1光子検出の感度および線形・高飽和性能を有するＣＭＯＳ撮像素子の創出

• 研究課題/領域番号: 15H02245
• 研究種目: 基盤研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 須川 成利 東北大学, 工学研究科, 教授 (70321974)
• 研究分担者: 黒田 理人 東北大学, 工学研究科, 准教授 (40581294)
• 研究期間 (年度): 2015-04-01 – 2018-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2017年度)
• 配分額: 44,330千円 (直接経費: 34,100千円、間接経費: 10,230千円); 2017年度: 11,830千円 (直接経費: 9,100千円、間接経費: 2,730千円); 2016年度: 13,130千円 (直接経費: 10,100千円、間接経費: 3,030千円); 2015年度: 19,370千円 (直接経費: 14,900千円、間接経費: 4,470千円)
• キーワード: 電子デバイス・機器 / センシングデバイス / 撮像素子 / フォトンカウンティング / 1光子検出

研究成果の概要

1光子検出の感度と高飽和性能を有し、極低照度環境から明暗差が5ケタ以上の被写体を、1回の露光で線形応答により明瞭に撮像できるCMOS撮像素子技術の創出を目指し、過去に築いた横型オーバーフロー蓄積容量を有する広ダイナミックレンジCMOS撮像素子技術を発展させた超高感度信号読出し技術の研究に取り組んだ。光電荷を電圧に変換するフローティングディフュージョン容量の極小化と複数のゲインを有する列並列増幅器の導入により入力換算0.47電子の低ノイズ性能を得た。画素出力のマルチサンプリング、熱雑音の低減により、1光子が検出出来る入力換算ノイズ0.2電子と、5万個を超える飽和電子数が両立出来る見込みを得た。

研究成果

• [雑誌論文] Experimental investigation of localized stress-induced leakage current distribution in gate dielectrics using array test circuit (2018)
  • 著者名/発表者名: Park H.、Teramoto A.、Kuroda R.、Suwa T.、Sugawa S.
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 57 号: 4S ページ: 04FE11-04FE11
  • DOI: 10.7567/jjap.57.04fe11
  • NAID: 210000148908
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of drain current on appearance probability and amplitude of random telegraph noise in low-noise CMOS image sensors (2018)
  • 著者名/発表者名: Ichino S.、Mawaki T.、Teramoto A.、Kuroda R.、Rark H.、Wakshima S.、Goto T.、Suwa T.、Sugawa S.
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 57 号: 4S ページ: 04FF08-04FF08
  • DOI: 10.7567/jjap.57.04ff08
  • NAID: 210000148922
  • 査読あり
• [雑誌論文] A high sensitivity 20Mfps CMOS image sensor with readout speed of 1Tpixel/sec for visualization of ultra-high speed phenomena (2017)
  • 著者名/発表者名: Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
  • 雑誌名: Proceedings of SPIE 巻: 10328 ページ: 1032802-1032802
  • DOI: 10.1117/12.2270787
  • 査読あり
• [雑誌論文] Formation technology of flat surface with epitaxial growth on ion-implanted (100)-oriented Si surface of thin silicon-on-insulator (2017)
  • 著者名/発表者名: Furukawa K.、Teramoto A.、Kuroda R.、Suwa T.、Hashimoto K.、Sugawa S.、Suzuki D.、Chiba Y.、Ishii K.、Shimizu A.、Hasebe K.
