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ナノ構造創成のための光メカトロニクスに関する総括研究

研究課題

研究課題/領域番号 12131101
研究種目

特定領域研究

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関東北大学

研究代表者

羽根 一博  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893)

研究分担者 梅田 倫弘  東京農工大学, 工学部, 教授 (60111803)
川勝 英樹  東京大学, 生産技術研究所, 助教授 (30224728)
入江 正浩  九州大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30001986)
小野 崇人  東北大学, 助教授 (90282095)
伊藤 昌文  和歌山大学, システム工学部, 教授 (10232472)
朝倉 利光  北海学園大学, 工学部, 教授 (70001188)
浮田 宏生  立命館大学, 理工学部, 教授 (00278491)
潮田 資勝  東北大学, 電気通信研究所, 教授 (90176652)
研究期間 (年度) 2000 – 2004
研究課題ステータス 完了 (2004年度)
配分額 *注記
16,100千円 (直接経費: 16,100千円)
2004年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
2003年度: 4,600千円 (直接経費: 4,600千円)
2002年度: 4,900千円 (直接経費: 4,900千円)
2001年度: 5,100千円 (直接経費: 5,100千円)
キーワードプローブ技術 / プローブアレイ / マイクロアクチュエータ / 表面マイクロマシニング / ナノメートル加工 / ナノメートル / メカトロニクス / 近接場光 / マイクロプローブ / マイクロマシニング / マイクロマシン / ナノ構造
研究概要

本研究の目的は特定研究(B)「ナノ構造創成のための光メカトロニクス」を円滑に推進するために、総括機能を発揮すること,本研究の構成メンバーの先鋭的な研究に高所より助言を与えること,特定研究全体の研究方針の策定、研究項目間の企画の調整、研究成果の広報、研究結果に対する評価・助言を行うこと,また必要に応じて研究会等の企画に助言や招待講演者の推薦を行うことである.本年度は過去4年間に実施した特定領域研究「ナノ構造創成のための光メカトロニクス」総括のため,これまでに得られた成果を取りまとめた.取りまとめにおいては,交付申請書において申請したように取りまとめを本の執筆により行うこととした.本の執筆では,広く成果を公表できるように,先端成果を記載するとともに,基礎編を設けることで理解を助け,一般の読者から,専門家まで興味が持てるような構成とした.執筆内容の討論のため,総括班で集まり,具体的な成果の取りまとめ,本の執筆方法,内容の分担等を打ち合わせた.また,相互の調整には,インターネット討論やメイル等で意見交換を行った.全編4章からなり,初めの2章が基礎編で光ナノテクノロジーの基礎I-光と物質の相互作用-,光とナノテクノロジー基礎II-微細加工-である.後半の2章は光ナノテクノロジー先端I-近接場と光技術-,光ナノテクノロジー先端II-微細加工とナノ構造-である.これらの執筆を研究代表者全員で分担し,作成した.

報告書

(5件)
  • 2004 実績報告書
  • 2003 実績報告書
  • 2002 実績報告書
  • 2001 実績報告書
  • 2000 実績報告書
  • 研究成果

    (21件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (21件)

