高感度分析イオン顕微鏡用極低バックグラウンド質量分析計の試作

1986 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 60840024
• Research Institution: Naruto University of Education
• Principal Investigator: 西村 宏 鳴教大, 学校教育学部, 助教授 (30029722)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 岡野 純 大阪大学, 教養部, 教授 (10028087)
• Keywords: 質量分析計 / イオン顕微鏡

Research Abstract

昨年度製作した分析管に接続し、イオン顕微鏡用の二重収束型質量分析計を構成するため、当初イオン光学的に求められたとおり、偏向角75度,半径40cmの電場電極およびその容器の設計を行った。
また、電磁石のポールピース間隙に発生する磁場強度測定を行い、励磁電流約5.5Aで、磁束密度5000ガウスが得られることがわかった。従って、この電磁石を用いることにより、イオン加速電圧2kVのとき、質量数250までを質量分解能約3200で検出することができる。
分析管部は、L型バルブを介して、ターボ分子ポンプおよび油回転ポンプに接続し、真空排気テストを行うため、ポンプ系統作動用の停電その他に対応できる電源部を設計・製作した。現在、これを用いた排気テストを行っているが、3×【10^(-7)】Torrの到達真空度が得られている。
さらに、低バックグラウンドを達成するための準備として、テープヒーターを用いた分析管部のベーキングを繰り返す予定である。

Research Products

• [Publications] J.Okano;T.Ochiai;H.Nishimura: Appl.Surf.Sci.22/23. 72-81 (1985)
• [Publications] J.Okano;C.Ueda;H.Nishimura: Mass Spectroscopy. 33. 245-253 (1985)
• [Publications] J.Okano;H.Nishimura: Secondary Ion Mass Spectrometery(SIMS V),Springer Verlag. 447-450 (1986)
• [Publications] 西村宏: 学術月報(日本学術振興会). (1987)