2008 Fiscal Year Annual Research Report
ゼロパワーで位置制御可能な反磁性グラファイト板を用いた非接触マイクロ駆動の研究
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20560250
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| Research Institution | Fukushima National College of Technology |
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Principal Investigator |
鈴木 晴彦 Fukushima National College of Technology, 電気工学科, 教授 (30201578)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
伊藤 淳 福島工業高等専門学校, 電気工学科, 准教授 (70193472)
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| Keywords | マイクロ・ナノメカトロニクス |
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| Research Abstract |
MEMSなどの分野では、ナノスケールの駆動精度を有する「マイクロXYステージ」が必要とされている。本申請研究では、二次元にHalbach配列した永久磁石上で非接触磁気浮上する反磁性グラファイト板を用いて、ゼロパワーで位置決めが可能な省エネルギー非接触二次元アクチュエータのマイクロ駆動に関する実験研究を行っている。本申請研究期間において永久磁石構成と反磁性グラファイト板形状の最適化を進め、「磁気支持剛性力の改良」、「ゼロパワー・ポジショニングの実証実験」、「マイクロ駆動とダイナミック変位の実験観測」を行う。
平成20年度は、二次元Halbach配列永久磁石列と反磁性グラファイト板の最適設計を進めながら、以下の実験を実施した。
A.「反磁性グラファイト板形状に依存したの磁気支持剛性力の精密観測」:基本となる二次元Halbach配列永久磁石に関する設計は、単に反磁性グラファイト板の浮上力を得るためのものでなく、反磁性グラファイト板の磁気支持剛性力にも関わる。よって、反磁性グラファイト板形状との相互関係により最適化を進める必要がある。これらを明らかにするため、磁場と反磁性グラファイト板形状のパラメータを変えて、磁気支持剛性力の精密観測を実施した。
B.「Halbach配列永久磁石の磁場設計による反磁性グラファイト板の磁気支持剛性力の改良」:上記Aにより二次元Halbach配列永久磁石と反磁性グラファイト板の磁気支持剛性力が精密観測が可能となり、磁気支持剛性力改良の評価ができるようになった。二次元Halbach配列永久磁石上の磁場分布を、別な永久磁石小片を用いることによって磁気支持剛性力の改良を行い評価した。
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Research Products
(7 results)
