2008 Fiscal Year Final Research Report

Stamping transfer method for large-area, function-integration, flexible MEMS devices

Research Project

Project/Area Number	19681014
Research Category	Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
Allocation Type	Single-year Grants
Research Field	Microdevices/Nanodevices
Research Institution	The University of Tokyo
Principal Investigator	IWASE Eiji The University of Tokyo, 大学院・情報理工学系研究科, 助教 (70436559)
Project Period (FY)	2007 – 2008
Keywords	MEMS / スタンピング転写 / フレキシブルデバイス
Research Abstract	スタンピング転写を用いることにより、別々の基板上で製作したMEMS構造をフレキシブルシート上に集積した。これにより、今までフレキシブルシート上には製作が困難であった3次元構造や可動機構をもつMEMSデバイスが実現可能となる。本研究を実現する過程で、スタンピング転写の転写率・転写位置精度、平面ギャップの製作精度の評価を行った。また、実際に3次元構造および可動機構を有する応用的な光MEMSデバイスをPDMSシート上に作成できることを示した。