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2015 Fiscal Year Annual Research Report

ナノ層マニピュレーションによる高温対応次世代Dyフリー磁石の開発

Research Project

Project/Area Number 25289090
Research InstitutionNagasaki University

Principal Investigator

福永 博俊  長崎大学, 工学研究科, 教授 (10136533)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 中野 正基  長崎大学, 工学研究科, 教授 (20274623)
森村 隆夫  長崎大学, 工学研究科, 准教授 (30230147)
柳井 武志  長崎大学, 工学研究科, 助教 (30404239)
Project Period (FY) 2013-04-01 – 2017-03-31
Keywordsナノコンポジット / 磁石 / Sm-Co / 積層構造 / 磁性体
Outline of Annual Research Achievements

Sm-Co層とα-Fe層の間に高融点金属のバッファ層を挿入し,層間の原子拡散を抑制すると共に,層間での交換相互作用を制御することにより,高保磁力を試みた。バッファ層としてZr,Mo,W,Taを検討したところ,Taバッファ層が保磁力改善に最も効果的であった。バッファ層の理論厚(Ta組成と積層数から計算した厚さ)を1nm以下に制御した膜では,(BH)max値を損なうことなく,保磁力を顕著に改善することができた。
X線回折の結果からは,SmCo3の析出量の減少とSmCo5の析出量の増加が観察され,保磁力改善の一因と考えられる。一方,TEM観察から,熱処理により積層構造が乱れFe2Taが析出することが確認され,所期の目的であったSm-Co/Ta/α-Fe超多周期積層構造は実現できなかった。しかしながら,Taの導入により,保磁力は増加することから,析出Fe2Taがピニングサイトとなっていることも予測される。

異方性Sm-Co/α-Feナノコンポジット厚膜磁石を得るために,低中温での成膜とポスト熱処理により磁気的効果を組み合わせた「二段熱処理」を検討した。
まず,Sm-Co単層膜について,基板温度を変化させて厚膜磁石を作製し,基板温度の効果を調べた。その結果,基板温度250~300℃で成膜すれば,面内に配向したC-Sm厚膜磁石が得られることが明らかになった。
上記の結果を基に,基板温度を250~300℃として,超多周期Sm-Co/α-Fe厚膜を成膜し,650℃のポスト熱処理で磁気的に硬化したところ,面内を磁化容易方向とする,超多周期Sm-Co/α-Feナノコンポジット厚膜磁石を作製することができた。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

最終目標としている「200℃において,(Nd,Dy)-Fe-Bを超える(BH)max値」をすでに達成しているため。

Strategy for Future Research Activity

H28年度までの研究成果を基礎に,平成28年度においては,以下の研究を行い, (BH)max値を更に改善する。
(Ⅰ)層間バッファ層の最適化による保磁力の改善:   H26~27年度の研究においては, Zr, W, Mo, Taバッファ層の効果を調べ,顕著な保磁力改善効果があったのはTaバッファ層であった。しかしながら, TEM観察のよりTa挿入が積層構造を崩す傾向があることも明らかになった。そこで,H28年度の研究においては,半導体プロセスで使用されているTaNバッファ層を導入し,積層構造を維持することによりバッファ層による保磁力改善効果を最大化する。また,予備実験で効果の確認されたSm-Co/MM/α-Fe/MM構造(MMは金属元素)についてもCu層厚を変化させてその効果を最大化する。
(Ⅱ)磁気異方性の増加:   H27年度の研究においては,二段熱処理により,積層構造を崩すことなく,Sm-Coの配向を面内に向けることができた。H28年度の研究においては,熱処理条件を最適化する。さらに,添加元素を導入して配向度を改善する。
(Ⅲ)Fe量の増加:   H27年度の研究においては, α-Feの量を25%に固定して,バッファ層の保磁力改善効果と二段熱処理による配向制御の効果を調べた。一層の高(BH)max化を実現するために, α-Fe量の限界量を明確にする。

  • Research Products

    (38 results)

All 2016 2015

All Journal Article (10 results) (of which Peer Reviewed: 4 results) Presentation (28 results) (of which Int'l Joint Research: 11 results,  Invited: 2 results)

  • [Journal Article] Computer simulation of coercivity improvement due to microstructural refinement2015

