔, 他
    • Organizer
      日本金属学会2009年春期(第144回)大会
    • Place of Presentation
      東京, 東工大
    • Year and Date
      2009-03-30
  • [Presentation] エネルギー変換材料用表面プロセスの開発2009

    • Author(s)
      蒔田 晃司, 他
    • Organizer
      日本金属学会2009年春期(第144回)大会
    • Place of Presentation
      東京, 東工大
    • Year and Date
      2009-03-29
  • [Presentation] イオンプレーティング法により作製した非固溶型合金薄膜の磁歪特性2009

    • Author(s)
      中村 翔, 他
    • Organizer
      日本金属学会2009年春期(第144回)大会
    • Place of Presentation
      東京, 東工大
    • Year and Date
      2009-03-29
  • [Presentation] Fe-Sm/Fe-Tb合金薄膜三層構造素子の磁場誘起運動に及ぼす基板の影響2009

    • Author(s)
      佐宗 駿, 他
    • Organizer
      日本金属学会2009年春期(第144回)大会
    • Place of Presentation
      東京, 東工大
    • Year and Date
      2009-03-29
  • [Presentation] 薄膜の内部応力に及ぼすイオン衝撃の影響2008

    • Author(s)
      蒔田 晃司, 他
    • Organizer
      日本金属学会2009年春期(第144回)大会
    • Place of Presentation
      東京, 東工大
    • Year and Date
      2008-11-12
  • [Presentation] Effects of ion bombardment on internal stress of sputtered thin film2008

    • Author(s)
      Koji Makita, 他
    • Organizer
      The 5^<th> International Symposium on Surface Science and Nanotechnology
    • Place of Presentation
      東京, 早稲田大学
    • Year and Date
      2008-11-12
  • [Presentation] Magnetostrictive characteristies of Fe-IIIB alloy thin film by Ion-plating process2008

    • Author(s)
      Sho Nakamura, 他
    • Organizer
      The 5^<th> International Symposium on Surface Science and Nanotechnology
    • Place of Presentation
      東京, 早稲田大学
    • Year and Date
      2008-11-12
  • [Presentation] Effect of Excess Energy with Plasma Process on Nanostructure of Fe-Mg2008

    • Author(s)
      Kiyoshi Shinobe, 他
    • Organizer
      The 5^<th> International Symposium on Surface Science and Nanotechnology
    • Place of Presentation
      東京, 早稲田大学
    • Year and Date
      2008-11-12
  • [Presentation] Magnetostrictive Properties of Sm-Fe/Sm-Fe-C-N Multilayer Thin Film Prepared by d. c. Magnetron Sputtering Process2008

    • Author(s)
      Jamadil Azwad Pazaer, 他
    • Organizer
      The 5^<th> International Symposium on Surface Science and Nanotechnology
    • Place of Presentation
      東京, 早稲田大学
    • Year and Date
      2008-11-12
  • [Presentation] Magnetostrictive Characteristies of Sm-Fe-C-N thin films formed by reactive sputtering process2008

    • Author(s)
      Katsuhiro Katoh, 他
    • Organizer
      4th Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia (VASSCAA-4)
    • Place of Presentation
      松江, くにびきメッセ
    • Year and Date
      2008-10-28
  • [Presentation] Characteristics of Fe-Al Magnetostrictive Alloy2008

    • Author(s)
      Koji Makita, 他
    • Organizer
      4th Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia (VASSCAA-4)
    • Place of Presentation
      松江, くにびきメッセ
    • Year and Date
      2008-10-28
  • [Presentation] Effect of Ion bombardment on Magnetostrictive Properties of RE( : Rare Earth)-Fe Thin Films2008

    • Author(s)
      Koji Makita, 他
    • Organizer
      4th Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia (VASSCAA-4)
    • Place of Presentation
      松江, くにびきメッセ
    • Year and Date
      2008-10-28
  • [Presentation] イオンプレーティング法で作製したFe-In薄膜の磁歪特性2008

