1988 Fiscal Year Annual Research Report
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63880002
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
河合 良信 九州大学, 大学院総合理工学研究科, 教授 (10038565)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
田中 雅慶 九州大学, 大学院総合理工学研究科, 助手 (90163576)
小森 彰夫 九州大学, 大学院総合理工学研究科, 助教授 (50143011)
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| Keywords | リジターノコイル / ECRプラズマ / 大口径プラズマ / スパッタリング |
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| Research Abstract |
直径の大きいリジターノコイルを試作し、大口径ECRプラズマの生成を目的として研究を行ない、次の成果を得た。
1.直径40cm、アルミニウム製のリジターノコイルを設計し、その製作に成功した。
2.リジターノコイルを、空芯磁場コイルによりミラー磁場を発生させ、その一端に設置し、2.45GHzのマイクロ波を印加することによりECRプラズマの生成に成功した。この場合、圧力コントロールシステムによりガス圧力を制御した。この結果、得られたプラズマの密度は2×11^<11>cm^<-3>、電子温度は約5eV、プラズマ直径は約40cmであった。
3.プラズマパラメータの径方向分布の時間推移を調べることにより、プラズマガリジターノコイル近傍だけではなくコイルの中心付近でも生成されることがわかった。
4.リジターノコイル内での密度の分布は、真空中の電場強度の分布とよく一致していることが見出された。
5.リジターノコイルによるプラズマ生成法は有電極方式であるため、コイルからスパッタリングにより放出される不純物の振子まいを調べる必要がある。コイル直前にガラス基板を置き、コイルからスパッターされる不純物の厚みを測定することにより、リジターノコイルの材質としては銅よりもアルミニウムが適していることがわかった。
今後は、上記の成果をもとに、メタンやシランなどの反応性ガスを供給し、基板上に成膜を行ない、薄膜の大面積化の実験を行なう予定である。
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