“基板のクランプ効果による可逆配向スイッチング機構”を用いた巨大圧電体膜の創成

• 研究課題/領域番号: 15H04121
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 無機材料・物性
• 研究機関: 東京工業大学
• 研究代表者: 舟窪 浩 東京工業大学, 物質理工学院, 教授 (90219080)
• 研究分担者: 清水 荘雄 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (60707587)
• 研究期間 (年度): 2015-04-01 – 2018-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2017年度)
• 配分額: 16,510千円 (直接経費: 12,700千円、間接経費: 3,810千円); 2017年度: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円); 2016年度: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円); 2015年度: 7,670千円 (直接経費: 5,900千円、間接経費: 1,770千円)
• キーワード: 誘電体膜 / 圧電MEMS / 誘電体 / 非鉛圧電体 / クランプ効果 / ドメイン構造

研究成果の概要

(100)/(001)配向したPb(Zr0.5Ti0.5)O3膜をSi、SrTiO3およびCaF2基板上に作製した。電界印加時には、可逆な格子の伸長と(100)配向から(001)配向へのドメインスイッチングが確認された。格子の伸長はすべての膜でほぼ同様に観察されたのに対し、ドメインスイッチングはSi基板上で最大となった。これが、Si基板上の膜の大きな圧電性の起源であると考えられる。

研究成果

• [国際共同研究] University of Nebraska/Carnegie Institution for Science/University of Pennsylvania(米国)
• [国際共同研究] スイス連邦工科大学ローザンヌ校 (EPFL)(スイス)
• [国際共同研究] University of New South Wales(オーストラリア)
• [国際共同研究] ニューサウスウェールズ大学(オーストラリア)
• [国際共同研究] オークリッジ国立研究所(米国)
• [国際共同研究] ニューサウスウェールズ大学(オーストラリア)
• [雑誌論文] Asymmetry in mechanical polarization switching (2017)
  • 著者名/発表者名: Lu Haidong、Liu Shi、Ye Ziyu、Yasui Shintaro、Funakubo Hiroshi、Rappe Andrew M.、Gruverman Alexei
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 110 号: 22 ページ: 222903-222903
  • DOI: 10.1063/1.4983381
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Preface (2017)
  • 著者名/発表者名: Daichi Ichinose、Takaaki Nakashima、 Yoshitaka Ehara、Takahiro Oikawa、Takao Shimizu、Osami Sakata、Tomoaki Yamada、Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Journal of the Ceramic Society of Japan 巻: 125 号: 6 ページ: P6-1-P6-3
  • DOI: 10.2109/jcersj2.125.P6-1
  • NAID: 130006899950
  • ISSN: 1348-6535, 1882-0743
  • 査読あり
• [雑誌論文] Charge Screening Strategy for Domain Pattern Control in Nano-scale Ferroelectric Systems (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Yamada, D. Ito, T. Sluka, O. Sakata, H. Tanaka, H. Funakubo, T. Namazu, N. Wakiya, M. Yoshino, T. Nagasaki, and N. Setter
  • 雑誌名: Sci. Rep. 巻: 7 号: 1 ページ: 5236-5236
  • DOI: 10.1038/s41598-017-05475-x
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Electric-field-induced lattice distortion in epitaxial BiFeO3 thin films as determined by in situ time-resolved x-ray diffraction (2017)
  • 著者名/発表者名: Nakashima Seiji、Sakata Osami、Funakubo Hiroshi、Shimizu Takao、Ichinose Daichi、Takayama Kota、Imai Yasuhiko、Fujisawa Hironori、Shimizu Masaru
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 111 号: 8 ページ: 082907-082907
  • DOI: 10.1063/1.5000495
  • 査読あり
• [雑誌論文] In-situ observation of ultrafast 90° domain switching under application of an electric field in (100)/(001)-oriented tetragonal epitaxial Pb(Zr0.4Ti0.6)O3 thin films (2017)