    • Author(s)
      中村 翔, 他
    • Organizer
      日本金属学会2008年秋期(第143回)大会
    • Place of Presentation
      熊本, 熊本大学
    • Year and Date
      2008-09-24
  • [Presentation] Fe-Al合金の磁気特性に及ぼすAl添加量の影響2008

    • Author(s)
      蒔田 晃司, 他
    • Organizer
      日本金属学会2008年秋期(第143回)大会
    • Place of Presentation
      熊本, 熊本大学
    • Year and Date
      2008-09-24
  • [Presentation] Fe-45at%Pd合金薄膜の磁場誘起運動歪に及ぼす成膜時の基板温度の影響2008

    • Author(s)
      佐宗 駿, 他
    • Organizer
      日本金属学会2008年秋期(第143回)大会
    • Place of Presentation
      熊本, 熊本大学
    • Year and Date
      2008-09-24
  • [Presentation] Magnetostrictive Characteristics of Fe-Ga Thin Films Formed by Ion Plating Using Dual Vapor Deposition2008

    • Author(s)
      S. Nakamura, 他
    • Organizer
      11^<th> International Conference on New Actuators (ACTUAT0R2008)
    • Place of Presentation
      ドイツ, ブレーメン
    • Year and Date
      2008-06-10
  • [Presentation] Effect of Ion Bombardment on Magnetostrictive Properties of Giant Magnetostrictive Thin Films2008

    • Author(s)
      K. Makita, 他
    • Organizer
      11^<th> International Conference on New Actuators (ACTUATOR2008)
    • Place of Presentation
      ドイツ, ブレーメン
    • Year and Date
      2008-06-10
  • [Presentation] Magnetostrictive Characteristies Comparison of Sm-Fe-C and Sm-Fe-N Thin Films Formed by Reactive Sputtering Process2008

    • Author(s)
      K. Shinobe, 他
    • Organizer
      11^<th> International Conference on New Actuators (ACTUAT0R2008)
    • Place of Presentation
      ドイツ, ブレーメン
    • Year and Date
      2008-06-10
  • [Presentation] Sm-Fe/Sm-Fe-N Multilayer Thin Films Prepared by D. C. Magnetron Sputtering Process2008

    • Author(s)
      J. A. Pazaer, 他
    • Organizer
      11^<th> International Conference on New Actuators (ACTUATOR2008)
    • Place of Presentation
      ドイツ, ブレーメン
    • Year and Date
      2008-06-10
  • [Presentation] characterization of Fe-Al Magnetostrictive Alloy2008

    • Author(s)
      K. Makita, 他
    • Organizer
      11^<th> International Conference on New Actuators (ACTUATOR2008)
    • Place of Presentation
      ドイツ, ブレーメン
    • Year and Date
      2008-06-10
  • [Presentation] Design of Mover Composite thin film Constructed with Different Types of GMM2008

    • Author(s)
      D. Kubo, 他
    • Organizer
      11^<th> International Conference on New Actuators (ACTUATOR2008)
    • Place of Presentation
      ドイツ, ブレーメン
    • Year and Date
      2008-06-10
  • [Presentation] Influences of Process Condition of Magnetron Sputtering on Magnetostriction and its Susceptibility of Alloy Film Deposited on various Substrates2008

    • Author(s)
      S. Saso, 他
    • Organizer
      11^<th> International Conference on New Actuators (ACTUATOR2008)
    • Place of Presentation
      ドイツ, ブレーメン
    • Year and Date
      2008-06-10
  • [Presentation] 超磁歪材料薄膜の磁歪特性に及ぼすイオン照射の影響2008

    • Author(s)
      蒔田 晃司, 他
    • Organizer
      第25回希土類討論会講演
    • Place of Presentation
      東京, タワーホール船堀
    • Year and Date
      2008-05-29
  • [Presentation] 磁歪材料を用いた運動機能素子に及ぼす基板種類と厚さの影響2008

    • Author(s)
      佐宗 駿, 他
    • Organizer
      日本機械学会2008年度年次大会
    • Place of Presentation
      横浜, 横浜国立大学
    • Year and Date
      2008-04-06

URL: 

Published: 2010-06-11   Modified: 2016-04-21  

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