Selective film by molecular template method and its application on surface acoustic wave sensor

• Project/Area Number: 19560427
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Measurement engineering
• Research Institution: Shibaura Institute of Technology
• Principal Investigator: NOMURA Tooru Shibaura Institute of Technology, 工学部, 教授 (50052858)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): SAITOH Atushi 芝浦工業大学, 工学部, 准教授 (30280994)
• Project Period (FY): 2007 – 2008
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2008)
• Budget Amount: ¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000); Fiscal Year 2008: ¥1,950,000 (Direct Cost: ¥1,500,000、Indirect Cost: ¥450,000); Fiscal Year 2007: ¥2,600,000 (Direct Cost: ¥2,000,000、Indirect Cost: ¥600,000)
• Keywords: センシングデバイス / 感応膜 / SAWセンサ / SAW-ID / 簡易LB膜 / 分子膜 / SAW-RFID / 無線センサシステム / 簡易LB膜法 / 部分キャスト

Research Abstract

SAWデバイスを利用したマルチチャネルセンサの構成とそのガスセンシングへの応用について示す。化学特にガスセンサでは、複数のセンサの応答よりガスの識別を行う。本研究では、同一基板に複数のSAW遅延線を並べ、入力には一個のドッグレッグIDTを用いたセンサアレイによるガスセンシングについて提案した。このセンサアレイと増幅器による自励発振器を構成したセンサシステムでは、自動的に温度補償が行え、チャネル間のクロストークも小さいことが分かった。また、ガスセンサに重要な感応膜の塗布に、簡易LB膜法を用いることにより、センサアレイの各チャネルの微小な部分に正確に再現性よく塗布することができた。応用では、このセンサを有機ガスの識別に適用し、いくつかのサンプルガスに対し、ユニークな応答パターンを得た。

