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2015 Fiscal Year Annual Research Report

パルス放電プラズマの時間分解発光分光計測と原子分子過程

Research Project

Project/Area Number 26286070
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

赤塚 洋  東京工業大学, 原子炉工学研究所, 准教授 (50231808)

Project Period (FY) 2014-04-01 – 2017-03-31
Keywordsプラズマ計測 / プラズマ分光 / 原子分子過程
Outline of Annual Research Achievements

実験的には、2年度目は積極的に装置パラメータを変化させて、HeやArに加えてN2やO2を含んだプラズマも対象とし、パルス放電プラズマの特性を変化させ、それによって発光特性の変化する様子を追跡する事を試みた。すなわち、加えるパルスの電圧、パルス幅、パルス立ち上がり速度、放電気圧、などを変化させつつ、He, Ar, N2, O2のそれぞれのプラズマの各励起状態の数密度、さらに分子気体の場合は振動温度や回転温度について、時間変化を詳細に実験的に追跡した。
一方、理論研究としても、HeやArに加えてN2やO2を含んだプラズマも対象とし、26年度と同様、EEDFの時間的変化を時間依存ボルツマン方程式で追跡し、励起種の生成消滅のレート方程式と連立させた解法を研究した。もちろん、これら分子種のカイネティックスには主要な電子状態の振動励起状態なども含める。26年度と異なり、衝突項に、窒素分子振動励起状態との衝突による超弾性衝突も含めた。窒素プラズマの各電子励起状態の振動励起状態も時間依存の関数として計算し、超弾性衝突と振動励起緩和の関係を十分モデルに取り入れた。ボルツマン方程式の過渡変化を取り入れるために、定常状態で確立したストラテジーが現実のパルス放電プラズマに対しても適用できる事を実験的に確認した。
また、実験結果を理論研究にフィードバックして反応理論モデリングの改良を加える。窒素分子・酸素分子の励起準位や解離して生じるラジカルなどについても、主要な気相化学反応も含めた励起種生成消滅の時間依存方程式を立式し、それらも含めたパルス放電プラズマの発光分光計測に堪えるレート方程式理論モデルの作成・改善を実施した。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

実験的に、積極的に装置パラメータを変化させて、HeやArに加えてN2やO2を含んだプラズマも対象としプラズマの特性を変化させ、それによって発光特性の変化する様子を追跡する事ができた。すなわち、加えるパルスの電圧、パルス幅、パルス立ち上がり速度、放電気圧、などを変化させつつ、He, Ar, N2, O2のそれぞれのプラズマの各励起状態の数密度、さらに分子気体の場合は振動温度や回転温度について実験的に放電条件への依存性を追跡できている。
一方、理論研究としても、HeやArに加えてN2やO2を含んだプラズマも対象とし、26年度と同様、EEDFの時間的変化を時間依存ボルツマン方程式で追跡し、励起種の生成消滅のレート方程式と連立させた解法を研究できた。もちろん、これら分子種のカイネティックスには主要な電子状態の振動励起状態なども含められた。26年度と異なり、衝突項に、窒素分子振動励起状態との衝突による超弾性衝突も含めた。窒素プラズマの各電子励起状態の振動励起状態も時間依存の関数として計算し、超弾性衝突と振動励起緩和の関係を十分モデルに取り入れた。ボルツマン方程式の過渡変化を取り入れるために、定常状態で確立したストラテジーが現実の放電プラズマに対しても適用できる事を実験的に確認することも、進展しつつある。
また、実験結果を理論研究にフィードバックして反応理論モデリングの改良を加えつつある。窒素分子・酸素分子の励起準位や解離して生じるラジカルなどについても、主要な気相化学反応も含めた励起種生成消滅の時間依存方程式を立式し、それらも含めた放電プラズマの発光分光計測に堪えるレート方程式理論モデルの作成・改善を実施しているところである。

Strategy for Future Research Activity

28年度前期は理論研究の続きとして、窒素・酸素を含むアルゴンあるいはヘリウムの放電気体を対象として、それらの励起準位・ラジカルをも含めて、励起種生成消滅の時間依存方程式を立式し、反応性気体を含むパルス放電プラズマの発光分光計測に堪える理論モデルへの改善を実施する。
実験研究としては、26-27年度は、放電条件を入力条件として分光特性を測定し、そのメカニズムを考察し解明する事が基本であった。28年度には本研究の最終目標として、これを逆転させ、分光計測結果から電子温度(あるいはEEDF)・電子密度の変化を導出する。すなわち発光特性からプラズマパラメータの特定の可能性を探るという方針に切り替える。これによって求められたEEDFや電子密度、あるいは放電条件変化による電子温度(あるいはEEDF)・電子密度の値の変化が、理論的にも妥当なものであるか否か、自作の理論との合致はもちろん、電気回路的にも矛盾のないものであるかを検討する。また、理論・実験を総合して、電子温度・密度変化に敏感に応答する励起準位の組を見いだすよう努める。平成26-27年度の研究を下に適宜実験を再度実施しつつ確認する。以上を総合して、論文の作成、国際会議および国内学会での成果発表を行い、以降の課題の抽出を行い、総合的な実験・理論の総括を行う。

