2023 Fiscal Year Annual Research Report
Research on MEMS devices utilizing thick film permanent magnet
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19H00738
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
進士 忠彦 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 教授 (60272720)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
中野 正基 長崎大学, 工学研究科, 教授 (20274623)
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| Project Period (FY) |
2019-04-01 – 2024-03-31
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| Keywords | 永久磁石 / 着磁 / MEMS / アクチュエータ / エネルギハーベスタ / 絞り機構 / ネオジム磁石 / 鉄白金磁石 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
MEMSデバイスにおいて，微小アクチュエータやセンサで一般に使われるネオジム磁石の活用が不十分である．申請者らは，その理由として，１）厚さ数十～数百μｍ の高性能ネオジム磁石を製造する技術が十分開発されていない，２）１）の厚みの磁石を，反磁界の影響を低減した形に，微細加工，微細着磁する技術が未開発である，３）サブミリサイズの磁石を用いたデバイスの応用先の探索とそのデバイスの設計・製造法の検討が十分に行われていないためであると考えている．本研究では，スマートフォンカメラ用マイクロアクチュエータ，IoTや体内植え込みデバイス用エナジーハーベスターなどを開発対象に，厚膜磁石を活用したMEMSデバイスの設計，磁石成膜・加工・着磁，製造技術を総合的に検討している．2023年度は，レーザアシスト加熱で微細着磁した高い保磁力を有するネオジム磁石をターゲットとして，その磁気パターンを，低保磁力のネオジム磁石に転写する方法の深化を目指し，各温度での磁化曲線を計測し，データベースを作成し，それを基礎データとして，転写結果の予想方法を検討した．さらに，ハルバッハ磁気パターンを転写する方法も検討した．また，昨年度までに実現したマイクロモータに絞り機構を組み合わせ，スマートフォンカメラに適用可能なプロトタイプの試作に成功した．さらに，国内のスマートフォンカメラ用デバイスメーカと共同して，実用化に向けた研究を開始した．さらに，ネオジム磁石に加えて，生体適合性と機械特性の両方に優れた鉄白金磁石薄膜を用いた片持ち梁アクチュエータを試作し，磁気パターンをレーザ局所加熱法を利用して可変することで，動特性が変更可能な可変ダイナミクスアクチュエータをデモンストレーションした．
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| Research Progress Status |
令和5年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
令和5年度が最終年度であるため、記入しない。
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