Research Products

• [Journal Article] Wireless remote 2-D strain sensor using SAW delay line (2008)
  • Author(s): T. Nomura, and A. Saitoh
  • Journal Title: Materials and Devices for Smart Systems III, (MRS Symposium Proceedings)(Boston) Vol.1129
• [Journal Article] Methanol sensor using a surface acoustic wave (2008)
  • Author(s): T. Nomura, K. Nishida, A. Saitoh, and T. Mochizuki
  • Journal Title: Proceedings of the 2008 IEEE International Frequency Control Symposium, Hawaii Pages: 526-531
• [Journal Article] Wireless passive strain sensor based on surface acoustic wave devices (2008)
  • Author(s): T. Nomura, K. Kawasaki, and A. Saitoh
  • Journal Title: Sensors & Transducers Journal Vol.90 Pages: 61-71
• [Journal Article] SAWデバイスによる二次元歪の測定 (2008)
  • Author(s): 野村徹
  • Journal Title: 超音波テクノ Vol.20, No.3 Pages: 72-75
• [Journal Article] Methanol sensor using surface acoustic wave (2008)
  • Author(s): T. Nomura, K. Nishida, A. Saitoh, T. Mochizuki
  • Journal Title: Proceedings of the 2008 IEEE International Freauency Control Symposium Pages: 526-531
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] SAWデバイスによる二次元歪の測定 (2008)
  • Author(s): 野村徹
  • Journal Title: 超音波テクノ 20 Pages: 72-75
• [Journal Article] Wireless passive strain sensor based on surface acoustic wave devices (2008)
  • Author(s): T. Nomura, R. Kawasaki, A. Saitoh
  • Journal Title: Sensors & Transducers Journal 90 Pages: 61-71
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Mass Flow Sensor Using Dual SAW Device (2007)
  • Author(s): T. Nomura, K. Koyama, A. Saitoh
  • Journal Title: Proceedings of the 2007 IEEE International Frequency Control Symposium, Geneva Pages: 25-30
• [Journal Article] Two Dimensional Strain Sensor Using Surface Acoustic Wave Delay Lines, Proc (2007)
  • Author(s): T. Nomura, K. Kawasaki, A. Saitoh
  • Journal Title: of the Second International Conference on Sensing Technology, New Zealand Pages: 182-187
• [Journal Article] 多機能型パッシブSAWセンサとその応用 (2007)
  • Author(s): 野村 徹
  • Journal Title: 超音波テクノ 19 Pages: 36-40
  • NAID: 110004758555
• [Journal Article] Two dimensional strain sensor using surface acoustic wave delay lines (2007)
  • Author(s): T. Nomura, K. Kawasaki, A. Saitoh
  • Journal Title: Proceedings of the second international conference on sensing technology 2 Pages: 182-187
  • Peer Reviewed
• [Presentation] 簡易LB膜法によるSAWセンサの感応膜 (2009)
  • Author(s): 野村徹, 齋藤敦史
  • Organizer: 電子情報通信学会総合大会
  • Place of Presentation: 愛媛大学
  • Year and Date: 2009-03-20
• [Presentation] [招待講演]弾性表面波とセンサ (2009)
  • Author(s): 野村徹
  • Organizer: 電子情報通信学会超音波研究会
  • Place of Presentation: 日本電波工業株式会社
  • Year and Date: 2009-02-24
• [Presentation] 簡易LB膜法によるSAWセンサの感応膜 (2009)
  • Author(s): 野村徹、齋藤敦史
  • Organizer: 電子情報通信学会総合大会
  • Place of Presentation: 愛媛大
• [Presentation] 弾性表面波とセンサ-聴こえない音を相棒に30年- (2009)
  • Author(s): 野村徹
  • Organizer: 電子情報通信学会超音波研究会技術報告(招待講演)(US2008-100, pp.41-46)
  • Place of Presentation: 日本電波工業KK、東京
• [Presentation] Wireless remote 2-D strain sensor us ing SAW delay line (2008)
  • Author(s): T. Nomura, A. Saitoh
  • Organizer: Material Research Society
  • Place of Presentation: Boston
  • Year and Date: 2008-12-01
• [Presentation] Passive sensor system using reflective SAW delay line (2008)
  • Author(s): T. Nomura, A. Saitoh
  • Organizer: 第25回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
  • Place of Presentation: 沖縄国際コンペンショインセンター
  • Year and Date: 2008-10-23
• [Presentation] [招待講演] RFID機能を有するパッシブ型SAWセンサ (2008)
  • Author(s): 野村徹, 齋藤敦史
