2010 Fiscal Year Self-evaluation Report

Evaluation of ultraprecision machine tools using on-machine instrumentation

Research Project

Project/Area Number	20760092
Research Category	Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
Allocation Type	Single-year Grants
Research Field	Production engineering/Processing studies
Research Institution	The Institute of Physical and Chemical Research
Principal Investigator	MORITA Shinya The Institute of Physical and Chemical Research, 加工応用チーム, 研究員 (30360655)
Project Period (FY)	2008 – 2011
Keywords	超精密加工 / 回折格子 / 機上測定 / 超精密切削 / 超精密バニシング加工 / 回折光測定
Research Abstract	レーザオートフォーカス機上計測法をはじめとする機上精密形状計測を超精密研削盤上で用いることにより、超高分散かつ高効率の回折格子の製作を目的として、機上測定を用いた超精密加工機の性能評価手法を開発する