| 研究領域 | 3次元半導体検出器で切り拓く新たな量子イメージングの展開 |
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| 研究課題/領域番号 |
25109006
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| 研究種目 |
新学術領域研究(研究領域提案型)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 審査区分 |
理工系
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| 研究機関 | 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 |
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研究代表者 |
坪山 透 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 講師 (80188622)
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| 研究分担者 |
原 和彦 筑波大学, 数理物質系, 准教授 (20218613)
池上 陽一 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 講師 (20222862)
石川 明正 東北大学, 理学研究科, 助教 (40452833)
外川 学 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 准教授 (50455359)
幅 淳二 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 教授 (60180923)
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| 連携研究者 |
花垣 和則 高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 教授 (40448072)
田窪 洋介 高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 助教 (50423124)
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| 研究協力者 |
小野 峻 (山田 美帆) 高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 研究員 (60603157)
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| 研究期間 (年度) |
2013-06-28 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
125,450千円 (直接経費: 96,500千円、間接経費: 28,950千円)
2017年度: 17,420千円 (直接経費: 13,400千円、間接経費: 4,020千円)
2016年度: 31,460千円 (直接経費: 24,200千円、間接経費: 7,260千円)
2015年度: 20,020千円 (直接経費: 15,400千円、間接経費: 4,620千円)
2014年度: 21,840千円 (直接経費: 16,800千円、間接経費: 5,040千円)
2013年度: 34,710千円 (直接経費: 26,700千円、間接経費: 8,010千円)
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| キーワード | 素粒子物理学実験 / 半導体デバイス / SOI CMOS技術 / ピクセルセンサー / 放射線耐性 / 高位置分解能 / 高時間分解能 / 3次元積層技術 / SOIピクセルセンサー / 素粒子軌跡測定 / 量子イメージング / 耐放射線性能 / センサー評価技術 / CMOS デバイス技術 / ３次元積層 / 素粒子実験 / 放射線 / 粒子線 / 電子デバイス / ３次元積層技術 / ビームテスト / サブμｍ測定精度 / ピクセル検出器 / サブミクロン / SOI CMOS技術 / 放射線測定 |
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| 研究成果の概要 |
SOI技術を用いたモノリシックPixelセンサー（SOIPIX）の開発を行った。2種類のセンサーFPIXとSOFISTを設計・製造し放射線照射とビーム試験で評価した。
(a) 二重SOI・LDD変更等の新技術で、1 MGyまでの放射線耐性が達成可能であることを示した。
(b) ビーム試験で（1）FPIX2センサー(ピクセルサイズ8μmx8μm)を用い、空間分解能 0.7μmを得た（素粒子検出器としては世界最高）。(2) SOIFST2センサーを用い、ピクセルごとに集積した時間測定機能をの時間分解能を2μ秒を得た。粒子の通過位置・時間の同時測定機能を持つセンサーを世界に先駆けて実証した。
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