| 研究課題/領域番号 |
10044112
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
江刺 正喜 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授 (20108468)
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| 研究分担者 |
田中 秀治 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (00312611)
芳賀 洋一 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (00282096)
小野 崇人 東北大学, 大学院・工学研究科, 講師 (90282095)
南 和幸 東北大学, 大学院・工学研究科, 講師 (00229759)
柳 永勳 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (90312610)
WANDT Michae フライブルグ大学, 微小システム工学研究所, シニアサイエンティス
MENZ Wolfgan フライブルグ大学, 微小システム工学研究所, 教授
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| 研究期間 (年度) |
1998 – 2000
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| 研究課題ステータス |
完了 (2000年度)
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| 配分額 *注記 |
6,700千円 (直接経費: 6,700千円)
2000年度: 1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
1999年度: 1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
1998年度: 2,900千円 (直接経費: 2,900千円)
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| キーワード | 微小流体制御 / マイクロマシン / マイクロマシニング / 生化学分析 / フローセンサ / バルブ / ポンプ / 射出成形 |
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| 研究概要 |
流量センサ、バルブ、ポンプなどを流路とともに製作し、様々な要求に応えられる微小流体制御システムを実現可能にするため、信号処理回路の集積化ができるシリコンマイクロマシニング技術と、立体的で複雑な樹脂構造体を作製できる微細射出成形技術を利用し、これにより、大量生産した機能ごとのモジュールを組み合せた微小流体制御システムを可能にすることを目的に研究を行なった。
化学分析システムのサンプリングモジュールとして、表面張力を利用して試料と反応試薬を混合するデバイスの開発を行った。微小世界では表面張力が大きな役割を果たすが、それを制御するため、テフロン微粒子の複合めっきで表面を選択的に疎水性にする技術を開発した。
採取した微量の検体を分析するチップを使い捨て用に安価に製作するため、微細成形技術について研究を行った。微細な鋳型を東北大学で製作し、フライブルグ大学においてホットエンボス成型を行った。この他の透光性シリコンゴム型を用いた光硬化性樹脂による成型や、マイクロカラム付免疫チップおよびモジュール化の研究も行っている。
シリコン基板上に異なるプローブ遺伝子(DNA)を合成し並列的に遺伝子診断を行うDNAチップを開発した。これでは基板表面処理技術や光感受性保護基を持つ分子の合成などを行い、癌の細胞分裂を促す遺伝子のプロモータ領域の一塩基多型(SNP)解析用DNAチップの開発に発展している。この他液滴を付けるスポッティング法でDNAチップを作るためのヘッドの開発も行った。
微量のガスを制御できる集積化マスフローコントローラを開発してきたが、半導体製造などに応用するため腐食性ガスにも利用できる耐触性集積化マスフローコントローラを開発できた。これはハロゲンガスに侵されないステンレススチールと窒化アルミニウムを接ガス部に用いている。
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