Development of AFM lithography for conductance measurements of single molecules
| Project/Area Number |
19760019
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Thin film/Surface and interfacial physical properties
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
AKIYAMA Kotone Tohoku University, 原子分子材料科学高等研究機構, 助教 (60447175)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥3,750,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥450,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,950,000 (Direct Cost: ¥1,500,000、Indirect Cost: ¥450,000)
Fiscal Year 2007: ¥1,800,000 (Direct Cost: ¥1,800,000)
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| Keywords | 走査プローブ顕微鏡 |
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| Research Abstract |
原子間力顕微鏡(AFM)の探針先端から電界蒸発により原子を飛ばし試料表面にパターン描画するAFMリソグラフィー手法をより精度の高い手法として確立した。水晶振動子に取り付けた極細金属ワイヤーを集束イオンビームにより加工してAFM探針とし、非接触法によって探針・試料間距離制御を行うことにより、自然酸化膜付きのSi基板上に線幅20〜30nm程度の金属細線描画や金属ナノドットのパターン形成を行った。
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Report
(3 results)
Research Products
(17 results)