  • Organizer: 日本音響学会秋季研究発表会
  • Place of Presentation: 九州大学
  • Year and Date: 2008-09-20
• [Presentation] 燃料電池用SAWメタノールセンサの開発 (2008)
  • Author(s): 野村徹, 斉藤敦史
  • Organizer: 電子情報通信学会超音波研究会
  • Place of Presentation: 芝浦工業大学
  • Year and Date: 2008-07-25
• [Presentation] Gas flow sensor using SAW delay line (2008)
  • Author(s): T. Nomura, A. Saitoh, K. Royama
  • Organizer: 12^<th> International Meeting on Chemical Sensors
  • Place of Presentation: Columbus
  • Year and Date: 2008-07-15
• [Presentation] SAWデバイスによる触覚センサの開発 (2008)
  • Author(s): 野村 徹, 小山 公一, 斎藤 敦史
  • Organizer: 電子情報通信学会総合大会
  • Place of Presentation: 北九州学術研究都市
  • Year and Date: 2008-03-21
• [Presentation] 簡易LB膜法による多層薄膜とそのSAWセンサへの応用 (2008)
  • Author(s): 野村 徹, 小野瀬 康隆, 斎藤 敦史
  • Organizer: 日本音響学会春季研究発表会
  • Place of Presentation: 千葉工業大学
  • Year and Date: 2008-03-17
• [Presentation] 燃料電池用SAWメタノルセンサの開発 (2008)
  • Author(s): 野村徹、齋藤敦史、西田圭祐、望月隆義
  • Organizer: 電子情報通信学会超音波研究会(技術報告US2008-24、pp.11-16)
  • Place of Presentation: 芝浦工大
• [Presentation] Passive sensor system using reflective SAW delay line (2008)
  • Author(s): T. Nomura, A. Saitoh
  • Organizer: 第25回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(講演概要集p.125)
  • Place of Presentation: 沖縄宜野湾市
• [Presentation] RFID機能を有するパッシブ型SAWセンサ (2008)
  • Author(s): 野村徹, 齋藤敦史
  • Organizer: 日本音響学会, 2008年秋季研究発表会講演論文集(II, p.1083)(招待講演)
  • Place of Presentation: 九州大
• [Presentation] Gas flow sensor using SAW delay line (2008)
  • Author(s): T. Nomura, A. Saitoh, and K. Koyama
  • Organizer: 12^<th> International Meeting on Chemical Sensors(2008, p.99,)
  • Place of Presentation: Columbus, USA
• [Presentation] SAWデバイスによる触覚センサの開発 (2008)
  • Author(s): 野村徹, 小山公一, 齋藤敦史
  • Organizer: 電子情報通信学会総合大会
  • Place of Presentation: 北九州大
• [Presentation] 簡易LB膜法によるマルチ薄膜とそのSAWセンサへの応用 (2008)
  • Author(s): 小野瀬康隆, 野村徹, 齋藤敦史
  • Organizer: 日本音響学会2008年春季研究発表会, 講演論文集(II, p.1217)
  • Place of Presentation: 千葉工大
• [Presentation] 簡易LB膜と弾性表面波デバイス (2007)
  • Author(s): 小野瀬康隆, 野村徹
  • Organizer: 第28回超音波エレクトロニクスシンポジウム(講演予稿集, pp.67-68, pp.67-68)
  • Place of Presentation: つくば市
  • Year and Date: 2007-11-14
• [Presentation] 部分的水面キャスト分子膜によるSAWセンサ (2007)
  • Author(s): 小野瀬 康隆, 野村 徹, 斎藤 敦史
  • Organizer: 第28回超音波エレクトロニクスシンポジウム
  • Place of Presentation: つくば国際会議場
  • Year and Date: 2007-11-14
• [Presentation] 超音波デバイスによる環境測定 (2007)
  • Author(s): 野村徹、齋藤敦史
  • Organizer: 応用物理学会九州支部シンポジウム、低環境負荷電子材料と環境デバイス、講演資料集(招待講演)(pp.47-53)
  • Place of Presentation: 九州工大
  • Year and Date: 2007-11-10
• [Presentation] 超音波デバイスによる環境測定(招待講演) (2007)
  • Author(s): 野村 徹, 斎藤 敦史
  • Organizer: 応用物理学会九州支部シンポジウム
  • Place of Presentation: 九州工業大学
  • Year and Date: 2007-11-10
• [Presentation] 弾性表面波による質量流量センサの開発 (2007)
  • Author(s): 野村 徹, 小山 公一, 斎藤 敦史
  • Organizer: 電子情報通信学会総合大会超音波研究会
  • Place of Presentation: 芝浦工業大学
  • Year and Date: 2007-07-24
• [Presentation] Methanol sensor using surface acoustic wave resonator (2007)
  • Author(s): T. Nomura, A. Saitoh, T. Mochizuki
  • Organizer: 1^<st> International Conference on Ultrasonic
  • Place of Presentation: Vienna
• [Presentation] SAWデバイスによる二次元ひずみの測定 (2007)
  • Author(s): 川崎幸一郎, 野村徹
  • Organizer: 電子情報通信学会超音波研究会(技術報告US2007-3, pp.11-15)
  • Place of Presentation: 九州工大
• [Presentation] 弾性表面波による質量流量センサの開発 (2007)
  • Author(s): 野村徹, 小山公一, 齋藤敦史
  • Organizer: 電子情報通信学会超音波研究会(技術報告US2007-24, pp.7-12)
  • Place of Presentation: 芝浦工大
• [Presentation] 二次元SAWひずみセンサ (2007)
  • Author(s): 野村徹, 川崎幸一郎, 齋藤敦史
  • Organizer: 電子情報通信学会ソサイエティ大会
  • Place of Presentation: 鳥取大