1986 Fiscal Year Annual Research Report
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61850127
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
橋本 功二 東北大, 金属材料研究所, 助教授 (70005859)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
嶋村 和郎 三井造船株式会社, 千葉研究所, 研究員
入江 隆博 三井造船株式会社, 千葉研究所, 研究員
川嶋 朝日 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (50005964)
浅見 勝彦 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (20005929)
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| Keywords | アモルファス合金 / 無欠陥スパッター合金 / スパッター法 / スパッター条件 / クリーンルーム / 耐食性 / 電極特性 |
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| Research Abstract |
分担研究者である入江・嶋村らの属する研究所において、アモルファス鉄-ニッケル-クロム-タンタル合金をスパッター法で作製する研究を行い、焼結法で作製したターゲットに比べ、合金元素を埋め込んだターゲットの方が、より均一なスパッター合金が得られることが判明した。また、無欠陥のアモルファス合金を作製するには、塵および埃を可能な限り制御した環境において、スパッターを行う必要のあることが推定された。したがって、補助金交付決定と同時に、スパッタリング装置を設置するためのクリーンルームの営繕工事を申請し認められ、62年1月クリーンルーム内に上記スパッタリング装置を設置した。同装置は、スパッター合金の均一性を良くするため、基板ホールダーを水冷しながら自転ならびに公転出来るようにし、また、2種類のターゲットから同時にスパッターすることを目的として、2つのターゲットをその垂線の交わるところに基板が来るように2つのターゲットを斜めに取り付け、更に、マグネトロン用とCD用の2つの電源を備えた特殊使用の装置である。
一方、種々のアモルファスニッケル基合金を片ロール法で作製し、沸騰濃厚アルカリに耐える合金組成を検討した。その結果、アモルファスニッケル基合金にクロム,モリブデン,銅,鉛などを添加することが、沸騰濃厚水酸化ナトリウム中でも使用に耐える合金を得るのに有効であることが判明した。
マグネトロンスパッタリングが可能な非磁性のアルミニウムおよび銅をターゲットとしてスパッターを行い、予備排気の真空度、マグネトロンとDCの差、アルゴン圧力の差、スパッター用電流の差などによるスパッター金属の性情に関する基礎的知見を得た。次いで、アルミニウムおよび銅に種々の合金元素に埋め込んだターゲットを作製し、生成するスパッター合金の組成と構造について検討中である。
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