  • 著者名/発表者名: Ehara Yoshitaka、Yasui Shintaro、Oikawa Takahiro、Shiraishi Takahisa、Shimizu Takao、Tanaka Hiroki、Kanenko Noriyuki、Maran Ronald、Yamada Tomoaki、Imai Yasuhiko、Sakata Osami、Valanoor Nagarajan、Funakubo Hiroshi
  • 雑誌名: Scientific Reports 巻: 7 号: 1
  • DOI: 10.1038/s41598-017-09389-6
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Fabrication and Characterization of {110}-oriented Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films on Pt/SiO2/Si substrates using PdO//Pd Buffer Layer (2017)
  • 著者名/発表者名: Naoya Oshima、Kiyoshi Uchiyama、Yoshitaka Ehara、Takahiro Oikawa、Daichi Ichinose、Hiroki Tanaka、Tomoya Sato、Hiroshi Uchida、Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 56 号: 10S ページ: 10PF09-10PF09
  • DOI: 10.7567/jjap.56.10pf09
  • NAID: 210000148386
  • 査読あり
• [雑誌論文] Polarization switching behavior of one-axis-oriented lead zirconate titanate films fabricated on metal oxide nanosheet layer (2017)
  • 著者名/発表者名: Uchida Hiroshi、Ichinose Daichi、Shiraishi Takahisa、Shima Hiromi、Kiguchi Takanori、Akama Akihiko、Nishida Ken、Konno Toyohiko J.、Funakubo Hiroshi
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 56 号: 10S ページ: 10PF10-10PF10
  • DOI: 10.7567/jjap.56.10pf10
  • NAID: 210000148387
  • 査読あり
• [雑誌論文] In-plane orientation and composition dependences of crystal structure and electrical properties of {100}-oriented Pb(Zr, Ti)O3 films grown on (100) Si substrates by metal organic chemical vapor deposition (2017)
  • 著者名/発表者名: Shoji Okamoto、P. S. Sankara Rama Krishnan、Satoshi Okamoto、Shintaro Yokoyama、Kensuke Akiyama、Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 56 号: 10S ページ: 10PF12-10PF12
  • DOI: 10.7567/jjap.56.10pf12
  • NAID: 210000148389
  • 査読あり
• [雑誌論文] Influence of Internal Strains of (110)-One-Axis-Oriented (Ba0.5Sr0.5)TiO3 (BST) Thin Films on Their Dielectric Behaviors (2017)
  • 著者名/発表者名: Naoya Oshima、Kiyoshi Uchiyama、Yoshitaka Ehara、Takahiro Oikawa、Hiroki Tanaka、Tomoya Sato、Hiroshi Uchida、Tomoaki Yamada、Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Science of Advanced Materials 巻: 9 号: 10 ページ: 1806-1809
  • DOI: 10.1166/sam.2017.2808
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of in-plane tensile strain in (100)/(001)-oriented epitaxial PbTiO3 films on their phase transition temperature and tetragonal distortion (2017)
  • 著者名/発表者名: Takaaki Nakashima, Daichi Ichinose, Yoshitaka Ehara, Takao Shimizu, Takeshi Kobayashi, Tomoaki Yamada, and Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Appl. Phys Lett. 巻: 110 号: 12 ページ: 1229021-4
  • DOI: 10.1063/1.4978649
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Direct Imaging of the Relaxation of Individual Ferroelectric Interfaces in a Tensile-Strained Film (2017)
