2020 Fiscal Year Research-status Report
空間局在光場並列制御によるナノ除去加工分解能・新概念光励起加工法の挑戦
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19K21913
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (30283724)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
道畑 正岐 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (70588855)
西川 正俊 法政大学, 生命科学部, 准教授 (30444516)
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| Project Period (FY) |
2019-06-28 – 2022-03-31
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| Keywords | 空間局在光場 / 並列制御 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
光エネルギーが本質的に有している，優れた空間エネルギー分布のリモート制御性，並列制御性，高速制御性に，光触媒ナノ粒子を先端チップとする新しい概念のフォトン励起型マイクロ加工工具を融合させ，「究極の微小加工エネルギー媒体」といえる電子を，三次元空間内の所望位置に，直接作用させることが可能な空間光場制御・フォトン励起型マイクロ加工法の有効性について理論・実験の両面から検討する．
本年度においては，提案マイクロ加工微細ツール（フォトン励起型マイクロ加工工具）作成システムの開発を目指し，基盤機能要素ユニットの設計，構築を行い，各種機能検証を完了した．
具体的には，ガルバノミラー制御システムとリレーレンズ光学系による空間複合光圧場生成制御ユニット，工具部品の組立状況を拡大観察可能な無限遠補正型顕微ユニット，および顕微拡大観察像内のマイクロ部品把持・搬送をその場で指示可能な空間複合光圧場制御インターフェースを構築し，それぞれの機能検証を完了した．
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
コロナ禍での実験不可時間を除いて，実活動時間としては，当初の予定通り進展している．
具体的には，ガルバノミラー制御システムとリレーレンズ光学系による空間複合光圧場生成制御ユニット，工具部品の組立状況を拡大観察可能な無限遠補正型顕微ユニット，および顕微拡大観察像内のマイクロ部品把持・搬送をその場で指示可能な空間複合光圧場制御インターフェースを構築し，それぞれの機能検証を完了できたため．
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| Strategy for Future Research Activity |
今年度確立した基盤機能要素ユニットをシステム化することで，マイクロ加工微細ツール（フォトン励起型マイクロ加工工具）作成システムを開発し，前年度確立したマイクロレジン遠隔制御技術に基づき，提案マイクロ加工を実現するための微細ツール（フォトン励起型マイクロ加工工具）の実現を目指す
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| Causes of Carryover |
基盤ユニットレベルの検証ではなく，それらの基盤ユニットをシステム化したマイクロ加工微細ツール（フォトン励起型マイクロ加工工具）作成装置を開発した上で，該当ツールの作成を目指すことが望ましいと判断したため
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Research Products
(1 results)
