1985 Fiscal Year Annual Research Report
希薄気体流シミュレーション用アニメーション・システムの開発
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60850032
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
南部 健一 東北大学, 高力研, 助教授 (50006194)
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| Keywords | 希薄気体流 / 数値シミュレーション / 画像処理 / アニメーション / 薄膜 |
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| Research Abstract |
補助金により当初計画した設備備品(カラー・グラフィック・ステーションおよびエンジニアリング・ワークステーション)を購入し、昭和60年度に行われた研究に十分活用した。研究実施にさいしては、消耗品費および計算機使用料(費目別収支決算表のその他)が当初の予定額をかなり上まわった。昭和60年度の研究は2年計画の初年度に相当するものであるが、当初の研究実施計画をほぼ達成することが出来た。具体的には、つぎのようになる。
1.希薄気体流(中間流、自由分子流)の高能率数値シミュレーション法を開発した。この数値解析法を半導体薄膜の形成プロセスの解析に試験的に適用し、そのような成膜プロセスの解明が十分可能なことが分かった。発表した研究成果に対し、半導体の製造開発を行っている業界や研究機関から大きな反響が寄せられている。研究発表は項目8に記載のものの他に投稿中のものが4編ある。
2.分子の数密度場を静止画像に表現することに成功した。これにより、流れ場全体における分子の配置が一目で分かるようになった。
3.各時刻における数密度場の静止画像をつなぎ合わせて、数密度場の時間的な変化をアニメーションに表現した。しかしこのアニメーションはまだ紙芝居的なものであり、今後、さらにアニメーション用ソフトウェアの研究をすすめ、より滑らかな運動をする真のアニメーション化を達成して、本システムをより実用化に近づける計画である。
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Research Products
(2 results)