  • 著者名/発表者名: Linglong Li, Ye Cao, Suhas Somnath, Yaodong Yang, Stephen Jesse, Yoshitaka Ehara, Hiroshi Funakubo, Long-Qing Chen, Sergei V. Kalinin, and Rama K. Vasudevan
  • 雑誌名: Adv. Electron. Mater. 巻: - 号: 4
  • DOI: 10.1002/aelm.201600508
  • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Large irreversible non-180° domain switching after poling treatment in Pb(Zr, Ti)O3 films (2016)
  • 著者名/発表者名: Yoshitaka Ehara, Shintaro Yasui, Takahiro Oikawa, Takahisa Shiraishi, Naoya Oshima, Tomoaki Yamada, Yasuhiko Imai, Osami Sakata and Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett 巻: 108 号: 21 ページ: 212901-212901
  • DOI: 10.1063/1.4951672
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Enhancement of Dielectric Properties in Epitaxial Bismuth Ferrite-Bismuth Samarium Ferrite Superlattices (2016)
  • 著者名/発表者名: Ronald Maran, Shintaro Yasui, Eugene Eliseev, Anna Morozovska, Hiroshi Funakubo, Ichiro Takeuchi, and Nagarajan Valanoor
  • 雑誌名: Adv. Electron. Mater. 巻: - 号: 8 ページ: 1600170-1600170
  • DOI: 10.1002/aelm.201600170
  • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Composition dependences of crystal structure and electrical properties of epitaxial Pb(Zr,Ti)O3 films grown on Si and SrTiO3 substrates (2016)
  • 著者名/発表者名: Shoji Okamoto, Satoshi Okamoto, Shintaro Yokoyama, Kensuke Akiyama and Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys 巻: 55 号: 10S ページ: 10TA08-10TA08
  • DOI: 10.7567/jjap.55.10ta08
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Growth of epitaxial tetragonal (Bi,K)TiO3 films and their ferroelectric and piezoelectric properties (2016)
  • 著者名/発表者名: Yuichi Nemoto, Daichi Ichinose, Takao Shimizu, Hiroshi Uchida, Wakiko Yamaoka, Yusuke Sato and Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys 巻: 55 号: 10S ページ: 10TA13-10TA13
  • DOI: 10.7567/jjap.55.10ta13
  • NAID: 210000147163
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Epitaxial PbZrxTi1-xO3 ferroelectric bilayers with giant electromechanical properties (2015)
  • 著者名/発表者名: Hsin-Hui Huang, Qi Zhang, Esther Huang, Ronald Maran, Osami Sakata, Yoshitaka Ehara,Takahisa Shiraishi, Hiroshi Funakubo, Paul Munroe and Nagarajan Valanoor
  • 雑誌名: Advanced Materials Interfaces 巻: 2 号: 8
  • DOI: 10.1002/admi.201500075
  • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Orientation Control of Epitaxial Tetragonal Pb(ZrxTi1-x)O3 Thin Films Grown on (100)KTaO3 Substrates by Tuning the Zr/(Zr+Ti) Ratio (2015)
  • 著者名/発表者名: D. Ichinose, T. Nakashima, Y. Ehara, T. Oikawa, T. Shimizu, O. Sakata, T. Yamada, and H. Funakubo
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett. 巻: 107 号: 2
  • DOI: 10.1063/1.4926963
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Polar-axis-oriented crystal growth of tetragonal PZT films on stainless steel substrate using pseudo-perovskite nanosheet buffer layer (2015)
