1986 Fiscal Year Annual Research Report
高精度輪郭形状の三次元計測・評価システムに関する基礎研究
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61460092
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
塚田 忠夫 東京工大, 工学部, 教授 (00016437)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
笹島 和幸 東京工業大学, 工学部, 助手 (80170702)
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| Keywords | 計測 / 三次元 / スプライン関数 / 輪郭形状 / 形状測定 / 超精密 |
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| Research Abstract |
本研究は、高精度部品の三次元測定法とデータ処理技術の開発を目的とし、当初の計画どおり、初年度において以下のような成果が得られた。
1.高精度三次元測定システムのハードウェアの構築
既設の空気式精密XYテーブル(ロ150mm,分解能0.1μm)の精密位置決め機構を整備し、所定の性能を得ることが可能となった。Z軸方向は、高精度センサーとそれを高分解能(0.01μm)で移動させ3機構を完全させた。この機構は、センサーをXY平面上で移動させたとき、被測定物表面に沿って動くセンサーが測定レンジ内に常にあるように、Z軸を駆動するもので、この両者の和が、三次元空間内でのZ座標値となる。
2.センサーの干渉チェック
常にセンターの測定レンジ内にあるようにZ軸を制御する機構となっているが、非常に段差の大きい被測定物に対しては、Z軸制御が追いつかない場合がある。これに対して、コンピュータが追随速度の限界を判定し、XY送りの制御を併用するようにした。
3.測定データの圧縮と関数化
三次のスプライン関数のあてはめについて、そのクライテリオンとしてトレンドが最も適していることを確認した。そして、アルゴリズムの最適化を図った結果、CPU時間が短縮でき、データ量も1/4以下に圧縮可能となった。
次年度においては、高精度非接触センサーの適用を試み、さらにデータの関数化の手法を洗練させ、ニーズに合せた形式の出力を検討する。これらは、本年度の成果から、十分に達成できるものと考えている。
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Research Products
(1 results)
