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2010 Fiscal Year Annual Research Report

新構造静電レンズ一体型電界放出微小電子源の開発

Research Project

Project/Area Number 20360156
Research InstitutionShizuoka University

Principal Investigator

三村 秀典  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (90144055)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 青木 徹  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (10283350)
根尾 陽一郎  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (50312674)
Keywords電界放出微小電子源 / 電子ビーム集束 / 静電レンズ / ナイフエッジ法 / 多段型電界放出微小電子源 / アインツェルレンズ / 焦点形成
Research Abstract

前年度までの研究により、集束電極が電子引き出し電極の周りに配置され、エッチバック法で集束電極の高さを容易に制御できる新構造静電レンズ一体型電界放出微小電子源において、集束電極の高さを電子引き出し電極に対して、マイナス側にすることによって、集束電極に電子引き出し電極より低電圧を印加する集束動作を行っても、微小電子源のティップ先端の電界強度が減少せず、アノード電流の減少が極めて少なく、かつ電子ビームの集束が行えることがわかった。また、この電子源からの電子ビームはビームの対称性も極めて良いことが分かった。また、微小スリットを用いて、微小スリット以外のところで電子ビームをさえぎり、スリットを通過した電子ピームのみの電流を測定し、スリットを徐々に移動させる、修正ナイフエッジ法を開発して、ピーム径のリアルタイム測定を行った。それにより、修正ナイフエッジ法は、リアルタイムで最も正確な電子ビーム径を測定できることが分かった。平成22年度は、電子ビームの焦点の形成するため、エッチバック法を駆使して、従来の1段の集束電極だけでなく、世界で初めて3段の集束電極(アインチェルレンズを形成する)を持つ多段型電解放出微小電子源の形成を行った。ビーム径の計測を行ったところ、集束電極を増すにつれ、レンズ効果を強くすることが出来ることがわかった。しかし、3段の集束電極では、まだ電子ビームの焦点を形成するには至らなかった。そこで、4段の集束電極を持つ多段型電解放出微小電子源の形成を行い、ビーム径の計測を行い、電子ビームの焦点が形成されていることがわかった。

  • Research Products

    (5 results)

All 2011 2010

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (4 results)

  • [Journal Article] Emission and focusing characteristics of a quintuple-gated field emitter array2011

    • Author(s)
      A.Koike, T.Tagami, Y.Takagi, M.Nagao, T.Yoshida, T.Aoki Y.Neo, H.Mimura
    • Journal Title

      Applied Physics Express

      Volume: 4 Pages: 026701.1-026701.3

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Multi-gated field emitter for a micro-column2011

    • Author(s)
      H.Mimura, T.Aoki, Y.Neo, T.Yoshida, M.Nagao
    • Organizer
      28^<th> annual conference of the microscopy society of Tailand
    • Place of Presentation
      チェンライ(タイ)Mae Fah Luang University
    • Year and Date
      2011-01-06
  • [Presentation] Light sources using field emitter technologies2010

    • Author(s)
      H.Mimura, Y.Neo, T.Aoki, T.Matsumoto
    • Organizer
      10^<th> International Meeting Information Display
    • Place of Presentation
      ソウル(韓国)Kintex
    • Year and Date
      2010-10-14
  • [Presentation] Field emitter technologies for ultra fine image sensor2010

    • Author(s)
      H.Mimura, T.Aoki, Y.Neo, M.Nagao, T.Yoshida, S.Kanemaru
    • Organizer
      Sensors electronics and Microsystems technology
    • Place of Presentation
      オデッサ(ウクライナ)Mechnikov National University
    • Year and Date
      2010-06-29
  • [Presentation] Field emitter technology for nanovision devices2010

    • Author(s)
      H.Mimura, T.Aoki, Y.Neo, M.Nagao, T.Yoshida, S.Kanemaru
    • Organizer
      34^<th> Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits
    • Place of Presentation
      ダルムシュタツト(ドイツ)ルフトハンザ会議センター
    • Year and Date
      2010-05-17

URL: 

Published: 2012-07-19  

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