  • 著者名/発表者名: Yoshiki Minemura, Daichi Ichinose, Kohei Nagasaka, Jin Woon Kim, Hiromi Shima, Ken Nishida, Takanori Kiguchi, Toyohiko J. Konno, Naoya Oshima, Hiroshi Funakubo, and Hiroshi Uchida
  • 雑誌名: AIP Advances 巻: 5 号: 7
  • DOI: 10.1063/1.4927208
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Negligible substrate clamping effect on piezoelectric response in (111)-epitaxial tetragonal Pb(Zr, Ti)O3 films (2015)
  • 著者名/発表者名: Tomoaki Yamada, Jun Yasumoto, Daisuke Ito, Osami Sakata, Yasuhiko Imai, Takanori Kiguchi, Takahisa Shiraishi, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo, Masahito Yoshino, and Takanori Nagasaki
  • 雑誌名: J. Appl. Phys. 巻: 118 号: 7
  • DOI: 10.1063/1.4927810
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Orientation and film thickness dependencies of (100)- and (111)-oriented epitaxial Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 films grown by metal organic chemical vapor Deposition (2015)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Funakubo , Satoshi Okamaoto, Shintaro Yokoyama, Shoji Okamoto, Junichi Kimura, Hiroshi Uchida
  • 雑誌名: J. Materiomics 巻: 1 号: 3 ページ: 188-195
  • DOI: 10.1016/j.jmat.2015.07.004
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Domain Structure of Tetragonal Pb(Zr,Ti)O3 Nanorods and its Size Dependence (2015)
  • 著者名/発表者名: T. Yamada, D. Ito, O. Sakata, J. Kuroishi, T. Namazu, Y. Imai, T. Shiraishi, T. Shimizu, H. Funakubo, M. Yoshino, and T. Nagasaki
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 54 号: 10S ページ: 10NA07-10NA07
  • DOI: 10.7567/jjap.54.10na07
  • NAID: 210000145768
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Growth of {110}-one-axis-oriented perovskite-type oxide films using self-aligned epitaxial (101)PdO//(111) Pd double layers (2015)
  • 著者名/発表者名: Hiroki Tanaka, Tetsuro Kariya, Takao Shimizu, Kiyoshi Uchiyama, and Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Thin Solid Films 巻: 599 ページ: 133-137
  • DOI: 10.1016/j.tsf.2015.12.067
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [学会発表] PLD法を用いた(Bi, Na)TiO3-BaTiO3系薄膜の作製と評価 (2018)
  • 著者名/発表者名: 長谷川光勇、清水荘雄、佐藤祐介、山岡和希子、内田寛、舟窪浩
  • 学会等名: 第56回セラミックス基礎科学討論会
• [学会発表] PLD法を用いた(Bi,Na)TiO3-BaTiO3系薄膜の作製と評価 (2018)
  • 著者名/発表者名: 長谷川光勇、清水荘雄、佐藤祐介、山岡和希子、石田未来、内田寛、舟窪浩
  • 学会等名: 第65回応用物理学会春季学術講演会
• [学会発表] 電界印加下における正方晶Pb(Zr,Ti)O3膜の結晶構造の時間応答 (2017)
  • 著者名/発表者名: 佐藤智也、一ノ瀬大地、三村和仙、根本祐一、清水荘雄、今井康彦、内田寛、坂田修身、舟窪浩
  • 学会等名: 第64回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: パシフィコ横浜（神奈川県）
  • 年月日: 2017-03-14
• [学会発表] PLD法による正方晶(Bi, K)TiO3エピタキシャル膜の作製とポストアニールが強誘電性に与える影響 (2017)
  • 著者名/発表者名: 根本祐一、佐藤智也、一ノ瀬大地、清水荘雄、内田寛、木口賢紀、佐藤祐介、山岡和希子、舟窪浩
  • 学会等名: 第55回セラミックス協会基礎科学討論会
  • 発表場所: 岡山コンベンションセンター（岡山県）