    • Author(s)
      Hirotoshi Fukunaga, Ryousuke Hori, Masaki Nakano, Takeshi Yanai, Ryutaro Kato, and Yoshiyuki Nakazawa
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: Vo.117 Pages: 17A729 -1~4

    • DOI

      10.1063/1.4915905

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] PLD-fabricated Fe-Co films on Si wafers and their micromachining2015

    • Author(s)
      A. Yamashita, M. Nakano, T. Yanai, H. Fukunaga
    • Journal Title

      Proceedings of the 13th Joint Symposium of Nagasaki University and Cheju National University on Science and Technology

      Volume: なし Pages: 214-217

  • [Journal Article] Anisotropic Sm-Co Thick Film-Magnets Prepared by Post-Annealing2015

    • Author(s)
      Y. Furukawa, H. Koga, T. Yanai, M. Nakano, H. Fukunaga
    • Journal Title

      Proceedings of the 13th Joint Symposium of Nagasaki University and Cheju National University on Science and Technology

      Volume: なし Pages: 186-189

  • [Journal Article] PLD-fabricated thick-film magnets prepared by using Nd-Fe-B sintered targets2015

    • Author(s)
      T. Tanaka, T. Yanai, M. Nakano and H. Fukunaga
    • Journal Title

      Proceedings of the 13th Joint Symposium of Nagasaki University and Cheju National University on Science and Technology

      Volume: なし Pages: 179-181

  • [Journal Article] Nd-Fe-B film magnets with the thickness above 100 μm deposited on Si substrates2015

    • Author(s)
      Y. Chikuba, A. Yamashita, T. Yanai, M. Nakano, R. Fujiwara, T. Shinshi, H. Fukunaga
    • Journal Title

      Proceedings of the 13th Joint Symposium of Nagasaki University and Cheju National University on Science and Technology

      Volume: なし Pages: 175-178

  • [Journal Article] “Magnetic properties and microstructure of PLD-made Pr-Fe-B film magnets2015

    • Author(s)
      K. Hirotaki, T. Yanai , M. Nakano, H. Fukunaga
    • Journal Title

      Proceedings of the 13th Joint Symposium of Nagasaki University and Cheju National University on Science and Technology

      Volume: なし Pages: 169-171

  • [Journal Article] Nd-Fe-B film magnets prepared by vacuum arc deposition2015

    • Author(s)
      K. Iwashita, T. Yanai , M. Nakano, H. Fukunaga
    • Journal Title

      Proceedings of the 13th Joint Symposium of Nagasaki University and Cheju National University on Science and Technology

      Volume: なし Pages: 166-168

  • [Journal Article] 初等連載講座 永久磁石とその応用 第5回 次世代磁石2015

    • Author(s)
      福永博俊
    • Journal Title

      まぐね (Magnetics in Jpn.)

      Volume: Vol.10 Pages: 254-262

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Nd-Fe-B film magnets with the thickness above 100 μm deposited on Si substrates2015

    • Author(s)
      M. Nakano, Y. Chikuba, M. Oryoshi, A. Yamashita, T. Yanai, R. Fujiwara, T. Shinshi, and H. Fukunaga
    • Journal Title

      IEEE Transactions on Magnetics

      Volume: Vol.51 Pages: 2102604-1~4

    • DOI

      10.1109/TMAG.2015.2438099

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Nd-Fe-B Thick-Film Magnets Prepared by High Laser Energy Density2015

    • Author(s)
      M. Nakano, K. Fujiyama, T. Yanai, M. Itakura, and H. Fukunaga
    • Journal Title

      IEEE Transactions on Magnetics

      Volume: Vol.51 Pages: 2105104-1~4

    • DOI

      10.1109/TMAG.2015.2464089

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] PLD法により作製したPr-Fe-B系ナノコンポジット磁石膜の磁気特性ならびに微細構造に関する研究2016

    • Author(s)
      山下 昂洋
    • Organizer
      平成28年電気学会全国大会
    • Place of Presentation
      東北大学 川内北キャンパス(宮城県仙台市)
    • Year and Date
      2016-03-16 – 2016-03-16
  • [Presentation] PLD法を用いガラス基板上に作製したPr-Fe-B系磁石膜の磁気特性2016

    • Author(s)
      廣瀧 敬士
    • Organizer
      平成28年電気学会全国大会
    • Place of Presentation
      東北大学 川内北キャンパス(宮城県仙台市)
    • Year and Date
      2016-03-16 – 2016-03-16
  • [Presentation] 二段階熱処理を用いて作製した異方性Sm-Co厚膜磁石の磁気特性2016

