2012 Fiscal Year Research-status Report
レーザー援用微粒子ジェット噴射埋込法による高精度静電容量素子の高速形成技術の開発
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23560375
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| Research Institution | Sendai National College of Technology |
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Principal Investigator |
鈴木 勝彦 仙台高等専門学校, その他部局等, 教授 (80187715)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
武田 光博 仙台高等専門学校, その他部局等, 准教授 (20342454)
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| Keywords | 静電容量 / レーザー / 微粒子 |
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| Research Abstract |
リサイクル可能で地球環境に優しい熱可塑性樹脂を電気電子部品の基板として使用し、機器のコンパクト化を推進する技術として、レーザー援用微粒子ジェット噴射埋込法を提案し研究を推進している。
本研究では、融点が比較的高く非石油系の熱可塑性樹脂（POM）基板に、静電容量（キャパシタ）を高精度に同基板に高速に埋込する技術を開発することを目的としている。平成２３年度において、容量の積層数及び電極面積の関係について、高精度で予測通りに作製可能なことが確認され、誘電体層の積層回数が回数と逆比例ではなく指数関数的に減衰することが見出されたので、
平成２４年度は、得られた結果を拡充させMNC2012の国際会議で発表した。その後、指数関数的容量の減少の現象について検討を加え、電極の層幅だけでなく、微粒子ジェットによる粉砕効果によりナノ粒子の平均粒径が変化することで説明できることを提案し、JJAPへの掲載可の通知を得ている。更に、平成２４年度では、積層数を増やさず高速にキャパシタを形成させるため高誘電率のBaTiO3微粒子と低誘電率のSrTiO3微粒子の混合比を変えてキャパシタを作製し、混合比に比例して精度よく容量が変化することを確認した。更に、SrTiO3と混合することにより、容量の温度変化（温度範囲：室温 ～ 75 ℃）、印加電圧変化（電圧範囲：０ V ～ 7 V）を改善できることを明らかにすることができた。完成した複数素子作製技術においては、２素子は前面で作製可能な事を確認したが、後面も加えて４素子を同時に精度よく作製するには光量の調整が難しいことが判明した。平成２５年度は、後面も精度よくキャパシタを作製することができるように改良を加える必要がある。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
高精度化は予測よりも順調に進んでいる一方、４素子に同時作製して作製の高速化を当初狙っていたが、前面の２素子だけまでしか精度よく作製出来ていないので。
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| Strategy for Future Research Activity |
精度良く４素子を作製できるようにするため、角度の微妙な調整の方法について、微小変位デバイスなどを応用してみる。
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| Expenditure Plans for the Next FY Research Funding |
C―Cuの混合微粒子電極による変化について調べるのでCとCu微粒子の購入に研究費を使用する。また、微小変位をさせるデバイスも購入する。
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Research Products
(2 results)