  • 年月日: 2017-01-12
• [学会発表] 結晶構造の異なるPb(Zr, Ti)O3膜のドメイン構造に及ぼす電界印加の影響 (2017)
  • 著者名/発表者名: 佐藤智也、一ノ瀬大地、根本祐一、清水荘雄、内田寛、舟窪浩
  • 学会等名: 第55回セラミックス協会基礎科学討論会
  • 発表場所: 岡山コンベンションセンター（岡山県）
  • 年月日: 2017-01-12
• [学会発表] Domain Structure propagation of tensile-strained {100}-oriented epitaxial tetragonal Pb(Zr, Ti)O3 films (2017)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Funakubo, Daichi Ichinose, Tomoya Sato, Takao Shimizu, Osami Sakata, and Tomoaki Yamada
  • 学会等名: PACRIM 12 (12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology)
  • 国際学会
• [学会発表] A Proposal of New Buffer Layer for Depositing (110)-oriented Perovskite Thin Films on (111)Pt/SiO2/Si Substrates (2017)
  • 著者名/発表者名: K. Uchiyama, T. Sato, A. Akama, T. Kiguchi, T.J. Konno, N. Oshima, D. Ichinose, and H. Funakubo
  • 学会等名: 2017 Joint IEEE ISAF-IWATMD-PFM Conference
  • 国際学会
• [学会発表] 強誘電体エピタキシャル薄膜の界面構造 (2017)
  • 著者名/発表者名: 木口賢紀、範滄宇、白石貴久、舟窪浩、今野豊彦
  • 学会等名: 第73回日本顕微鏡学会学術講演会
• [学会発表] PdO//Pdバッファ層を用いた｛110｝配向Pb(Zr,Ti)O3薄膜の作製とその物性評価 (2017)
  • 著者名/発表者名: 内山潔、大島直也、江原祥隆、及川貴弘、一ノ瀬大地、田中宏樹、佐藤智也、内田寛、舟窪浩
  • 学会等名: 第34回強誘電体応用会議（FMA34）
• [学会発表] Domain structure change by applying electric field of dominantly in-plane-polarized Pb(Zr,Ti)O3 thin film (2017)
  • 著者名/発表者名: Daichi Ichinose, Yoshitaka Ehara, Takao Shimizu, Osami Sakata, Tomoaki Yamada, Alexei. Gruverman, and Hiroshi Funakubo
  • 学会等名: STAC-10 (The Tenth International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics)
  • 国際学会
• [学会発表] Time Response of Crystal Structure in Tetragonal Pb(Zr,Ti)O3 Films Under an Applied Electric Field (2017)
  • 著者名/発表者名: Tomoya Sato, Daichi Ichinose, Naoya Oshima, Takanori Mimura, Yuichi Nemoto, Takao Shimizu, Yasuhiko Imai, Hiroshi Uchida, Osami Sakata, and Hiroshi Funakubo
  • 学会等名: STAC-10 (The Tenth International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics)
  • 国際学会
• [学会発表] エピタキシャルBiFeO3薄膜における電場印加下の格子歪 (2017)
  • 著者名/発表者名: 中嶋誠二、藤沢浩訓、坂田修身、舟窪浩、清水莊雄、一ノ瀬大地、今井康彦、清水勝
  • 学会等名: 第78回応用物理学会秋季学術講演会
• [学会発表] エピタキシャルPZT膜におけるマルチドメイン構造と面内歪の緩和 (2017)
  • 著者名/発表者名: 佐藤智也、一ノ瀬大地、三村和仙、清水荘雄、山田智明、舟窪浩
  • 学会等名: 第78回応用物理学会秋季学術講演会
• [学会発表] Domain structure change by applying electric field of dominantly in-plane-polarized (100)/(001)-oriented tetragonal Pb(Zr, Ti)O3 thin film (2017)
  • 著者名/発表者名: Daichi Ichinose, Yoshitaka Ehara, Takao Shimizu, Osami Sakata, Tomoaki Yamada, and Hiroshi Funakubo
  • 学会等名: 18th US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Materials
  • 国際学会
• [学会発表] 正方晶PZT薄膜のドメイン構造の配向及び歪制御 (2016)
  • 著者名/発表者名: 一ノ瀬大地、中島祟明、江原祥隆、及川貴弘、清水荘雄、坂田修身、山田智明、舟窪浩
  • 学会等名: 第36回エレクトロセラミックス研究討論会
  • 発表場所: ユニオンビル（富士通労働会館）（神奈川県）
  • 年月日: 2016-10-13
• [学会発表] Domain structure of tensile and compressive strainesd epitaxial Pb(Zr,Ti)O3 films with {100} orientation (2016)