Causes of Carryover

実際の放電プラズマを生成するにあたり、幸運なことに当初予想よりも電極の消耗や放電管の損傷が激しくなく、高価な金属電極材料や石英放電管を大量に必要としなくなったことが挙げられる。合わせて、当初予想よりも放電プラズマの維持のための電気回路に、高価な高耐圧コンデンサを必要とすることがなくなり、さらに電流安定化用のコイルについてもほとんど必要とせず、電気回路部品としても、消耗品の必要量が当初予定のおよそ6割で済んだことが挙げられる。さらに、放電装置の運転が予想以上に簡単で、当初計上していた学生アルバイト謝金を全く必要としなくなったことが最も大きい要因である。

Expenditure Plan for Carryover Budget

アジア圏の国際会議に出席すべく、海外出張旅費として使用を計画している。(ICPP, 台湾、高雄市)

  • Research Products

    (11 results)

All 2016 2015

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (8 results) (of which Int'l Joint Research: 5 results)

  • [Journal Article] Spectroscopic Investigation of the NO C 2Π De-excitation Process by Collision with O2 X 3Σg- in a Low-pressure N2-O2 Mixture Microwave Discharge2016

    • Author(s)
      H. Tan, A. Nezu, and H. Akatsuka
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys.

      Volume: 55 Pages: 01AH04

    • DOI

      10.7567/JJAP.55.01AH04

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Excited State Distributions of Hydrogen Atoms in Microwave Discharge Hydrogen Plasma and Effect of Electron Energy Probabilistic Function2015

    • Author(s)
      Y. Shimizu, Y. Kittaka, A. Nezu, H. Matsuura and H. Akatsuka
    • Journal Title

      IEEE Trans. Plasma Sci.

      Volume: 43 Pages: 1158 - 1168

    • DOI

      10.1109/TPS.2015.2419224

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Kinetic Model and Spectroscopic Measurement of NO (A, B, C) States in Low Pressure N2-O2 Microwave Discharge2015

    • Author(s)
      H. Tan, A. Nezu, and H. Akatsuka
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys.

      Volume: 54 Pages: 096103

    • DOI

      10.7567/JJAP.54.096103

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Spectroscopic Observation of γ, β and δ Bands of NO Excited States and Relevant Excitation Kinetics in Low-Pressure N2-O2 Microwave Discharge2015

    • Author(s)
      H. Tan, A. Nezu and H. Akatsuka
    • Organizer
      Proc. 9th Asia-Pacific International Symposium on the Basic and Application of Plasma Technology (APSPT 9) / 28th Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (SPSM28)
    • Place of Presentation
      Nagasaki, Japan
    • Year and Date
      2015-12-12 – 2015-12-14
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Spectroscopic Observation of NO (A, B, C) States and their Chemical Kinetics in Low-pressure N2-O2 Microwave Discharge2015

    • Author(s)
      H. Tan, A. Nezu and H. Akatsuka
    • Organizer
      3rd ISNPEDADM 2015 (New Electrical Technologies for Environment)
    • Place of Presentation
      St. Gille de Lebins, ReUnion, France
    • Year and Date
      2015-10-26 – 2015-10-29
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Spectroscopic Examination of Molecular Spectra in Mixture Gaseous Microwave Discharge (N2-O2 and N2-H2)2015

    • Author(s)
      H. Tan, A. Nezu and H. Akatsuka
    • Organizer
      68th Annual Gaseous Electronics Conference/9th International Conference on Reactive Plasmas/33rd Symposium on Plasma Processing (GEC-ICRP-SPP)
    • Place of Presentation
      Honolulu, Hawaii, USA
    • Year and Date
      2015-10-12 – 2015-10-16
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Possibility of Electron Temperature And Density Monitoring Of Argon Plasma By Intensity Ratio Measurement Of Ar I Lines2015

    • Author(s)
      H. Akatsuka
    • Organizer
      The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015)
    • Place of Presentation
      Jeju, Korea
    • Year and Date
      2015-09-20 – 2015-09-23
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 衝突輻射モデル解析と線強度比測定による低気圧アルゴンプラズマの簡便な電子温度・密度のモニタリングの可能性2015

    • Author(s)
      赤塚 洋
    • Organizer
      平成2 7 年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • Place of Presentation
      金沢大学
    • Year and Date
      2015-09-17 – 2015-09-18
  • [Presentation] Vibrational and Rotational Temperature Dependence of NH in Microwave N2 - H2 Mixture Gas Discharge2015

    • Author(s)
      Hao Tan, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka
    • Organizer
      2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場
    • Year and Date
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [Presentation] Optical Emission Spectroscopic Observation of Low-pressure N2-O2 Mixture Plasma and its Excitation Kinetics in a Lab-scale Discharge Experiment2015

    • Author(s)
      Hiroshi Akatsuka, Hao Tan, Atsushi Nezu, Haruaki Matsuura
    • Organizer
      平成27年度公益社団法人日本分光学会年次講演会
    • Place of Presentation
      東工大・大岡山
    • Year and Date
      2015-06-01 – 2015-06-03
  • [Presentation] Vibrational and Rotational Temperatures of NO A 2Σ+ Metastable State in N2-O2 Mixture Microwave Discharge2015

    • Author(s)
      H. Tan, A. Nezu and H. Akatsuka
    • Organizer
      42nd IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS2015)
    • Place of Presentation
      Antalya, Turkey
    • Year and Date
      2015-05-25 – 2015-05-28
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2017-01-06  

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