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 56 号: 10 ページ: 105503-105503
  • DOI: 10.7567/jjap.56.105503
  • NAID: 210000148334
  • 査読あり
• [雑誌論文] Analysis and reduction of leakage current of 2 kV monolithic isolator with wide trench spiral isolation structure (2016)
  • 著者名/発表者名: Yusuke Takeuchi, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 55 号: 4S ページ: 04EF07-04EF07
  • DOI: 10.7567/jjap.55.04ef07
  • NAID: 210000146330
  • 査読あり
• [雑誌論文] [Paper] Analysis and Reduction Technologies of Floating Diffusion Capacitance in CMOS Image Sensor for Photon-Countable Sensitivity (2016)
  • 著者名/発表者名: Fumiaki Kusuhara, Shunichi Wakashima, Satoshi Nasuno, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
  • 雑誌名: ITE Transactions on Media Technology and Applications 巻: 4 号: 2 ページ: 91-98
  • DOI: 10.3169/mta.4.91
  • NAID: 130005142720
  • ISSN: 2186-7364
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] [Paper] Floating Capacitor Load Readout Operation for Small, Low Power Consumption and High S/N Ratio CMOS Image Sensors (2016)
  • 著者名/発表者名: Shunichi Wakashima, Fumiaki Kusuhara, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
  • 雑誌名: ITE Transactions on Media Technology and Applications 巻: 4 号: 2 ページ: 99-108
  • DOI: 10.3169/mta.4.99
  • NAID: 130005142719
  • ISSN: 2186-7364
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] [Paper] A High Quantum Efficiency High Readout Speed 1024 Pixel Ultraviolet-Visible-Near Infrared Waveband Photodiode Array (2016)
  • 著者名/発表者名: Rihito Kuroda, Takahiro Akutsu, Yasumasa Koda, Kenji Takubo, Hideki Tominaga, Ryuta Hirose, Tomohiro Karasawa, Shigetoshi Sugawa
  • 雑誌名: ITE Transactions on Media Technology and Applications 巻: 4 号: 2 ページ: 109-115
  • DOI: 10.3169/mta.4.109
  • NAID: 130005142727
  • ISSN: 2186-7364
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] [Paper] A CMOS Image Sensor with 240 μV/e^– Conversion Gain, 200 ke^– Full Well Capacity, 190-1000 nm Spectral Response and High Robustness to UV light (2016)
  • 著者名/発表者名: Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Fumiaki Kusuhara, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
  • 雑誌名: ITE Transactions on Media Technology and Applications 巻: 4 号: 2 ページ: 116-122
  • DOI: 10.3169/mta.4.116
  • NAID: 130005142728
  • ISSN: 2186-7364
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] [Paper] A 20Mfps Global Shutter CMOS Image Sensor with Improved Light Sensitivity and Power Consumption Performances (2016)
  • 著者名/発表者名: Rihito Kuroda, Yasuhisa Tochigi, Ken Miyauchi, Tohru Takeda, Hidetake Sugo, Fan Shao, Shigetoshi Sugawa
  • 雑誌名: ITE Transactions on Media Technology and Applications 巻: 4 号: 2 ページ: 149-154
  • DOI: 10.3169/mta.4.149
  • NAID: 130005142726
  • ISSN: 2186-7364
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Introduction of Atomically Flattening of Si Surface to Large-Scale Integration Process Employing Shallow Trench Isolation (2016)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Goto, Rihito Kuroda, Naoya Akagawa, Tomoyuki Suwa, Akinobu Teramoto, Xiang Li, Toshiki Obara, Daiki Kimoto, Shigetoshi Sugawa, Yutaka Kamata, Yuki Kumagai, and Katsuhiko Shibusawa
  • 雑誌名: ECS Journal of Solid State Science and Technology 巻: 5 号: 2 ページ: P67-P72
  • DOI: 10.1149/2.0221602jss
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Ultra-Low Temperature Flattening Technique of Silicon Surface Using Xe/H2 Plasma (2015)
  • 著者名/発表者名: Tomoyuki Suwa, Akinobu Teramoto, Tetsuya Goto, Masaki Hirayama, Shigetoshi Sugawa, and Tadahiro Ohmi
