| Project Area | Creation of Science of Plasma Nano-Interface Interactions |
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| Project/Area Number |
21110001
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research on Innovative Areas (Research in a proposed research area)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Review Section |
Science and Engineering
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
SHIRATANI Masaharu 九州大学, システム情報科学研究科(研究院, 教授 (90206293)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
TERASHIMA Kazuo 東京大学, 新領域創成科学研究科, 教授 (30176911)
SHIRAFUJI Tatsuru 大阪市立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (10235757)
SASAKI Kouichi 北海道大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (50235248)
ITO Masafumi 名城大学, 理工学部, 教授 (10232472)
TOCHIKUBO Fumiyoshi 首都大学東京, 理工学研究科, 教授 (90244417)
ONO Kouichi 京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30311731)
GOTO Motonobu 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80170471)
NAGATSU Masaaki 静岡大学, その他の研究科, 教授 (20155948)
KOMATSU Shojiro 独立行政法人物質・材料研究機構, その他部局等, その他 (60183810)
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| Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) |
UCHIDA Satoshi 首都大学東京, 理工学研究科, 准教授 (90305417)
OTA Takayuki 名城大学, 理工学部, 准教授 (10379612)
KOGA Kazunori 九州大学, システム情報科学研究院, 准教授 (90315127)
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| Project Period (FY) |
2009-07-23 – 2014-03-31
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2014)
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| Keywords | プラズマ / ナノ界面 / 相互作用ゆらぎ / トップダウンプロセス / ボトムアッププロセス / プラズマナノテクノロジー / ナノ界面制御 / プラズマ局所反応場 / コンビナトリアル摂動解析 / ナノ粒子 / 相互作用 / 揺らぎ |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本取り纏め研究では、プラズマとナノ界面の相互作用ゆらぎに関する学術的成果を統合・発展させて、より汎用性のある学術大系に結びつけることを目的としている。計画研究代表者を研究分担者として、各計画研究における研究成果を取り纏めるとともに、領域内連携により表れた３つの研究項目に共通する基本原理を統合して体系化する。基本原理の体系化に際しては、すべての研究に関する議論を一度に行うと議論が発散する可能性があるため、ゆらぎ・多相界面・バイオというテーマを設定した個別の研究会を開催し研究分担者が成果を統合した後、シンポジウム等で領域全体での成果統合を行った。平成26年度に取りまとめた、平成21-25年度に新学術領域で得られた成果の概要は以下の様に要約される。これらの成果を成果報告書およびホームページで公開した。
ゆらぎに関しては、超高精度トップダウンプロセスの確立（ゆらぎの制御）について、エッチングプラズマに関する実験とシミュレーションの研究グループが連携して、エッチング表面形状揺らぎの機構を解明した。ここでは、揺らぎ抑制法について、従来の物理量を一定にする方法から、物理量に制御した揺らぎを与えて抑制する方法へのパラダイムシフトを起こす事に成功した。また、高精度ボトムアッププロセスの確立（ゆらぎの利用）では、超臨界プラズマに関する実験とモデリングの研究グループの連携により、超臨界プラズマにおける密度ゆらぎ機構を解明し、従来法では得る事ができない高次ダイアモンドイドの合成に成功した。
予想以上の顕著な成果として、気液プラズマに関する実験とモデリングの研究グループの連携により気液界面プラズマにおいてナノ界面が存在することを発見した（多相界面プラズマ）。また、高いインパクトを持つ成果として、バイオ応用プラズマ関連の研究グループの連携により、大気圧プラズマ反応系の世界標準を確立することに成功した。
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| Research Progress Status |
26年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
26年度が最終年度であるため、記入しない。
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