1987 Fiscal Year Annual Research Report
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62460081
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
佐藤 壽芳 東京大学, 生産技術研究所第二部, 教授 (10013103)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
池野 順一 東京大学, 生産技術研究所第二部, 助手 (10184441)
大堀 真敬 東京大学, 生産技術研究所第二部, 助手 (90143528)
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| Keywords | 精度測定 / 機械加工 / 逐次2点法 / 真直度 / 平面度 / 2軸エアスライド / 容量型高精度微小変位計 / 高速測定 / パーソナルコンピュータ |
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| Research Abstract |
逐次測定法の基本である逐次二点真直度測定法は研究代表者等によって開発されたものであり, 旋盤等において特別の規準を設定せずに工具台の真直度と被削材等の真直度を同時に測定することができる独自の形状測定法である. 繰り返し測定にたいして精度が良く, 振動等の外乱があっても安定に測定できる点に特徴を有している. 反面相対変位測定のセンサーの性能に測定精度が左右されることが問題点でもある. 従来は渦電流変位計や電気容量型変位計が用いられ, 測定分解能としては1μmであった. 本研究では変位測定のセンサーに容量型ではあるが単体の測定分解能として0.01μmを可能とする高精度のものを用い, 磁気ディスク平面度等超精密加工の形状精度の測定に応用してその評価を新たな観点から進める一方, 逐次二点測定法の高精度化の限界を確認しようとするものである.
本年度は初年度であり, 主要設備として容量型高精度微小変位計, 静圧空気支持の高精度XYテーブルを購入, このテーブル自体の真直度, 磁気ディスクの平面度について逐次測定法を使用する基本構成について検討した. この間, 変位計については測定対象との設定間隔が微少であるため, その調整法設定間隔と出力との較正, 雑音特性, パーソナルコンピュータの信号取り込み法の検討等を進めている. また, XYテーブルについては, 静圧空気支持のスライドの駆動特性, NC駆動の位置決め精度, NC駆動系とソフトウェアを構築するパーソナルコンピュータとの結合法等について基礎的な検討と考察を進めた. 磁気ディクスを対象とした測定については, これを取り付ける駆動モータとXYテーブルを組み合わせた装置の構成の可能性について検討した. 特に平面度の測定については逐次二点法により平面全面を効果的に覆う測定点移動法, 高速測定の実施の際における振動の影響の除去法, 測定結果の表示法等について基礎的な検討を行った.
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