  • 雑誌名: ECS Transactions 巻: 66 号: 5 ページ: 277-283
  • DOI: 10.1149/06605.0277ecst
  • 査読あり
• [雑誌論文] Low Temperature Atomically Flattening of Si Surface of Shallow Trench Isolation Pattern (2015)
  • 著者名/発表者名: T. Goto, R. Kuroda, T. Suwa, A. Teramoto, N. Akagawa, D. Kimoto, S. Sugawa, T. Ohmi, Y. Kamata, Y. Kumagai, and K. Shibusawa
  • 雑誌名: ECS Transactions 巻: 66 号: 5 ページ: 285-292
  • DOI: 10.1149/06605.0285ecst
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Effect of Hydrogen on Silicon Nitrides Formation by Microwave Excited Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (2015)
  • 著者名/発表者名: A. Teramoto, Y. Nakao, T. Suwa, K. Hashimoto, T. Motoya, M. Hirayama, S. Sugawa, and T. Ohmi
  • 雑誌名: ECS Transactions 巻: 66 号: 4 ページ: 151-159
  • DOI: 10.1149/06604.0151ecst
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of Process Temperature of Al2O3 Atomic Layer Deposition Using Accurate Process Gasses Supply System (2015)
  • 著者名/発表者名: H. Sugita, Y. Koda, T. Suwa, R. Kuroda, T. Goto, H. Ishii, S. Yamashita, A. Teramoto, S. Sugawa, and T. Ohmi
  • 雑誌名: ECS Transactions 巻: 66 号: 4 ページ: 305-314
  • DOI: 10.1149/06604.0305ecst
  • 査読あり
• [雑誌論文] Measurement and Analysis of Seismic Response in Semiconductor Manufacturing Equipment (2015)
  • 著者名/発表者名: Kaori Komoda, Masashi Sakuma, Masakazu Yata, Yoshio Yamazaki, Fuminobu Imaizumi, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
  • 雑誌名: IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING 巻: 28 号: 3 ページ: 289-296
  • DOI: 10.1109/tsm.2015.2427807
  • 査読あり
• [学会発表] High-speed multi-bandpass liquid-crystal filter using dual-frequency liquid crystal for real-time spectral imaging system (2018)
  • 著者名/発表者名: Takahiro Ishinabe, Kohei Terashima, Kazuhiro Wako, Yasuyuki Fujihara, Yusuke Aoyagi, Maasa Murata, Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Rihito Kuroda, Yosei Shibata, Shigetoshi Sugawa, Hideo Fujikake
  • 学会等名: SPIE PHOTONICS WEST 2018
  • 国際学会
• [学会発表] A Preliminary Chip Evaluation toward Over 50Mfps Burst Global Shutter Stacked CMOS Image Sensor (2018)
  • 著者名/発表者名: Manabu Suzuki, Masashi Suzuki, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: IS&T International Symposium on Electronic Imaging 2018
  • 国際学会
• [学会発表] 高速化・高感度化技術の今後 (2018)
  • 著者名/発表者名: 黒田 理人
  • 学会等名: 次世代画像入力ビジョンシステム部会・映像情報メディア学会共催公開講演会『イメージセンサ３０年の進歩と更なる発展』
  • 招待講演
• [学会発表] 最高撮像速度5000万コマ/秒を有するプロトタイプグローバルシャッタ高速CMOSイメージセンサ (2018)
  • 著者名/発表者名: 鈴木学, 鈴木将, 黒田理人, 須川成利
  • 学会等名: 映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会
• [学会発表] Impact of SiO2/Si Interface Micro-roughness on SILC Distribution and Dielectric Breakdown: A Comparative Study with Atomically Flattened Devices (2017)
  • 著者名/発表者名: Hyeonwoo Park, Tetsuya Goto, Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto, Tomoyuki Suwa, Daiki Kimoto, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: International Reliability Physics Symposium 2017
  • 国際学会
• [学会発表] Statistical Analysis of Random Telegraph Noise in Source Follower Transistors with Various Shapes (2017)
  • 著者名/発表者名: Shinya Ichino, Takezo Mawaki, Shunichi Wakashima, Akinobu Teramoto, Rihito Kuroda, Phillipe Gaubert, Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2017 International Image Sensor Workshop
  • 国際学会
• [学会発表] Impact of Random Telegraph Noise with Various Time Constants and Number of States in CMOS Image Sensors (2017)
  • 著者名/発表者名: Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2017 International Image Sensor Workshop
  • 国際学会