    • Author(s)
      古川雄也
    • Organizer
      平成28年電気学会全国大会
    • Place of Presentation
      東北大学 川内北キャンパス(宮城県仙台市)
    • Year and Date
      2016-03-16 – 2016-03-16
  • [Presentation] Nano-structured Thick Film Permanent Magnets2016

    • Author(s)
      中野 正基
    • Organizer
      Smart Materials-2016
    • Place of Presentation
      Singapore
    • Year and Date
      2016-03-05 – 2016-03-05
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] 二段階熱処理によって作製したSm-Co厚膜の磁気異方性2015

    • Author(s)
      古川 雄也
    • Organizer
      電気学会マグネティクス研究会
    • Place of Presentation
      日本電気計器検定所(東京都港区)
    • Year and Date
      2015-12-01 – 2015-12-01
  • [Presentation] Nd-Fe-B系磁石膜の表面平滑性に及ぼすターゲットの影響2015

    • Author(s)
      田中 哲平
    • Organizer
      平成27年度(第68回)電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • Place of Presentation
      福岡大学(福岡県福岡市)
    • Year and Date
      2015-09-26 – 2015-09-26
  • [Presentation] ナノワイヤ軟磁性体から構成される交換スプリング磁石の磁気特性に関する計算機シミュレーション2015

    • Author(s)
      中村 尚弥
    • Organizer
      平成27年度(第68回)電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • Place of Presentation
      福岡大学(福岡県福岡市)
    • Year and Date
      2015-09-26 – 2015-09-26
  • [Presentation] Sm-Co/ Fe積層型ナノコンポジット磁石の層間拡散の抑制に関する研究2015

    • Author(s)
      韓 旭
    • Organizer
      平成27年度(第68回)電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • Place of Presentation
      福岡大学(福岡県福岡市)
    • Year and Date
      2015-09-26 – 2015-09-26
  • [Presentation] Si基板上に成膜したNd-Fe-B系磁石膜の厚膜化2015

    • Author(s)
      清水 大
    • Organizer
      平成27年度(第68回)電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • Place of Presentation
      福岡大学(福岡県福岡市)
    • Year and Date
      2015-09-26 – 2015-09-26
  • [Presentation] 高エネルギー密度下で作製したNd-Fe-B系ナノコンポジット磁石膜2015

    • Author(s)
      近藤秀俊
    • Organizer
      平成27年度(第68回)電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • Place of Presentation
      福岡大学(福岡県福岡市)
    • Year and Date
      2015-09-26 – 2015-09-26
  • [Presentation] 高エネルギー密度のレーザ照射による磁性膜の開発2015

    • Author(s)
      中野 正基
    • Organizer
      平成27年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会(A部門大会)
    • Place of Presentation
      金沢大学 角間キャンパス(石川県金沢市)
    • Year and Date
      2015-09-18 – 2015-09-18
  • [Presentation] PLD法によりSi基板上へ成膜したFe-Co膜の諸特性2015

    • Author(s)
      山下昂洋
    • Organizer
      第39回日本磁気学会学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋大学 東山キャンパス(愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-11 – 2015-09-11
  • [Presentation] Sm-Co/Ta/α-Fe積層型ナノコンポジット厚膜磁石の磁気特性2015

    • Author(s)
      古閑 浩晃
    • Organizer
      第39回日本磁気学会学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋大学 東山キャンパス(愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-10 – 2015-09-10
  • [Presentation] ポストアニーリングを用いて作製した異方性Sm-Co厚膜磁石の磁気特性2015

    • Author(s)
      古川 雄也
    • Organizer
      第39回日本磁気学会学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋大学 東山キャンパス(愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-10 – 2015-09-10
  • [Presentation] 等方性Nd-Fe-B/α-Fe系ナノコンポジット厚膜磁石の磁気特性と膜構造2015

    • Author(s)
      藤山 賢二
    • Organizer
      第39回日本磁気学会学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋大学 東山キャンパス(愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-08 – 2015-09-08
  • [Presentation] Si基板上に成膜したNd-Fe-B系磁石膜の厚膜化と諸特性2015

