2013 Fiscal Year Annual Research Report
熱アシストＵＶインプリントプロセスにおける熱流体挙動のデジタルホログラム計測
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23560243
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| Research Institution | Tokyo University of Science |
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Principal Investigator |
佐竹 信一 東京理科大学, 基礎工学部, 教授 (90286667)
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| Keywords | 流体計測 / ホログラム / インプリント / 光硬化樹脂 |
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| Research Abstract |
熱アシストインプリント下の加熱時の速度分布を計測するために, 圧着面の温度変化を与えて圧着過程における樹脂挙動に適用デジタルホログラムを適用し４次元速度分布を得ること目的としている。圧着壁面を加熱によるアシストにより樹脂のパターンへの流入の促進法を開発することも目的としている。前年度の結果よりホログラムを用いることにより圧着時の壁面の移動による樹脂の動的な挙動をとらえることに成功しているため加熱圧着での計測を行った。本年度は、圧着内部に面にヒータを導入して温度分布をつけることによって熱で樹脂の挙動をとらえた。圧着面内部の熱電対と圧力センサー、カメラ撮影を連動させて流動挙動と温度の伝わり方を時系列的にとらえることに成功した。また温度の変化と離型剤の影響を調べた。この際、平成24年度に得られた一定温度の内部速度分布との比較を行った。
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