• [学会発表] A Spectral Imaging System with an Over 70dB SNR CMOS Image Sensor and Electrically Tunable 10nm FWHM Multi-Bandpass Filter (2017)
  • 著者名/発表者名: Yasuyuki Fujihara, Yusuke Aoyagi, Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Rihito Kuroda, Kohei Terashima, Takahiro Ishinabe, Hideo Fujikake, Kazuhiro Wako, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2017 International Image Sensor Workshop
  • 国際学会
• [学会発表] 10Mfps 960 Frames Video Capturing Using a UHS Global Shutter CMOS Image Sensor with High Density Analog Memories (2017)
  • 著者名/発表者名: Manabu Suzuki, Masashi Suzuki, Rihito Kuroda, Yuki Kumagai, Akira Chiba, Noriyuki Miura, Naoya Kuriyama, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2017 International Image Sensor Workshop
  • 国際学会
• [学会発表] Experimental Investigation of Localized Stress Induced Leakage Current Distribution in Gate Dielectrics Using Array Test Circuit (2017)
  • 著者名/発表者名: Hyeonwoo Park, Tomoyuki Suwa, Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 国際学会
• [学会発表] Analysis of Random Telegraph Noise Behaviors of nMOS and pMOS toward Back Bias Voltage Changing (2017)
  • 著者名/発表者名: Takezo Mawaki, Akinobu Teramoto, Rihito Kuroda, Shinya Ichino, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 国際学会
• [学会発表] Impact of Drain Current to Appearance Probability and Amplitude of Random Telegraph Noise in Low Noise CMOS Image Sensors (2017)
  • 著者名/発表者名: Shinya Ichino, Takezo Mawaki, Akinobu Teramoto, Rihito Kuroda, Hyeonwoo Park, Takeru Maeda, Shunichi Wakashima, Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 国際学会
• [学会発表] Narrow-Bandpass Liquid Crystal Filter for Real-Time Multi Spectral Imaging Systems (2017)
  • 著者名/発表者名: Kohei Terashima, Takahiro Ishinabe, Kazuo Wako, Yasuyuki Fujihara, Yusuke Aoyagi, Maasa Murata, Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Rihito Kuroda, Yosei Shibata, Shigetoshi Sugawa, Hideo Fujikake
  • 学会等名: International Display Workshops
  • 国際学会
• [学会発表] Spectral Absorption Imaging with an Over 70dB SNR CMOS Image Sensor (2017)
  • 著者名/発表者名: Maasa Murata, Yasuyuki Fujihara, Yusuke Aoyagi, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 電気関係学会東北支部連合大会
• [学会発表] 画素SFで発生するランダムテレグラフノイズの統計的解析 ～ トランジスタ形状・時定数・遷移数の影響 ～ (2017)
  • 著者名/発表者名: 黒田理人, 寺本章伸, 市野真也, 間脇武蔵, 若嶋駿一, 須川成利
  • 学会等名: 映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会
• [学会発表] SNR 70dB超のCMOSイメージセンサと半値幅10nmのチューナブルマルチバンドパスフィルタを用いた分光イメージングシステム (2017)
  • 著者名/発表者名: 青柳雄介, 藤原康行, 村田真麻, 那須野悟史, 若嶋駿一, 黒田理人, 寺島康平, 石鍋隆宏, 藤掛英夫, 若生一広, 須川成利
  • 学会等名: 映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会
• [学会発表] 紫外吸光とチャージアンプ回路を用いた高感度・小型リアルタイムガス濃度計 (2017)
  • 著者名/発表者名: 石井 秀和, 永瀬 正明, 池田 信一, 志波 良信, 白井 泰雪, 黒田 理人, 須川 成利
  • 学会等名: 電子情報通信学会・シリコン材料・デバイス研究会
• [学会発表] 局所的ストレス誘起ゲートリーク電流の統計的分布の解析とSi表面平坦化工程による低減 (2017)
  • 著者名/発表者名: 朴 賢雨, 黒田 理人, 後藤 哲也, 諏訪 智之, 寺本 章伸, 木本 大幾, 須川 成利
  • 学会等名: 電子情報通信学会・シリコン材料・デバイス研究会
• [学会発表] 高精度アレイテスト回路計測技術を用いたソースフォロアトランジスタの動作条件変化によるランダムテレグラフノイズの挙動解析 (2017)
  • 著者名/発表者名: 市野 真也, 間脇 武蔵, 寺本 章伸, 黒田 理人, 若嶋 駿一, 須川 成利
  • 学会等名: 電子情報通信学会・シリコン材料・デバイス研究会
• [学会発表] 撮像速度1000万コマ／秒を超える高速度CMOSイメージセンサ技術の進展 (2017)
  • 著者名/発表者名: 黒田 理人, 鈴木 学, 鈴木 将, 須川 成利
  • 学会等名: 高速度イメージングとフォトニクスに関する総合シンポジウム2017
• [学会発表] リアルタイム分光イメージングシステム用の高速ナローバンドパス液晶フィルタ (2017)
  • 著者名/発表者名: 寺島康平, 石鍋隆宏, 若生一広, 藤原康行, 青柳雄介, 村田真麻, 那須野悟史, 若嶋駿一, 黒田理人, 柴田陽生, 須川成利, 藤掛英夫
  • 学会等名: Optics & Photonics Japan 2017
• [学会発表] Atomically flat interface for noise reduction in SOI-MOSFETs (2017)
  • 著者名/発表者名: Gaubert P.、Kircher A.、Park H.、Kuroda R.、Sugawa S.、Goto T.、Suwa T.、Teramoto A.