  • 著者名/発表者名: 132)Hiroshi Funakubo, Daichi Ichinose, Tomoya Sato, Takao Shimizu, Osami Sakata, and Tomoaki Yamada
  • 学会等名: 2016 ISFD-13 Conference (13th International Sumposium on Ferroic Domains & Micro-to Nano-scopic Structures)
  • 発表場所: Coast Coal Harbour Hotel（カナダ）
  • 年月日: 2016-10-02
  • 国際学会
• [学会発表] 面内分極軸優先配向Pb(Zr,Ti)O3薄膜のドメイン構造 (2016)
  • 著者名/発表者名: 一ノ瀬大地、江原祥隆、清水荘雄、坂田修身、山田智明、Alexei Gruverman、舟窪浩
  • 学会等名: 第77回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 朱鷺メッセ（新潟県）
  • 年月日: 2016-09-13
• [学会発表] PLD法による配向制御したエピタキシャル(Bi,K)TiO3膜の作製 (2016)
  • 著者名/発表者名: 根本祐一、一ノ瀬 大地、清水荘雄、内田寛、佐藤祐介、山岡和希子、舟窪浩
  • 学会等名: 第77回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 朱鷺メッセ（新潟県）
  • 年月日: 2016-09-13
• [学会発表] Domain Formation of Epitaxial Tetragonal Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films Grown Under Tensile Strain (2016)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Funakubo, Daichi Ichinose, Takaaki Nakashima, Yoshitaka Ehara, Takao Shimizu, Osami Sakata, and Tomoaki Yamada
  • 学会等名: TOPO 2016 (International Workshop on Topological Structures in Ferroic Materials)
  • 発表場所: Technische Universität Dresden（ドイツ）
  • 年月日: 2016-08-16
  • 国際学会
• [学会発表] 電場印加下のエピタキシャルBiFeO3薄膜における格子歪のその場観察 (2016)
  • 著者名/発表者名: 中嶋誠二、坂田修身、舟窪浩、高山幸太、藤沢浩訓、清水荘雄、一ノ瀬大地、今井康彦、清水勝
  • 学会等名: 第33回強誘電体応用会議（FMA 33）
  • 発表場所: コープイン京都（京都府）
  • 年月日: 2016-05-25
• [学会発表] PLD法による正方晶(Bi,K)TiO3エピタキシャル膜作製と圧電特性評価 (2016)
  • 著者名/発表者名: 根本祐一、一ノ瀬大地、清水荘雄、内田寛、舟窪浩
  • 学会等名: 第33回強誘電体応用会議（FMA 33）
  • 発表場所: コープイン京都（京都府）
  • 年月日: 2016-05-25
• [学会発表] PLD法による正方晶(Bi,K)TiO3エピタキシャル膜作製と圧電特性評価 (2016)
  • 著者名/発表者名: 根本祐一、一ノ瀬大地、清水荘雄、内田 寛、舟窪 浩
  • 学会等名: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東京工業大学 大岡山キャンパス（東京都）
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] 電界印加による面内分極軸優先配向Pb(Zr,Ti)O3薄膜のドメイン構造変化 (2016)
  • 著者名/発表者名: 一ノ瀬大地、江原祥隆、清水荘雄、坂田修身、山田智明、舟窪 浩
  • 学会等名: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東京工業大学 大岡山キャンパス（東京都）
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] {110}一軸配向ペロブスカイト型酸化物薄膜の作製と結晶構造解析 (2016)
  • 著者名/発表者名: 佐藤智也、木村純一、一ノ瀬大地、三村和仙、舟窪 浩、内山 潔
  • 学会等名: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東京工業大学 大岡山キャンパス（東京都）
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] 正方晶/菱面体晶Pb(ZrxTi1-x)O3人工超格子薄膜における圧電応答の層厚依存性 (2016)
  • 著者名/発表者名: 山田智明、海老原洋平、坂田修身、森岡 仁、木口賢紀、清水荘雄、舟窪 浩、吉野正人、長崎正雅
  • 学会等名: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東京工業大学 大岡山キャンパス（東京都）
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] PLD 法による正方晶(Bi,,K)TiO3 エピタキシャル膜作製と圧電特性評価 (2016)
  • 著者名/発表者名: 根本祐一、一ノ瀬大地、清水荘雄、内田寛、舟窪浩
  • 学会等名: 第54回セラミックス基礎科学討論会
  • 発表場所: アバンセ（佐賀県立男女共同参画センター・佐賀県立生涯学習センター）（佐賀県）
  • 年月日: 2016-01-07
• [学会発表] 正方晶/菱面体晶Pb(Zr,Ti)O3 人工超格子薄膜の構造及び圧電特性の層厚依存性 (2016)
  • 著者名/発表者名: 海老原洋平、山田智明、坂田修身、森岡仁、木口賢紀、今井康彦、清水荘雄、舟窪浩、吉野正人、長﨑正雅
  • 学会等名: 第54回セラミックス基礎科学討論会
