1986 Fiscal Year Annual Research Report
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61850071
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
望月 孝晏 阪大, 国立大学(その他), 教授 (80101278)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
中塚 正大 大阪大学, レーザー核融合研究センター, 助教授 (20088462)
中井 貞雄 大阪大学, 工学部, 教助 (10029019)
有留 宏明 大阪大学, (基礎工学部)・極限物質研究センター, 助教授 (70029552)
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| Keywords | レーザープラズマ / 軟X線 / X線リソグラフィー |
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| Research Abstract |
1.レーザープラズマ生成用ターゲットとして種々の原子番号の物質を用いてそのプラズマからのX線スペクトル強度を調べた。その結果、各スペクトルは物質に特有な山を持ち、その位置、つまりX線光子エネルギーは原子番号の関数として規則的な変化をしていることが見出された。スペクトルの山を与える光子エネルギーの平方根を取ると、それは原子番号とほぼ一次の比例関数にあることが示された。これはセミ・モーズレーの法則がレーザープラズマの場合にも成立っていることを意味している。この関係から、欲しいX線エネルギーが決まれば、その光子を比較的効率よく放射するターゲット物質を予想することができる。高効率X線リソグラフィー用光源を実現するにはレーザー波長;0.53ミクロンメートルレーザー強度;5×【10^(13)】W/【cm^2】以上スポット径;100ミクロンメートル以上レーザーパルス幅;400ピコ秒以上、但しパルス波形を最適化することにより100ピコ秒でも可能ターゲット原子番号;Z=23〜42,50〜70の諸条件が必要であることを見出した。
2.レーザープラズマの空間スケールを制御することによりX線リソグラフィー用に望ましい1〜3keVのX線の発生効率を向上させることができた。前置パルスを加えることにより効率は2倍程度増加させることが示された。
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[Publications] 望月孝晏: 応用物理. 56. 2-18 (1987)
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[Publications] R.Kodama;T.Mochizuki;K.A.Tanaka;C.Yamanaka: Applied Physics Letters. 23. (1987)
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[Publications] T.Mochizuki;C.Yamanaka: SPIE Proceedings. 733. (1987)