  • 学会等名: 2017 International Conference on Noise and Fluctuations
  • 国際学会
• [学会発表] 広光波長帯域イメージセンサ技術と分光イメージングへの展開 (2017)
  • 著者名/発表者名: 黒田理人
  • 学会等名: 次世代画像入力ビジョンシステム部会第170回定例会「次世代イメージセンサと新技術の展開」
  • 発表場所: 東京理科大学森戸記念館（東京都・新宿区）
  • 招待講演
• [学会発表] 急峻pn接合Siダイオード技術を用いた高感度・高速性能低加速電圧電子線検出器 (2017)
  • 著者名/発表者名: 黒田理人, 幸田安真, 原昌也, 角田博之, 須川成利
  • 学会等名: 映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会
  • 発表場所: NHK放送技術研究所（東京都・世田谷区）
• [学会発表] 高密度アナログメモリを搭載した超高速グローバルシャッタCMOSイメージセンサ (2017)
  • 著者名/発表者名: 鈴木学, 鈴木将, 黒田理人, 熊谷勇喜, 千葉亮, 三浦規之, 栗山尚也, 須川成利
  • 学会等名: 映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会
  • 発表場所: NHK放送技術研究所（東京都・世田谷区）
• [学会発表] 撮像速度1000万コマ/秒を超える高速度CMOSイメージセンサの高感度化・多記録枚数化 (2017)
  • 著者名/発表者名: 黒田理人
  • 学会等名: 次世代画像入力ビジョンシステム部会第171回定例会
  • 発表場所: 東京理科大学森戸記念館（東京都・新宿区）
  • 招待講演
• [学会発表] 画素毎の接続を有する3次元積層を用いた先進グローバルシャッタCMOSイメージセンサ技術 (2016)
  • 著者名/発表者名: 黒田理人
  • 学会等名: SEMICON Japan2016 TechSTAGE・STS 先端デバイス・プロセスセッション(2)
  • 発表場所: 東京ビッグサイト（東京都・江東区）
  • 年月日: 2016-12-14
  • 招待講演
• [学会発表] An Over 1Mfps Global Shutter CMOS Image Sensor with 480 Frame Storage Using Vertical Analog Memory Integration (2016)
  • 著者名/発表者名: Manabu Suzuki, Masashi Suzuki, Rihito Kuroda, Yuki Kumagai, Akira Chiba, Noriyuki Miura, Naoya Kuriyama, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2016 IEEE International Electron Devices Meeting
  • 発表場所: San Francisco, USA
  • 年月日: 2016-12-05
  • 国際学会
• [学会発表] A Dead-time free global shutter stacked CMOS image sensor with in-pixel LOFIC and ADC using pixel-wise connections (2016)
  • 著者名/発表者名: Rihito Kuroda, Hidetake Sugo, Shunichi Wakashima, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 3rd International Workshop on Image Sensors and Imaging Systems
  • 発表場所: 東京工業大学 田町キャンパス（東京都・港区）
  • 年月日: 2016-11-17
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] 190-1100 nm waveband multispectral imaging system using high UV-light resistance 94dB dynamic range CMOS image sensor (2016)
  • 著者名/発表者名: Yasuyuki Fujihara, Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Yusuke Aoyagi, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 3rd International Workshop on Image Sensors and Imaging Systems
  • 発表場所: 東京工業大学 田町キャンパス（東京都・港区）
  • 年月日: 2016-11-17
  • 国際学会
• [学会発表] A High Sensitivity 20Mfps CMOS Image Sensor with Readout speed of 1Tpixel/sec for Visualization of Ultra-high Speed Phenomena (2016)
  • 著者名/発表者名: Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: The 31st International Congress on High-speed Imaging and Photonics
  • 発表場所: ホテル阪急エキスポパーク（大阪府・吹田市）
  • 年月日: 2016-11-07
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] A High Sensitivity Compact Gas Concentration Sensor using UV Light and Charge Amplifier Circuit (2016)
  • 著者名/発表者名: Hidekazu Ishii, Masaaki Nagase, Nobukazu Ikeda,Yoshinobu Shiba, Yasuyuki Shirai, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: IEEE Sensors 2016
  • 発表場所: Orlando, USA
  • 年月日: 2016-10-30
  • 国際学会
• [学会発表] 190-1100 nm Waveband Multispectral Imaging System using High Light Resistance Wide Dynamic Range CMOS Image Sensor (2016)
  • 著者名/発表者名: Yasuyuki Fujihara, Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Yusuke Aoyagi, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: IEEE Sensors 2016