    • Author(s)
      竹馬 雄
    • Organizer
      電気学会マグネティクス研究会
    • Place of Presentation
      長岡技術科学大学(新潟県長岡市)
    • Year and Date
      2015-08-05 – 2015-08-05
  • [Presentation] PLD法を用いガラス基板上に成膜したPr-Fe-B系磁石膜の磁気特性2015

    • Author(s)
      廣瀧 敬士
    • Organizer
      電気学会マグネティクス研究会
    • Place of Presentation
      長岡技術科学大学(新潟県長岡市)
    • Year and Date
      2015-08-04 – 2015-08-04
  • [Presentation] PLD法を用い作製したSi基板上Fe-Co系磁性膜の諸特性に関する検討2015

    • Author(s)
      山下昂洋
    • Organizer
      電気学会マグネティクス研究会
    • Place of Presentation
      茨城大学 日立キャンパス(茨城県日立市)
    • Year and Date
      2015-07-16 – 2015-07-16
  • [Presentation] PLD-fabricated Fe-Co films on Si wafers and their micromachining2015

    • Author(s)
      山下昂洋
    • Organizer
      The 13th Joint Symposium of Nagasaki University and Jeju National University on Science and Technology
    • Place of Presentation
      長崎大学(長崎県長崎市)
    • Year and Date
      2015-06-08 – 2015-06-08
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Nd-Fe-B film magnets prepared by vacuum arc deposition2015

    • Author(s)
      岩下拳士
    • Organizer
      The 13th Joint Symposium of Nagasaki University and Jeju National University on Science and Technology
    • Place of Presentation
      長崎大学(長崎県長崎市)
    • Year and Date
      2015-06-08 – 2015-06-08
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Anisotropic Sm-Co Thick Film-Magnets Prepared by Post-Annealing2015

    • Author(s)
      古川雄也
    • Organizer
      The 13th Joint Symposium of Nagasaki University and Jeju National University on Science and Technology
    • Place of Presentation
      長崎大学(長崎県長崎市)
    • Year and Date
      2015-06-08 – 2015-06-08
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] PLD-fabricated thick-film magnets prepared by using Nd-Fe-B sintered targets2015

    • Author(s)
      田中哲平
    • Organizer
      The 13th Joint Symposium of Nagasaki University and Jeju National University on Science and Technology
    • Place of Presentation
      長崎大学(長崎県長崎市)
    • Year and Date
      2015-06-08 – 2015-06-08
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Nd-Fe-B film magnets with the thickness above 100 μm deposited on Si substrates2015

    • Author(s)
      竹馬 雄
    • Organizer
      The 13th Joint Symposium of Nagasaki University and Jeju National University on Science and Technology
    • Place of Presentation
      長崎大学(長崎県長崎市)
    • Year and Date
      2015-06-08 – 2015-06-08
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Magnetic properties and microstructure of PLD-made Pr-Fe-B film magnets2015

    • Author(s)
      廣瀧 敬士
    • Organizer
      The 13th Joint Symposium of Nagasaki University and Jeju National University on Science and Technology
    • Place of Presentation
      長崎大学(長崎県長崎市)
    • Year and Date
      2015-06-08 – 2015-06-08
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Nd-Fe-B thick-film magnets prepared by high laser energy density2015

    • Author(s)
      藤山 賢二
    • Organizer
      INTERMAG 2015
    • Place of Presentation
      Beijing, China
    • Year and Date
      2015-05-15 – 2015-05-15
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] PLD-fabricated Fe-Co films prepared by using small spot size of laser beam2015

    • Author(s)
      山下昂洋
    • Organizer
      INTERMAG 2015
    • Place of Presentation
      Beijing, China
    • Year and Date
      2015-05-15 – 2015-05-15
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Nd-Fe-B film magnets with the thickness above 100 μm deposited on Si substrates2015

    • Author(s)
      竹馬 雄
    • Organizer
      INTERMAG 2015
    • Place of Presentation
      Beijing, China
    • Year and Date
      2015-05-14 – 2015-05-14
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Preparation of Nd-Fe-B thick-film magnets by controlling the amount of droplets2015

    • Author(s)
      中野 正基
    • Organizer
      EMN Droplets 2015
    • Place of Presentation
      Phuket,Thailand
    • Year and Date
      2015-05-09 – 2015-05-09
    • Int'l Joint Research / Invited

URL: 

Published: 2017-01-06  

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