1988 Fiscal Year Annual Research Report
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62460081
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| Research Institution | Institute of Industrial Science, University of Tokyo |
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Principal Investigator |
佐藤 壽芳 東京大学, 生産技術研究所第二部, 教授 (10013103)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
池野 順一 東京大学, 生産技術研究所第二部, 助手 (10184441)
大堀 真敬 東京大学,生産技術研究所第二部, 助手 (90143528)
谷 泰弘 東京大学, 生産技術研究所第二部, 助教授 (80143527)
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| Keywords | 真直度 / 測定 / レーザー測定法 / 逐次二点法 / 静圧空気テーブル / 容量型変位センサ / サブミクロン / テーブルの運動 / テーブルの案内 / 繰り返し精度 |
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| Research Abstract |
前年度購入設置した空気静圧XYテーブルを対象に真直度の測定を進めた。同テーブルの他、本研究の範囲内で容量型高精度変位測定装置マイクロセンスを、また他経費により圧力供給用小型圧縮機、同テーブル設置用定盤、圧力制御弁等を購入設置している。本研究の目的は、最近の超精密加工発展と共に寸法精度、表面粗さ等の著しい精度向上が伝えられている中で、これにともなって期待されている真直度の向上に対し逐次二点測定法の対応の可能性を明らかにすることにある。実用的にはレーザーによる測定が用いられているに至っており、本研究においても比較のためにはレーザーによる測定を行っている。レーザー測定には既設のHP社製測定装置を用いた。その分解能は0.1μmであるが、この桁の数値は測定中に少なからず変動しており、平均化処理を行った測定値についても平均値回りに分散が発生している。この結果、テーブルの移動に対して真直度を測定するとき繰り返し測定に対する精度はよくなく、好ましい測定結果が得られた場合でも辛うじて傾向が読み取れる程度に終わっている。
二個の変化センサの間隔は変位計の外径を考慮しもっとも短くなる7mmとし、130mmの区間で測定された。アルゴリズムについて、従来はテーブルの精度と対象の精度が回帰する関係によって記述されていたが、これが独立に求められる記述としうることを明らかにしている。磁気ディスク用A1基板のように高精度の対象を外部においた場合、テーブルの案内自体を対象とした場合等について逐次二点法による測定を実施した。この結果、上記何れの場合についても対象については特に繰り返し精度よく0.1μm台の真直度測定が可能なこと、テーブルの運動についても供給圧の安定化を図ることによって繰り返し精度よく測定でき、レーザー測定より信頼性が高いこと等を明らかにした。
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[Publications] 粉川良平,佐藤壽芳: 生産研究. 40-10. 524-527 (1988)
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[Publications] 広瀬裕,佐藤壽芳: 機械学会論文集. 55-511. (1989)
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[Publications] 佐藤壽芳: 日本学術会議. 1-11 (1988)
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[Publications] 広瀬裕,佐藤壽芳: 機械学会岡山地方講演会. (1988)
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[Publications] 佐藤壽芳: 機械技術協会資料. 1-12 (1988)
