| 研究課題/領域番号 |
08044118
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| 研究種目 |
国際学術研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 共同研究 |
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
佐藤 徳芳 東北大学, 工学部, 教授 (40005252)
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| 研究分担者 |
CHOI DukーIn 韓国基礎科学研究所(KBSI), 教授
CHANG HongーY 韓国先端科学技術研究所(KAIST), 教授
李 雲龍 東北大学, 工学部, 助手 (50260419)
飯塚 哲 東北大学, 工学部, 助教授 (20151227)
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| 研究期間 (年度) |
1996
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| 研究課題ステータス |
完了 (1996年度)
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| 配分額 *注記 |
1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1996年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
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| キーワード | 大口径プラズマ / 大面積均一プラズマ / 高周波プラズマ / ECRプラズマ / 変形マグネトロン放電 / プラズマ材料プロセス / ラジカル計測 / 発光分光法 |
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| 研究概要 |
次世代超大規模集積回路や大面積液晶パネルの達成にとって、大口径均一で高密度プラズマ源の開発が緊急の課題となっている。本共同研究においては、東北大学で行われてきたプラズマの大面積化やエネルギー制御技術と、韓国で行われてきたプラズマの高密度化技術及びラジカル測定技術を融合させ、大口径で均一な高密度プラズマの生成法を確立すると共に、プラズマの均一性と反応活性種との関係を中心に研究を進めた。
この実験を東北大学で行うため、直径60cmの変形マグネトロン型高周波放電装置を製作し、大口径プラズマ生成に関する測定が行われた。その結果、高周波電極の長さ及び表面の磁場強度を変えることにより、直径55cm程度の大面積均一プラズマが生成できることが分かった。また、補助電極を挿入し共振させることにより、装置中心部でもプラズマ生成が可能となり、500Wで10^<11>/cm^3程度の高密度プラズマが生成できることが分かった。同様な実験を直径130cmの大型変形マグネトロン型高周波放電装置で行い、直径1m以上に亘って均一なプラズマ生成が明らかにされた。
一方、CF_4プラズマ中の発光スペクトルからフッ素(F)ラジカル分布を測定する光プローブシステムを構築するため、韓国側が来日し、東北大学にあるECRプラズマ装置及び変形マグネトロン型高周波放電装置を用いて測定を行った。その結果、Fラジカルの半径方向分布が明らかになり、プラズマ密度分布及びポリシリコンエッチングの半径分布との関係を得ることが出来た。
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