  • 発表場所: Orlando, USA
  • 年月日: 2016-10-30
  • 国際学会
• [学会発表] 動作電圧変化時の過渡状態におけるランダムテレグラフノイズの挙動に関する研究 (2016)
  • 著者名/発表者名: 間脇武蔵, 寺本章伸, 黒田理人, 市野真也, 後藤哲也, 諏訪智之, 須川成利
  • 学会等名: 電子情報通信学会技術研究報告・シリコン材料・デバイス研究会
  • 発表場所: 東北大学青葉山キャンパス（宮城県・仙台市）
  • 年月日: 2016-10-26
• [学会発表] Low Frequency Noise of Accumulation-Mode n- and p-MOSFETs fabricated on (110) Crystallographic Silicon-Oriented Wafers (2016)
  • 著者名/発表者名: Philippe Gaubert, Akinobu Teramoto and Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2016 International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 発表場所: つくば国際会議場（茨城県・つくば市）
  • 年月日: 2016-09-26
  • 国際学会
• [学会発表] Dynamic Response of Random Telegraph Noise Time Constants toward Bias Voltage Changing (2016)
  • 著者名/発表者名: T. Mawaki, A. Teramoto, S. Ichino, R. Kuroda, T. Goto, T. Suwa, S. Sugawa
  • 学会等名: 平成28年度電気関係学会東北支部連合大会
  • 発表場所: 東北工業大学八木山キャンパス（宮城県・仙台市）
  • 年月日: 2016-08-30
• [学会発表] On-Chip Optical Filter Technology with Low Extinction Coefficient SiN for Ultraviolet-Visible-Near Infrared Light Waveband Spectral Imaging (2016)
  • 著者名/発表者名: Yasumasa Koda, Yhang Ricardo Sipauba Carvalho da Silva, Loic Julien, Daisuke Sawada, Tetsuya Goto, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2016 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices
  • 発表場所: 函館国際ホテル（北海道・函館市）
  • 年月日: 2016-07-04
  • 国際学会
• [学会発表] A Dead-time Free Global Shutter CMOS Image Sensor with in-pixel LOFIC and ADC using Pixel-wise Connection (2016)
  • 著者名/発表者名: Hidetake Sugo, Shunichi Wakashima, Rihito Kuroda, Yuichiro Yamashita, Hirofumi Sumi, Tzu-Jui Wang, Po-Sheng Chou, Ming -Chieh Hsu and Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2016 Symposium on VLSI Circuits
  • 発表場所: Honolulu, USA
  • 年月日: 2016-06-15
  • 国際学会
• [学会発表] Random Telegraph Noise Measurement and Analysis based on Arrayed Test Circuit toward High S/N CMOS Image Sensors (2016)
  • 著者名/発表者名: Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto and Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 29th IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures
  • 発表場所: メルパルク横浜（神奈川県・横浜市）
  • 年月日: 2016-03-28
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Wide dynamic range LOFIC CMOS image sensors: principle, achievements and extendibility (2016)
  • 著者名/発表者名: Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: International Forum on Detectors for Photon Science
  • 発表場所: 富士ビューホテル（山梨県・富士河口湖町）
  • 年月日: 2016-02-29
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] CMOSイメージセンサの高速化・高感度化・広光波長帯域化技術 (2016)
  • 著者名/発表者名: 黒田理人, 須川成利
  • 学会等名: 第191回研究集会 シリコンテクノロジー分科会ナノ・接合技術研究会「接合技術の新展開」
  • 発表場所: 宝塚大学梅田キャンパス（大阪府・大阪市）
  • 年月日: 2016-02-28
  • 招待講演
• [学会発表] A Dead-time Free Global Shutter CMOS Image Sensor with in-pixel LOFIC and ADC using Pixel-wise Connections (2016)
  • 著者名/発表者名: Rihito Kuroda, Hidetake Sugo, Shunichi Wakashima, and Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: Symposium on VLSI Circuits 2016報告会
  • 発表場所: 神戸大学・梅田インテリジェントラボラトリ（大阪府・大阪市）
• [学会発表] 画素毎の接続を用いた画素内に横型オーバーフロー蓄積容量およびAD変換器を有する露光時間途切れのないグローバルシャッタ積層型CMOSイメージセンサ (2016)
  • 著者名/発表者名: 黒田 理人, 須郷 秀武, 若 嶋駿一, 須川 成利
  • 学会等名: 映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会
  • 発表場所: 機会振興会館（東京都・港区）