  • 発表場所: アバンセ（佐賀県立男女共同参画センター・佐賀県立生涯学習センター）（佐賀県）
  • 年月日: 2016-01-07
• [学会発表] Domain structure and piezoelectric response of self-assembled tetragonal Pb(Zr,Ti)O3 Nanorods (2015)
  • 著者名/発表者名: Tomoaki Yamada, Daisuke Ito, Osami Sakata, Takanori Kiguchi, Takahisa Shiraishi, Takao Shimizu, MasahitoYoshino, Hiroshi Funakubo, Takanori Nagasaki
  • 学会等名: The International Chemical Congress of Pacific Basin Societies 2015 (Pacifichem 2015)
  • 発表場所: Hawaii Convention Center (Honolulu, Hawaii, USA)
  • 年月日: 2015-12-15
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] 正方晶/菱面体晶P b(Zr,Ti)O3人工超格子薄膜の作製と圧電特性の評価 (2015)
  • 著者名/発表者名: 海老原洋平、山田智明、坂田修身、森岡仁、木口賢紀、今井康彦、清水荘雄、舟窪浩、吉野正人、長﨑正雅
  • 学会等名: 平成27年度日本セラミックス協会東海支部学術研究発表会
  • 発表場所: 名古屋大学（愛知県）
  • 年月日: 2015-12-12
• [学会発表] Orientation Control of Epitaxial Tetragonal Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films Grown on (100)KTaO3 Substrates by Tuning the Zr/(Zr+Ti) Ratio (2015)
  • 著者名/発表者名: Daichi Ichinose, Takaaki Nakashima, Yoshitaka Ehara, Takahiro Oikawa, Takao Shimizu, Osami Sakata, Tomoaki Yamada, and Hiroshi Funakubo
  • 学会等名: 17th US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
  • 発表場所: Hotel Buena Vista, Matsumoto (Japan)
  • 年月日: 2015-11-15
  • 国際学会
• [学会発表] Domain Structure and Piezoelectric Response in One-dimensional PZT Nanostructure (2015)
  • 著者名/発表者名: T. Yamada, D. Ito, O. Sakata, H. Funakubo, M. Yoshino, and T. Nagasaki
  • 学会等名: IUMRS-ICAM 2015 (International Conference on Advanced Materials)
  • 発表場所: ICC Jeju (Korea)
  • 年月日: 2015-10-25
  • 国際学会
• [学会発表] PdO//Pd バッファ層を用いた{110} 配向Pb(Zr,Ti)O3(PZT)薄膜の作製と評価 (2015)
  • 著者名/発表者名: 内山潔、大島直也、田中宏樹、江原祥隆、及川貴弘、佐藤智也、内田寛、舟窪浩
  • 学会等名: 日本セラミックス協会第28回秋季シンポジウム
  • 発表場所: 富山大学 五福キャンパス（富山県）
  • 年月日: 2015-09-16
• [学会発表] 正方晶Pb(Zr,Ti)O3ナノロッドのドメイン構造に及ぼす脱分極電界の影響 (2015)
  • 著者名/発表者名: 山田智明、伊藤大介、坂田修身、黒石隼輝、生津資大、清水荘雄、舟窪浩、木口賢紀、吉野正人、長崎正雅
  • 学会等名: 日本セラミックス協会第28回秋季シンポジウム
  • 発表場所: 富山大学 五福キャンパス（富山県）
  • 年月日: 2015-09-16
• [学会発表] XRD測定による (100)/(001)配向正方晶Pb(Zr,Ti)O3膜の電界印加下の結晶構造変化の定量分析 (2015)
  • 著者名/発表者名: 舟窪 浩、大島 直也、清水 荘雄、中島 光雅、江原 祥隆、及川 貴弘、内田 寛
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場（愛知県）
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] (100)/(001)配向エピタキシャルPbTiO3膜におけるドメイン構造に及ぼす温度と格子歪みの影響 (2015)
  • 著者名/発表者名: 舟窪 浩、中島 崇明、一ノ瀬 大地、江原 祥隆、中島 光雅、清水 荘雄、小林 健、飯島 高志、山田 智明
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場（愛知県）
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] RFマグネトロンスパッタリング法による{110}高配向Ba(Ce,Y)O3ぺロブスカイト薄膜の作製 (2015)
  • 著者名/発表者名: 佐藤 智也、一ノ瀬 大地、舟窪 浩、内山 潔
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場（愛知県）
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] 正方晶Pb(Zr,Ti)O3薄膜におけるZr/(Zr+Ti)比のドメイン構造への影響 (2015)
  • 著者名/発表者名: 一ノ瀬 大地、中島 祟明、江原 祥隆、清水 荘雄、坂田 修身、山田 智明、舟窪 浩
