Research Project
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
本研究は、より環境にやさしい省エネルギー社会の実現に重要な役割をもつ高速かつ低損失パワーデバイスの実用を目指し、デバイス形成プロセスおよびパワーデバイスの構造そのものに着目し、チャンネル抵抗などオン抵抗を大幅に低減することに成功し、シリコン系でもワイドギャップ系でも応用可能な非常に高性能かつ低損失な新しい2次元および高集積度の3次元パワーデバイスを実現可能であることを実証した。
All 2009 2008 2007
All Journal Article (16 results) (of which Peer Reviewed: 16 results) Presentation (29 results)
Microelectronic Engineering (to be published on June 2009)
Electrochemical Society Transactions (to be published on May 2009)
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 48
210000066558
Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.27, No.1
Pages: 394-401
Journal of Vacuum Science & Technology B 27
Japanese Journal of Applied Physics 4
Microelectronic Engineering 6(印刷中)
Electrochemical Society Transactions 5(印刷中)
Electrochemical Society Transactions Vol.11 No.6 ULSI Process Integration 5
Pages: 349-354
Microelectronic Engineering Vol.84/9-10
Pages: 2105-2108
ECS Transactions Vol.6 No.4 Silicon-on-Insulator Technology and Devices 13
Pages: 113-118
Pages: 101-106
Electrochemical Society Transactions 6
Microelectronic Engineering 84
Electrochemical Society Transactions 11