| 研究課題/領域番号 |
15H02246
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
小柳 光正 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 名誉教授 (60205531)
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| 研究分担者 |
木野 久志 東北大学, 学際科学フロンティア研究所, 助教 (10633406)
田中 徹 東北大学, 医工学研究科, 教授 (40417382)
ベ ジチョル 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 助教 (40509874)
清山 浩司 長崎総合科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 研究員 (60412722)
橋本 宏之 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 学術研究員 (80589432)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
44,980千円 (直接経費: 34,600千円、間接経費: 10,380千円)
2017年度: 7,670千円 (直接経費: 5,900千円、間接経費: 1,770千円)
2016年度: 15,470千円 (直接経費: 11,900千円、間接経費: 3,570千円)
2015年度: 21,840千円 (直接経費: 16,800千円、間接経費: 5,040千円)
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| キーワード | 電子デバイス・機器 / 先端機能デバイス / 半導体物性 / システムオンチップ / スマートセンサ情報システム |
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| 研究成果の概要 |
積層型画素を有するイメージセンサー素子の実現可能性を明らかにするために、吸収スペクトル・分光感度特性を基にSiの光学フィルタとしての特性を評価した。その結果、色再現の際の色の分離、ホワイトバランス向上のためには、積層型画素の積層数をできるだけ増やした方が良いことが分かった。積層型画素を有するイメージセンサー素子では、反射防止膜の最適化が重要であることも分かった。多層積層型イメージセンサー素子の光学フィルタとしての機能を中心に、3次元積層型イメージセンサーLSIとしての特性を評価するために、多層Siフィルタを搭載した3次元積層型イメージセンサーLSIを試作し、動作させることに成功した。
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