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場（愛知県）
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] {100}, {111}配向Pb(Zr,Ti)O3ナノロッドのドメイン構造とそのサイズ依存性 (2015)
  • 著者名/発表者名: 山田 智明、伊藤 大介、坂田 修身、黒石 隼輝、生津 資大、清水 荘雄、舟窪 浩、吉野 正人、長崎 正雅
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場（愛知県）
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] Large Piezoelectricity Driven by Electrically-Induced High-Density Ferroelastic Domains in Tetragonal Pb(Zr, Ti)O3 Films (2015)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi FUNAKUBO, Mitsumasa NAKAJIMA, Hiorshi NAKAKI, Tomoaki YAMADA, Ayumi WADA, Takahiro OIKAWA, Takaaki NAKASHIMA, Yohitaka EHARA, Naoya OSHIMA, Alexei GRUVERMAN
  • 学会等名: ISAF-ISIF-PFM 2015
  • 発表場所: Matrix @ Biopolis (Singapore)
  • 年月日: 2015-05-24
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Piezoelectric Response in Epitaxial PZT 1D-Nanorods and 2D-Thin Films (2015)
  • 著者名/発表者名: Tomoaki YAMADA, Jun YASUMOTO, Daisuke ITO, Osami SAKATA, Takanori KIGUCHI, Hidenori TANAKA, Yoshitaka EHARA, Shintaro YASUI, Takahiro OIKAWA, Hiroshi FUNAKUBO, Masahito YOSHINO, Takanori NAGASAKI
  • 学会等名: ISAF-ISIF-PFM 2015
  • 発表場所: Matrix @ Biopolis (Singapore)
  • 年月日: 2015-05-24
  • 国際学会
• [学会発表] 正方晶Pb(Zr，Ti)O3 ナノロッドのドメイン構造とそのサイズ依存性 (2015)
  • 著者名/発表者名: 山田智明、伊藤大介、坂田修身、黒石隼輝、生津資大、白石貴久、清水荘雄、舟窪 浩、吉野正人、長崎正雅
  • 学会等名: 第32回強誘電体応用会議（FMA 32）
  • 発表場所: コープイン京都（京都府）
  • 年月日: 2015-05-20
• [学会発表] PdO/Pd バッファ層を用いた｛110｝配向ペロブスカイト薄膜の作製とその物性評価 (2015)
  • 著者名/発表者名: 内山 潔、大島直也、江原祥隆、及川貴弘、田中宏樹、佐藤智也、内田 寛、舟窪 浩
  • 学会等名: 第32回強誘電体応用会議（FMA 32）
  • 発表場所: コープイン京都（京都府）
  • 年月日: 2015-05-20
• [備考] 東京工業大学 物質理工学院 材料系材料コース 舟窪研究室
  • URL: http://f-lab.iem.titech.ac.jp/f-lab.htm
• [備考] 東京工業大学 物質理工学院 材料系材料コース 舟窪研究室
  • URL: http://f-lab.iem.titech.ac.jp/f-lab.htm
• [備考] 東京工業大学物質理工学院材料系舟窪研究室ホームページ
  • URL: http://f-lab.iem.titech.ac.jp/f-lab.htm
• [産業財産権] 圧電薄膜、圧電薄膜素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、ヘッドアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ、ハードディスクドライブ、プリンタヘッド、及びインクジェットプリンタ装置 (2018)
  • 発明者名: 佐藤祐介 佐藤和希子 石田未来 舟窪浩 長谷川光勇 清水荘雄
  • 権利者名: 佐藤祐介 佐藤和希子 石田未来 舟窪浩 長谷川光勇 清水荘雄
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2018
• [産業財産権] 圧電薄膜、圧電薄膜素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、ヘッドアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ、ハードディスクドライブ、プリンタヘッド、及びインクジェットプリンタ装置 (2017)
  • 発明者名: 佐藤祐介 森下純平 佐藤和希子 舟窪浩 清水荘雄 根本祐一
  • 権利者名: 佐藤祐介 森下純平 佐藤和希子 舟窪浩 清水荘雄 根本祐一
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2017
• [産業財産権] 圧電薄膜、圧電薄膜素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、ヘッドアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ、ハードディスクドライブ、プリンタヘッド、及びインクジェットプリンタ装置 (2016)
  • 発明者名: 政井琢、佐藤祐介、森下純平、舟窪浩、清水荘雄、根本祐一
  • 権利者名: 政井琢、佐藤祐介、森下純平、舟窪浩、清水荘雄、根本祐一
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2016-12-22
  • 外国