  • [文献書誌] Y.Kanamori, H.Yahagi, T.Ono, M.Sasaki, K.Hane: "Fabrication of High-Accuracy Microtranslation Table for Near-Field Optical Data Storage Actuated by Inverted Scratch Drive Actuators"Japanese Journal of Applied Physics. 42,6B. 4074-4078 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] V.-K.Singh, M.Sasaki, J.-H.Song, K.Hane: "Heating Effect on Photoresist in Spray Coating Technique for Three-Dimentional Lithography"Japanese Journal of Applied Physics. 42,6B. 4027-4030 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] S.Ohkubo, S.Yamazaki, A.Takayanagi, Y.Otani, N.Umeda: "Shear-Force Detection by Resusable Quartz Tuning Fork without External Vibration"Optical Review. 10,2. 128-130 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] S.Ohkubo, Y.Otani, N.Umeda: "Electromagnetic Field Analysis for Circularly Polarized Light at the Apex of the Near-Field Optical Probe"Japanese Journal of Applied Physics. 42,3B. 297-300 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] D.Kobayashi, S.Kawai, D.Saya, H.Toshiyoshi, H.Fujita, H.Kawakatsu: "Optically addressing a large number of cantilevers"Abstract of 12^<th> International Conference STM/STS. Mo-1-C4 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 羽根一博: "近接場科学エンジニアリングへの展開を期待して"精密工学会誌. 69・2. 151-153 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 梅田倫弘, 大久保進也: "近接場光学顕微鏡による複屈折イメージング"精密工学会誌. 69・2. 162-165 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 川勝英樹: "百何本のカンチレバーと100MHzまでの原子間力顕微鏡"精密工学会誌. 69・2. 178-182 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] Takayoshi Kawagishi, Atsushi Kato, Yasuo Hoshi, Hideki Kawakatsu: "Mapping of lateral vibration of the tip in atomic force microscopy at the torsional resonance of the cantilever"Ultramicroscopy. 91. 37-48 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kawakatsu, S.Kawai, D.Saya, M.Nagashio, D.Kobayashi, H.Fujita: "Towards atomic force microscopy up to 100 MHz"Review of Scientific Instruments. 73・6. 2317-2320 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] K.Kanamori, K.Hane, H.Sai, H.Yugami: "100nm period silicon antireflection structures fabricated using a porous alumina membrane mask"Applied Physics Letters. 78・2. 142-143 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 佐々木実, 能川真一郎, 羽根一博: "立体的マイクロマシニングのためのレジストスプレーコ-ティング"電気学会論文誌E. 121・E・1(印刷中). (2002)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Shinya Ohkubo, Norihiro Umeda: "Near-field Scanning Optical Microscope Based on Fast Birefringence Measurement"Materials and Sensor. 13・8. 433-443 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 梅田倫弘, 高柳淳夫, 蓮村聡: "走査型フォース顕微鏡による表面電位の検出"精密工学会誌. 67・5. 754-758 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kawakatsu, D.Saya, H.Toshiyoshi, H.Fujita: "Millions of cantilevers for atomic force microscopy"Review of Scientific Instruments. 3(印刷中). (2002)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] D.Saya, K.Fukushima, H.Toshiyoshi, G.Hshiguchi, H.Fujita, H.Kawakatsu: "Fabrication of single-crystal Si cantilever array"Journal of Sensors and Actuators : A.Physical. 3(印刷中). (2002)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] M.Sasaki,K.Tanaka,K.Hane: "Cantilever Prove Integrated with Light-Emitting Diode, Waveguide, Aperture, and Photodiode for Scanning Near-Field Optical Microscope"Japan Journal of Applied Physics. 39. 7150-7153 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] D.Saya,K.Fukushima,H.Toshiyoshi,H.Fujita,G.Hashiguchi,H.Kawakatsu: "Fabrication of Silicon-Based Filiform-Necked Nanometric Oscillators"Japan Journal of Applied Physis. 39. 3747-3749 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] D.Saya,K.Fukushima,H.Toshiyoshi,G.Hashiguchi,H.Fujita,H.Kawakatsu: "FABRICATION OF ARRAY OF SINGLE-CRYSTAL Si MULTI PROBE CANTILEVERS WITH SEVERAL MICRONS SIZE FOR PARALLEL OPERATTON OF ATOMIC FORCE MICROSCOPE"Proc.of The 14th International conference of IEEE MEMS2001.. 131-131 (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] N.Umeda,M.Ishikawa,S.Ohkubo,A.Takayanagi: "Retlection Scanning Near-Field Optical Microscope with Elliptic Vibration Probe"Technical digest of nfo6. 79-79 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 梅田倫弘,高柳淳夫,蓮村聡: "走査型フォース顕微鏡による表面電位の検出"精密工学67. (印刷中). (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書

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公開日: 2001-04-01   更新日: 2018-03-28  

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