• [学会発表] Advanced CMOS Image Sensor Development (2015)
  • 著者名/発表者名: Rihito Kuroda
  • 学会等名: Tohoku Univ. - imec Seminar 2015 Sendai Symposium on Analytical Science 2015 Joint Seminar on "Unobtrusive Sensing & Daily Health Screening"
  • 発表場所: 東北大学青葉山キャンパス（宮城県・仙台市）
  • 年月日: 2015-11-13
  • 国際学会
• [学会発表] An Ultraviolet Radiation Sensor Using Differential Spectral Response of Silicon Photodiodes (2015)
  • 著者名/発表者名: Yhang Ricardo Sipauba Carvalho da Silva, Yasumasa Koda, Satoshi Nasuno, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: IEEE Sensors 2015
  • 発表場所: Busan, South Korea
  • 年月日: 2015-11-01
  • 国際学会
• [学会発表] Electrical Properties of MOSFETs Introducing Atomically Flat Gate Insulator/Silicon Interface (2015)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya GOTO, Rihito KURODA, Tomoyuki SUWA, Akinobu TERAMOTO, Toshiki OBARA, Daiki KIMOTO
  • 学会等名: 電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会
  • 発表場所: 東北大学青葉山キャンパス（宮城県・仙台市）
  • 年月日: 2015-10-29
• [学会発表] Analysis and reduction of leakage current of 2kV monolithic isolator with wide trench spiral isolation structure (2015)
  • 著者名/発表者名: Yusuke Takeuchi, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: Extended Abstracts of the 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 発表場所: 札幌コンベンションセンター（北海道・札幌市）
  • 年月日: 2015-09-27
  • 国際学会
• [学会発表] 電荷電圧変換ゲイン240uV/e-、飽和電子数200ke-、感度波長帯域190-1000nmを有するCMOSイメージセンサ (2015)
  • 著者名/発表者名: 那須野悟史, 若嶋駿一, 楠原史章, 黒田理人, 須川成利
  • 学会等名: 映像情報メディア学会技術報告 情報センシング研究会
  • 発表場所: 機会振興会館（東京都・港区）
  • 年月日: 2015-09-18
• [学会発表] フローティングディフュージョン容量成分の解析・低減技術と高感度・高飽和CMOSイメージセンサへの適用 (2015)
  • 著者名/発表者名: 楠原史章, 若嶋駿一, 那須野悟史, 黒田理人, 須川成利
  • 学会等名: 映像情報メディア学会技術報告 情報センシング研究会
  • 発表場所: 機会振興会館（東京都・港区）
  • 年月日: 2015-09-18
• [学会発表] CMOSイメージセンサの高感度化・高速化・光波長広帯域 －IISW2015・VLSI2015東北大学報告より－ (2015)
  • 著者名/発表者名: 須川成利
  • 学会等名: 次世代画像入力ビジョンシステム部会
  • 発表場所: 機会振興会館（東京都・港区）
  • 年月日: 2015-08-07
  • 招待講演
• [学会発表] A Linear Response Single Exposure CMOS Image Sensor with 0.5e- Readout Noise and 76ke- Full Well Capacity (2015)
  • 著者名/発表者名: Shunichi Wakashima, Fumiaki Kusuhara, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2015 SYMPOSIUM ON VLSI CIRCUITS
  • 発表場所: リーガロイヤルホテル京都（京都府・京都市）
  • 年月日: 2015-06-15
  • 国際学会
• [学会発表] A 80% QE High Readout Speed 1024 Pixel Linear Photodiode Array for UV-VIS-NIR Spectroscopy (2015)
  • 著者名/発表者名: Rihito Kuroda, Takahiro Akutsu, Yasumasa Koda, Kenji Takubo, Hideki Tominaga, Ryuuta Hirose, Tomohiro Karasawa and Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2015 INTERNATIONAL IMAGE SENSOR WORKSHOP
  • 発表場所: Vaals, Netherlands
  • 年月日: 2015-06-08
  • 国際学会
• [学会発表] Analysis and Reduction of Floating Diffusion Capacitance Components of CMOS Image Sensor for Photon-Countable Sensitivity (2015)
  • 著者名/発表者名: Fumiaki Kusuhara, Shunichi Wakashima, Satoshi Nasuno, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2015 INTERNATIONAL IMAGE SENSOR WORKSHOP
  • 発表場所: Vaals, Netherlands
  • 年月日: 2015-06-08
  • 国際学会
• [学会発表] A 20Mfps Global Shutter CMOS Image Sensor with Improved Sensitivity and Power Consumption (2015)
  • 著者名/発表者名: Shigetoshi Sugawa, Rihito Kuroda, Tohru Takeda, Fan Shao, Ken Miyauchi and Yasuhisa Tochigi
  • 学会等名: 2015 INTERNATIONAL IMAGE SENSOR WORKSHOP
  • 発表場所: Vaals, Netherlands
  • 年月日: 2015-06-08
  • 国際学会
• [学会発表] A CMOS Image Sensor with 240μV/e- Conversion Gain, 200ke- Full Well Capacity and 190-1000nm Spectral Response (2015)
  • 著者名/発表者名: Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Fumiaki Kusuhara, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2015 INTERNATIONAL IMAGE SENSOR WORKSHOP
  • 発表場所: Vaals, Netherlands
  • 年月日: 2015-06-08
  • 国際学会
• [学会発表] Ultra-Low Temperature Flattening Technique of Silicon Surface Using Xe/H2 Plasma (2015)
  • 著者名/発表者名: Tomoyuki Suwa, Akinobu Teramoto, Tetsuya Goto, Masaki Hirayama, Shigetoshi Sugawa and Tadahiro Ohmi
  • 学会等名: 227th Meeting of The Electrochemical Society
  • 発表場所: Chicago, USA
  • 年月日: 2015-05-24
  • 国際学会
• [学会発表] Low Temperature Atomically Flattening of Si Surface of Shallow Trench Isolation Pattern (2015)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Goto, Rihito Kuroda, Tomoyuki Suwa, Akinobu Teramoto, Naoya Akagawa, Daiki Kimoto, Shigetoshi Sugawa, Tadahiro Ohmi, Yutaka Kamata, Yuki Kumagai and Katsuhiko Shibusawa
  • 学会等名: 227th Meeting of The Electrochemical Society
  • 発表場所: Chicago, USA
  • 年月日: 2015-05-24
  • 国際学会
• [学会発表] Effect of Hydrogen on Silicon Nitrides Formation by Microwave Excited Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (2015)
  • 著者名/発表者名: Akinobu Teramoto, Yukihisa Nakao, Tomoyuki Suwa, Keiichi Hashimoto, Tsukasa Motoya, Masaki Hirayama, Shigetoshi Sugawa, and Tadahiro Ohmi
  • 学会等名: 227th Meeting of The Electrochemical Society
  • 発表場所: Chicago, USA
  • 年月日: 2015-05-24
  • 国際学会
• [学会発表] Effect of Process Temperature of Al2O3 Atomic Layer Deposition Using Accurate Process Gasses Supply System (2015)
  • 著者名/発表者名: Hisaya Sugita, Yasukasa Koda, Tomoyuki Suwa, Rihito Kuroda, Tetsuya Goto, Hidekazu Ishii, Satoru Yamashita, Akinobu Teramoto, Shigetoshi Sugawa, and Tadahiro Ohmi
  • 学会等名: 227th Meeting of The Electrochemical Society
  • 発表場所: Chicago, USA
  • 年月日: 2015-05-24
  • 国際学会
• [学会発表] ゲート絶縁膜/Si界面の原子オーダー平坦化によるランダムテレグラフノイズ低減効果 (2015)
  • 著者名/発表者名: 黒田理人, 後藤哲也, 赤川直也, 木本大幾, 寺本章伸, 須川 成利
  • 学会等名: 映像情報メディア学会技術報告 情報センシング研究会
  • 発表場所: 東京理科大学森戸記念館（東京都・新宿区）
  • 年月日: 2015-05-08
• [学会発表] UV/VIS/NIR imaging technologies: challenges and opportunities (2015)
  • 著者名/発表者名: Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
  • 学会等名: 2015 SPIE Sensing Technology + Applications
  • 発表場所: Baltimore, USA
  • 年月日: 2015-04-20
  • 国際学会 / 招待講演
• [図書] The Micro-World Observed by Ultra High-Speed Cameras: We See What You Don’t See, Part III Cameras with CCD/CMOS Sensors, Cameras with on-chip memory CMOS image sensors (2017)
  • 著者名/発表者名: Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
  • 総ページ数: 22
  • 出版者: Springer International Publishing
  • ISBN: 9783319614908
• [図書] 車載センシング技術の開発と ADAS、自動運転システムへの応用 第2章 第1節 CMOSイメージセンサの広ダイナミックレンジ化技術 (2017)
  • 著者名/発表者名: 黒田 理人
  • 総ページ数: 17
  • 出版者: 技術情報協会
  • ISBN: 9784861046582
• [図書] 光アライアンス2017年12月号 三次元積層を用いた先進CMOSイメージセンサ技術 (2017)
  • 著者名/発表者名: 黒田 理人
  • 総ページ数: 5
  • 出版者: 日本工業出版
• [産業財産権] 光センサ及びその信号読み出し方法並びに固体撮像装置及びその信号読み出し方法 (2015)
  • 発明者名: 須川 成利、黒田 理人、若嶋 駿一
  • 権利者名: 国立大学法人東北大学
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2015
  • 取得年月日: 2017